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N型单晶棒实验报告顺风光电研发部2012-6-20N型8寸单晶H-02-1206-29-1实验日期：2012.5.30-2012.6.1炉号：29#石英坩埚：22寸实投料量：120kg晶体型号：H-02-1206-29-1原料品种：瓦克PCL-NCS纯料拉制型号：N100直径要求：203-206mm目标电阻率：0.5-3.5cm/参杂量：66.2g过程数据分析N型单晶生产参数变化趋势图注：横坐标是时间，单位刻度是1min,其中参量包括：加热板温度及温度设定，加热板功率及功率设定，加热板电流及电压，晶升上、下实际速度，副室温度，等径长度及重量，晶升速度设定。图表分析硅棒检测数据：头部尾部表面电阻率3.5Ω.cm0.6Ω.cm少子寿命2450.7us2375us氧含量0.9*10180.68*1018碳含量2.17*10164.16*1016从以上数据来看，少子寿命、电阻率及氧碳含量均合格硅片检测：硅片厚度检测数据：硅片电阻率检测数据：电阻率分档：0.5-1共有399片；1-3共有3746片。硅片的各组数据显示硅片各方面参数合格。N型8寸单晶H-02-1206-29-2实验日期：2012.6.6-2012.6.8炉号：29#石英坩埚：22寸石英坩埚实投料量：120kg晶体型号：H-02C-1206-29-2原料品种：瓦克PCL-NCS纯料拉制型号：N100直径要求：203-206mm目标电阻率：1-6Ω.cm参杂量：38g运行记录N型单晶生产参数变化趋势图注：横坐标是时间，单位刻度是1min,其中参量包括：加热板温度及温度设定，加热板功率及功率设定，加热板电流及电压，晶升上、下实际速度，副室温度，等径长度及重量，晶升速度设定。图表分析硅棒检测数据：头部尾部表面电阻率5.31.1少子寿命18681780氧含量0.89*10180.64*1018碳含量1.83*E164.20*E16从数据显示碳氧含量、少子寿命（要求大于1000）、电阻率（要求1-6）等都合格。硅片检测数据：硅片电阻率硅片分档数据:1-3Ω∙cm共1697片，3-6Ω∙cm共2374片。均在合格范围内。硅片厚度检测：硅片厚度均在合格范围内200±20um。