SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀.

SCHMID去磷硅玻璃与单边刻蚀目录一．设备工艺流程（设备如图）二．设备操作安全三．化学药品的安全及和急救措四．安全设施五．操作控制系统六．机器的操作七．零件名称与符号八．设备维修计划一．设备工艺流程（设备如图）硅片装载——单边刻蚀——清洗——中和抛光——清洗——疏水——清洗——烘干——硅片卸载目的：完全打断硅片正反的联系，移走磷酸盐玻璃增强抗反射膜，使背结吸收的光更好。functionalprincipleofedgeisolation使用原则刻蚀隔绝的棱边wettingofwafersbacksidewithHF/HNO3solution用潮湿的骨轮用化学溶解的办法刻蚀硅片的反面或四边）在这个生产工艺过程中按照工作区域可分为9个模组(M1—M9)。M1和M9模组为硅片输送与跟踪监测，它安装几个监测用的传感器和一个脉冲传感器。其中监测传感器能够正确反应电池片是否到达，在进口处安装两个监测气体浓度传感器，它是用来监测酸的挥发气体是否超标，预防操作人员受到伤害。脉冲发生器是记录传送长距离。1mm=1脉冲机器通过传感器和脉冲发生器的信息PLC可准确电池片的位置。总之监测传感器和脉冲传感器都可以用来监测硅片的数量。硅片可以通过传送轮导向机构进行规正。M1——M9传送系统是通过驱动电机带动从动轮上的齿轮传递的，由于齿轮传动比稳定可靠，因此设备采用齿轮传送。M1——M9硅片是通过定中心滚轮、传送轮、定位轮传送的。M2——M8都有自己的排风装置。(如图所示）其中各个单元内部都有自己的排风设施。其中包括药缸内部、工作药缸内部、单元部分（如图所示）。其中行走的硅片下面还有一些排气管。同时排气上方装有一个监测气体传感器用来监测气体。硅片进M2模组时，它与液面保有一定的距离，然后通过骨轮带动药液进行硅片的单边刻蚀。另外还通过一套升降旋转机构对其它两边进行刻蚀。M模组有两个单独药缸，升降旋转机构在它们中间。药液通过骨轮只对背面硅片进行化学腐蚀，其目的就是完全打断硅片正反的联系，移走磷酸盐玻璃增强抗反射膜，使背结吸收的光更好。M2硝酸浓度为63%、氢氟酸为50%进行刻蚀。药缸浓度采用样品滴定控制。药液一直保持不断循环，药液通过热交换器进行冷却。气动泵药缸气阀热交换器循环电机泵传送轮排气管（向下）托盘旋转机构，绿色为托盘，黑色箭头滚轮运动方向，1托举、2旋转90度、3放下M3清洗硅片,在清洗过程中，三个缸的水位是不同的，其中硅片进入第一个缸时，清洗所使用的水是不纯静的，当硅片继续前行进入第二液缸时，这时液缸的水也是不纯的，当硅片进入水第三液时这时才是纯净水，这种设计的目的就是节约用水。M5M7、清洗硅片与M3功能相同。硅片在清洗单元中过程是：清洗---吸水（特制海绵滚轮）---吹干。M4用制成的KOH药液沉浸硅片，其目的进行多孔硅表面处理和抛光，其中药液的浓度（50%）是通过电导率控制（KOH电离浓度）。M6硅片在HF溶液中进行磷硅处理。M8是硅片烘干处理,它是通过两台空气压缩泵，通过两次过滤（粗过滤、细过滤），最终送到两组风刀中对硅片进行吹拂烘干，空气温度可达40度。风刀的工作原理是一个物理变化过程，就是气体分子之间的距离由小变大的过程，也就是一个散热的过程。最后我们还要对硅片进行检测，不符合要求的硅片剔除，检测方式有外观确认、显微镜观测硅片表面的结构、天平称重。二设备操作安全在工作中任何情况下必须服从安全操作说明，由于不正确的操作会造成对员工生命的威胁和生命危险，也会产生机械装置及公司运作的其他材料资产的损害。因此在机器上应为操作者提供危险标示符号,在此机器上工作操作人员必须明白和密切注意机器上的警示标示。（如图所示）戴上安全防护眼镜戴上安全防护手套穿上安全防护服戴上呼吸安全器戴上护目镜未经许可不许进入警告：有害原料警告：有热辐射伤害警告：有触电危险警告：当心机器旋转警告：当心夹手警告：当心挤压的危险警告：当心机器开启的危险警告：有毒材料警告：强腐蚀材料警告：小心滑倒每一个独立的设备都要遵守安全操作标准和规则。因此使用者必须对设备操作系统、安全系统和事故预防系统的规则要清楚，并且在此设备上培训。必须阅读掌握安全警示说明进行确认签字。必须明确指定相关人员的责任进行操作，例如操作、安装、服务必须有专人负责。必须定期仔细检查这台设备操作人员。采取必要措施保证设备完全安全的情况下使用！首先培训这台设备的使用人员在火灾发生时，要有报警和灭火意识。要为操作人员制作保护性服装。要给工人和服务人员说明工作必要安全知识。遵守这台设备安全和警示标示，并且让他们在工作中保持清晰头脑。其次经常说明设备的工作环境。要告之现场操作人员急救设备和灭火材料位置。要把设备的操作按钮远离危险区域，确保设备操作按钮直接能看到。由于这台设备安装了许多保护装置。因此不要随意改变设备结构和程序说明,因为会导致不安全，除非得到从事这台设备生产者（工艺）的同意。因此所有从事操作设备的工人在工作前保证以下条件。1.必须遵守操作安全和事故预防基本规则。2.禁止任何伤害人生安全危险方式的操作。3.在这台设备文件里必须阅读和理解操作安全和事故预防基本规则并签字.。（一）下面就是我们所有有关人员必须遵守规定。1.在工作间里严格禁止明火、吸烟。2.在工作中严格禁止吃、喝、吸烟和刀具。3.在工作间严格禁止打手机。4．要注意机器上的警示标示。5．不要靠近和攀爬机器。6.机器开始运转确保没有人在机器运行危险之内.7.严格禁止在运转的机器中传送工具或机器零件。8.在有高危险和绊脚的单元中要从房间的后面走过，保证不要踩到软管。9.必须穿戴完整的防护服。10.不要攀登、坐、站在管道和电缆上。11.在机器上进行焊接、烘烤、及砂纸打磨工作时，周围环境必须认可，因为存在爆炸及火灾的危险。12.在每次换班时核查机器上隐患和缺陷。13.核查所有电缆线和管线及设备的外表是否存在危险、排列是否整齐。14.发现隐患立即通知负责人员。15.核查设备上排风系统功能是否正常。16.潮湿的太阳能电池板不能接触传感器防止降低它们的功能。（二）设备的安全：1.机器设备不正确的操作是严格禁止的！2．不能更改移动任何安全设施。3.机器运转中机器正面的盖子一直保持关闭状态，因为机器在转动时，接触它们会带来危险。4.不能随便更改机器上的安全设施。5.必须有专业知识和经验的人才能许可在空压设备上工作。6.用电设备在带电的情况下总开关也可能会发生爆炸。7.必须有资格的人才能在电器设备上工作。8.不允许冲洗和液体飞溅在电器设备上，这样可能引起电击。9.如果工作人员存在生命危险另外一人必须在现场随时按下紧急停止按钮。10.工作区域必须用红白相间的安全链条维护起来和悬挂警告标志。11.带电设备必须用绝缘工具。（三）：化学制品安全：1.在连接管路和化学药品槽之间的设备必须专人负责。2．从事化学药品工作避免与皮肤直接接触。3.每一项工作后必须将自己用过的工具彻底清洗干净。4.在吃饭和喝水之前必须把手彻底清洗干净。按照规则处理储备物品和洗涤剂。5．根据急救医学常识，必须遵守有关氢氟酸的规定。6．酸的腐蚀性很强因此工作人员必须使用适合的防护服（例如脸部防护用具、橡胶围裙、橡胶手套）。7．在工作时必须穿着合适的保护服和围裙。8．在有毒有害气体环境工作时必须佩戴具有过滤装置的防毒面具。9．工作要仔细避免液体泼洒。10．维修工作后从事人员必须用手冲洗使用过工具并保证工具清洁。11．泄漏、蒸发的气体必须通过排气系统排出。12．制定规则将液体遗洒或溢出必须处理现场，这些原料不能随意流向地面必须回收到污水处理系统。13．在进入空的容器里之前检查容器里的气体成分。14．注意！不要在设备里准备酸或碱，因为在稀释的过程中能释放很高的热量，这对机器有很大危害。15．加入原料的工作中和清除废弃原料时蒸发的气体，易导致危害及生命危险（要使用防护服或安全罩)。16．注意！液体对人体有腐蚀性危害，任何人在设备修补过程中穿过的防护服所有单元必须冲洗干净。17．防护服必须能够抵抗相关酸、碱相关化学药品的腐蚀。包括护目镜、手套、合成纤维的围裙、橡胶工作裤、橡胶鞋等等防护服必须能够抵抗酸的腐蚀。18.当清洗设备、零件、备件每一项工作时，必须戴手套，因为那里表面可能残留酸的余液。（氢氟酸设备特殊）19.当在设备前面的滑门打开时，必须要有保护措施，包括胶靴、脸部要有护目镜全面遮护。20.在有害气体浓度高于2.5ppm情况下呼吸必须采取保护措施（戴上呼吸安全器）。21．在维修工作和清洗单元过程中，必须全面穿保护服。（在清洗单元维护前后）22.注意！在放空液体之前，液槽的加热必须关闭15分钟，预防剩余热量对加热单元破坏。23.在已经开启机器运转单元里不允许灰尘进入。（四）：在维护支持工作中也存在危险.1.在维修工作中必须关闭总开关，断绝工作单元的联系，预防工作中带来危害。2.进行泵的压力测试使他保持运转状态。3.用水冲洗过的单元关闭盖子、滑板玻璃窗及关闭单元后门。4.机器启动前确认所有门窗关闭后再开机。.5.当被一个电池片阻塞干扰时；在生产期间移除电池片必须穿上短护衣、戴上防酸碱长手套、围裙。就近打开滑行的玻璃窗将其清除，使用过的工具用水冲洗干净。6.过滤器如果有缺陷必须打开设备盖子时，泵必须停止工作。最好是停机更换过滤器。7.更换过滤器单元后，泵启动前遵照规定拧紧盖子避免渗漏。为了自身的安全必须总开关是关闭的，避免泵开启时造成无关人员伤害。8．严格预防措施必须接受，工作中前后门完全关闭的。9.不能在有压力管路和过滤器的危险区域工作。10.接触这些材料使用的手套耐用性不小于8小时。11.手套材料氟化物合成厚度不能小于0.4mm。接触材料的手套磨损(穿孔)不能小于4小时。12.手套材料丁基合成橡胶不能小于0.5mm接触这些材料的手套磨损（穿孔）不能小于2小时。聚碳酸酯材料不能小于0.5mm.14，维护人员必须穿防护服。在没有适当的防护服不许进到设备里。15.为了安全禁止随意改变和更改机器上控制系统（软件）目录，换有缺部分必须使用原来准备SCHMID公司认可的备份和标准。16．必须拥有Gebr.SCHMID授权的人和持有书面认可才能编辑改动机器上的控制系统目录。17.在这台机器上工作必须了解使用说明和懂得规则，这些法律和规则都是为了使用国家防止意外事故必须遵循的。只有遵从安全操作说明才能延长机器的使用寿命。18.在工厂里专职运送的人员必须为防止意外事故做好安全和管理。19.操作员工在里面必须保持与设备部件遮盖物一定的距离。20.装备与安装不能在机器运转工作中进行，因为在拆卸防护装置时机器都在移动或运转，因此存在一定伤害的危险。21.维修、服务和清洁处理不能在运转工作中进行。22.服务钥匙开关只有经授权有资格的人使用。23.在维护单元中通过的泵工艺安全开关要求必须自动关闭的。24.注意当安全开关指向1和盖子打开时，所有泵全部继续运转。当开关盖子打开时，所有泵开关都是打开运转的，但也有个别泵是通过时间间隔和待命方式控制的因此必须做好最大限度的预防措施。至于这些间隔时间或正在待命运转的开关来说，虽然在停止状态但它们是独立的只是不做连续运转，当有人打开单元工作时必须防止泵的意外开启。25.防护装置在分解安全装置整个活动过程中，机器无意中启动也会给我们带来伤害的危险。26.停电维修工作，必须进行设备保护装置的检查和设备校对它的功能，重新安装安全装置。完成维修和服务工作后，必须进行设备保护装置的检查和校对它的功能，重新安装安全装置。27.至于机器异常停机开关就是预防其他人无意碰撞和开启以免造成操作混乱来说的安全措施。当你发现异常操作运转的行为时，同样可以按下机器的异常停机开关。28.温度异常泵的预检方式可以用手感触泵是否在运转状态，但不能在充满化学药剂的机器里进行测试