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XPS是X射线照在样品的表面上，样品表面的原子吸收X射线后发射出光电子，不同的原子不同轨道的电子发射出来的光电子强度不同的因此可以通过检测来测定存在元素的种类、价态以及含量XPS用于价态的分析也是应用最为广泛的根据结合能，可以判断元素在样品中的价态，进而判断元素在样品中的结合方式，即以什么化合物形式存在XPS采测试的各种元素内层电子的结合能是有特征性的，因此可以用来鉴别化学元素。在光电子能谱图中，可以将一个谱峰的峰高或面积求出来作为该谱峰的强度，谱峰强度在样品结构及定量分析中起着重要作用。1、灵敏度因子有几套，因为是相对量，用那套都可以；2、提醒各位一下，有灵明度因子和峰积分还是没法算表面元素含量的。简单地用灵敏度因子除峰面积得出的结果不正确。经常有人问这个问题，计划有空的时候写篇普及文章。半高宽与元素化学态复杂程度有关，半高宽较小，说明元素可能是单一化学态，半高宽较大，说明元素可能存在多种化学态。85086087088089090092009400960098001000010200104001060010800BAB可以用，xls表格的数据主要用来画图，也可以分峰，但是非常麻烦，你要自己去设计函数。源文件则可直接用casaXPS或者XPSpeak处理，非常方便。在XPS手册上，对应于每种元素，都有一个峰位与该元素化学键结构的图表，根据这个图标，把你测得的数据进行处理，例如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，那么你的Si2p峰位就既不是标准的氮化硅，也不是标准的氧化硅，这是需要你利用origin或者xpspeakfit等软件对所得的Si2p峰进行分峰，也就是用2个或者3个或者更多的高斯峰来拟合所得的测试曲线，根据每一个高斯峰的面积，来去定Si元素中有多少与O结合形成Si-O键，有多少与N结合形成Si-N键。XRD可以表征样品的物相、晶型和粒径（谢乐公式）XRD表征的粒径大多指的是晶粒的粒径而实际上很多催化剂存在团聚等现象颗粒粒径可以通过SEM或TEM进一步进行表征