SEIWAOPTfilm

1Ver.20130408株式会社清和光学製作所SEIWAEquipmentforTouchPanel2清和TouchPanel用设备群1)曝光设备3)LaserRepair设备2)AOI检查设备纵型、水平型、RolltoRoll式FilmITO、OC、Metal成像手动、半自动、AOI连动半自动3曝光设备Lineup400＊500～620＊750对应水平型Film对应RolltoRoll730x920对应垂直型持有自动Mask更换功能（5cassette型）小片对应高速型44inch7inch10.1inch10,12inch为另行对应LoaderExposureUnLoaderＯｎｅＧｌａｓｓＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备5ＯｎｅＧｌａｓｓＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备素玻璃装饰Ｉｎｋ涂布外形基准AlignmentBM曝光ITOspatterBMCoanerAlignmentITO曝光Mark形成OC涂布以ITOMark进行OC曝光ITOMarkOnMetalAlignmentＯＣ形成TouchPanel完成6・・・・・A型号(InOut分别结构)B型号（InOut前端投入）・・・・・ＯｎｅＧｌａｓｓＴｏｕｃｈＰａｎｅｌ用高速曝光设备7基本规格1)UVLamp输出&照度(100%i-线）2)曝光均匀性:3.0%～5％以内3)C.H.A.:1.5degree4)D.A.:0.86degree5)Alignment精度:+/-1um（小片5μｍ）8)TotalPitch:+/-4.5um(QuartzMask&SodaGlass)7)Overlay:4um(QuartzMask&SodaGlass)6)曝光分解能(Line/Space):8um/8um(Gap50um)2kW5kW8kW16kW30mW/cm224mW/cm230mW/cm228mW/cm210.1inch（小片）400×500mm620×750mm920×730mm8曝光设备（2G水平型）UnloaderStageLoaderStageExposureTableShuttleHand水平型基板搬送～曝光XYZThetaTiltTableMaskGapSensingbyGapSensorEdgeSensorAlignment9曝光设备（3Ｇ～4.5G水平型）水平型机器人搬送～曝光UnloaderLoaderUnloaderLoaderExposureTableLoaderUnLoader对应薄panel、以RB搬送可稳定的0.33mmt的panel进行搬送。以适合panel翘曲等的搬臂进行对应。10纵型曝光设备4.5G以上80degreeAirBlowAirBlow垂直型基板搬送～曝光EdgeSensorAlignmentGapSensingMaskHolderTableMaskHolderXY-Theta-TiltAlignmentCCDGapSensor照度計11对比能力2ndExposureAlignmentITOPRAlignmentAlignmentGlassITOMarkITOMark3rdExposureAlignmentAlignmentAlignmentMetalPRITOMarkITOMarkITOMarkThickness:around200angstromMetalLayerThickness:around3000angstrom清和独有的Alignment性能12Film曝光设备RolltoRollEPC蛇行防止控制单面曝光两面曝光面向Touchpanel、3DFilm、FPC,机能性Film、光导波路等的Device・・・！13Film縦型両面同時露光装置14Film縦型両面同時露光装置15Film縦型双面曝光设备１２３５４２００１３８５１００８２８５０（梁下）（天井高さ）６８２０２６００外観図面16AOI检查设备GlassIN-OUTITO，OC，Metal检查17AOI检查设备TouchPanel的ITO接线、OC、Metal、微粒子的全面检查ITO/OC/Metal（同轴照明）Metal（透过照明）分解能＝2.6μｍ取像视野32mm，像素12000pix18Ⅱ．パネル検査１．パネル構造２．ITO、Metal断線、Size約５µm。３．OC1とMetalの位置関係GlassITO120Å～350ÅOC1MetaleOC220μｍ1St）ITO2ndOC13rdMetale4thOC119Ⅳ．画像取込検査（CameraScan）750mm620mm検査Camera・検査Camera3式が8回Scan移動・Scan時移動速度：約50mm/secWorkGlassWorkGlass1枚の画像取り込み+検査時間：約45秒ITO＋PI・Meta＋全面検査時32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ32ｍｍ画素分解能＝2.6μｍ／１２００PIX20AOI检查设备(RTR)1351012430021LaserRepair（修复）设备1LaserHead22LaserRepair设备21)Alignment功能：Camera2set2)LaserHeadLaser：YAGQSwitch3)光学系波长：532nm(Green)1064nm(IR)355nm(UV)显微镜：PS-888-Lpulselength：3～5nsec一般观察用物镜：2.5x5x10xIR-Green物镜：20xNIR50xNIRUV-Green物镜：20xNUV50xNUV