1《直拉单晶硅工艺技术》

课程授课计划选用教材及参考资料《直拉单晶硅工艺技术》黄有志主编化学工业出版社授课单元序号主要教学内容与要求各教学环节学时数（在对应栏目中填写学时数）周次授课地点理论实验实训一体化教学1教学内容：1.1-1.4晶体基础知识（一）教学要求：1、熟悉晶体基本知识2第1周教学楼2教学内容：1.1-1.4晶体基础知识（二）教学要求：1、熟悉晶体基本知识2第1周教学楼3教学内容：2.1-2.5直拉单晶炉教学要求：了解直拉单晶炉各部分功能；2第2周教学楼4教学内容：单晶硅料与多晶硅料的认识教学要求：认识单晶硅料、多晶硅料；2第2周冶金材料实验室5教学内容：3.1热系统教学要求：1、掌握热场的含义表示方法；2、熟悉动态热场和静态热场及其对单晶生长的影响。2第3周教学楼6教学内容：3.2-3.3安装与对中教学要求：1、熟悉安装对中的方法；2、了解安装对中的不同步骤的参照。2第3周教学楼7教学内容：3.4温度梯度与生长教学要求：1、熟悉温度梯度对单晶生长的影响；2第4周教学楼8教学内容：3.5热场的调整教学要求：熟悉热场调整的方法；2第4周教学楼9教学内容：单晶晶相观察教学要求：1、熟悉碳化硅陶瓷的制备工艺；2、掌握碳化硅陶瓷的主要性能。2第5周冶金材料实验室10教学内容：4控制器教学要求：了解控制器的功能和设置。2第5周教学楼11教学内容：5.1硅原料教学要求：了解硅原料的来源；。2第6周教学楼12教学内容：5.2-5.3石英坩埚教学要求：1、了解石英坩埚的制造；2、熟悉石英坩埚的质检和使用中损坏形式。2第6周教学楼13教学内容：多晶硅装料参观教学要求：掌握多晶硅装料的方法；2第7周光伏企业14教学内容：5.4.5.7原辅料、自动硅料清洗机教学要求：1、熟悉直拉单晶用到的原辅料和处理方法。2、了解硅料清洗机的使用。2第7周教学楼15教学内容：6.1-6.2直拉工艺流程教学要求：掌握直拉工艺的整理流程2第8周教学楼16教学内容：6.3-6.4抽空及熔料教学要求：1、掌握抽空熔料环节温度压力的控制2、熟悉当中的部分参数2第8周教学楼17教学内容：6.5-6.6收尾及停炉教学要求：1、掌握收尾停炉的工艺；2、熟悉常见生产故障/事故的处理方法。2第9周教学楼18教学内容：6.7拉速温校曲线的设定教学要求：了解拉速及温校曲线大致走势；2第9周教学楼19教学内容：6.8-6.9坩埚升速的计算教学要求：掌握坩埚升速的计算方法2第10周教学楼20教学内容：7.1光伏产业简介教学要求：1、了解光伏材料的发展方向；2、熟悉光伏材料制造的常用方法。2第10周教学楼21教学内容：坩埚喷涂的参观教学要求：熟悉坩埚喷涂的方法和注意事项。2第11周光伏企业22教学内容：7.2多晶硅炉结构（一）教学要求：掌握多晶硅炉结构。2第11周教学楼23教学内容：7.2多晶硅炉结构（二）教学要求：掌握多晶硅炉结构。2第12周教学楼24教学内容：多晶硅生产工艺（一）教学要求：1、掌握多晶硅声场工艺。2、具熟悉体操作步骤2第12周教学楼25教学内容：多晶硅生产工艺（二）教学要求：1、掌握多晶硅声场工艺。2、具熟悉体操作步骤2第13周教学楼26教学内容：7.4多晶硅优缺点教学要求：1、了解多晶硅的优缺点；2、更具具体要求选取合理的生产工艺。2第13周教学楼27教学内容：8.1-8.2杂质教学要求：掌握硅材料提纯中的杂质种类及杂质来源2第14周教学楼28教学内容：8.3分凝效应教学要求：1、掌握分凝效应的原理；2、熟悉利用分凝效应提纯硅材料。2第14周教学楼29教学内容：8.5Keff和Ko关系教学要求：掌握Keff和Ko关系；2第15周教学楼30教学内容：8.7掺杂教学要求：1、熟悉掺杂的分类；2、掌握掺杂的方法。2第15周教学楼31教学内容：参观多晶硅炉教学要求：熟悉多晶硅炉的构造以及作用2第16周光伏企业32教学内容：复习2第16周教学楼合计学时645446教学主任（院长）签字：年月日说明：1、本课程授课计划由授课教师负责填写，于每学期开学第二周内送交所在院部教学主任（院长）审定，签字后备查。2、此表一式三份，其中任课教师一份，教师所在院部存档一份，报送教务处一份。