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浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号：A/8页码：第1页共3页生效日期：2009年11月25日一、目的规范多晶铸锭产生循环料的判别,加强多晶硅材料的质量管控,特制定本规范。二、适用范围本标准适用于多晶过程检验对产生多晶循环料的分级;多晶铸锭技术管理；硅料分选；多晶炉配料；库房物料编码分类。三、主要内容1、种类:⑴、M1-M4级多晶循环料：可以直接用来铸锭的循环料;⑵、F1级多晶循环料：用于提纯的循环料⑶、F2-F4级多晶循环料：封存入库的循环料2、检验方法⑴、外观:目测⑵、尺寸：游标卡尺⑶、检验项目与检测设备：①、杂质:SIS300-3D红外测试仪；②、导电类型:STZ-8极性仪；③、电阻率:BD-86A四探针测试仪；④、少子寿命：WT-2000少子寿命测试仪；⑤、碳、氧含量：NicoleEco/RS傅立叶变换红外光谱仪；批准审核编制修改履历页码内容状态备注第2页更改F1级料判定标准受控第2页新增M5级循环料受控浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号：A/8页码：第2页共3页生效日期：2009年11月25日3、硅料名词解释硅锭：多晶铸锭车间生产的半成品边体：硅锭剖方切下的周边料再去除顶皮的剩余部分。硅块：硅锭经过剖方去除边体后的半成品顶皮：a、硅块：顶部去除2mmb、边体：顶部去除10mm（如有孔洞则从孔洞底部切除，如有N型则从转型处切除）顶料：硅块顶部去除顶皮部分中料：硅块去除顶皮、顶料、底料的中间部分底料：硅块的底部切除部分。碎料：因粘埚造成的硅碇缺落的碎料。4、判别分级内容描述物料标识铸锭配比M1级料极性：P型、无反翘、电阻率ρ≥1Ω·cm、少子寿命τ≥2.5μs的中料。M1中料≤55%M2级料1、极性：P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm，少子寿命τ＜2.5μs的中料、底料。2、极性：P型、电阻率ρ≥0.5Ω·cm的碎料M2中料；M2底料；M2碎料≤12%M3级料极性：P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm、硅块少子寿命τ≥2μs的边体料。M3边体料≤10%M4级料F1级料一次提纯后合格部分（详见文件：Q03-SIP-38）M4中料≤15kgM5级料极性：P型、无反翘、电阻率ρ≥0.5Ω·cm，少子寿命τ＜2.5μs的顶料。M5顶料≤8%F1级料1、无N型顶皮料。2、无N型、电阻率0.5Ω·cm≤ρ＜0.8Ω·cm的中料、底料、边体、碎料。3、转型硅锭去除转型且无反翘的部分。F1中料；F1底料；F1边体料；F1碎料提纯详见文件：Q03-SIP-38F2级料N型的顶皮、顶料、中料、底料、边体、碎料。F2封存入库F3级料1、ρ＜0.5Ω·cm的顶料、中料、底料、边体、碎料。2、反翘的顶料、中料、底料、边体、碎料。3、无N型、硅块少子寿命τ＜2μs的边体。F3封存入库F4级料因漏硅、加热器断裂等事故造成的粘有石墨、碳纤维、加热器等无法处理的硅料。F4封存入库顶皮中料底料顶料硅块浙江昱辉阳光能源有限公司文件编号：Q03-SIP-13多晶循环料分级标准版本号：A/8页码：第3页共3页生效日期：2009年11月10日5、碎料处理办法1、这种碎料可以由切断入二级料仓库，名称为：二级多晶碎料，存货属性：空；2、二级多晶碎料处理流程：分选、打磨、腐蚀。3、二级多晶碎料处理流程中判定标准《多晶循环料分级标准》，例如：分选过程发现N型，判为F2，出现电阻率小于0.5Ω·cm判定为F3；极性P型，电阻率大于1Ω·cm，判定名称为：碎料，存货属性：M2级；极性p型，电阻率0.5-0.8Ω·cm之间，判定为碎料，F1级。备注：1、判别优先级为：F2-F4级＞F1级＞M1-M2级2、如出现漏硅等异常情况，根据实际情况现场判定3、配料时，M级循环料总量不超过55%。M级料中，要根据各级料的产率进行配料投炉，使多晶料能够自循环，但不能超过规定的上限值4、硅块底部受坩埚影响不合格部分，符合M1中料，但长度小于20mm，降级判定作为底料5、判定后的循环料按物料标识分别称重入库、放置.