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高效过滤器检漏一．高效过滤器二．检漏一．高效过滤器•有隔板：高效过滤器采用超细玻璃纤维滤纸或聚丙烯滤纸为滤材，经密摺而成。密摺的滤纸由纸隔板或铝箔隔板做成的小插件间隔，保持流畅通道，外框为镀锌板或铝合金型材，用新型聚氨酯密封胶密封•无隔板：高效过滤器采用超细玻璃纤维滤纸或聚丙烯滤纸为滤材，用热熔胶间隔，外框为铝合金型材、木框或镀锌板，用环保聚氨酯密封胶密封而成•高效过滤器相关技术参数•过滤效率：99.9%η99.9999%.•厚度系列：46、69、79、90、96、150、220、290等(mm)。•过滤器尺寸与风量关系表：二：检漏原理：对送、排（回）风高效空气过滤器的现场检漏，应采用扫描法在过滤器与安装框架接触面、过滤器边框与滤纸接触面以及全部滤芯出风面上进行。光度计法•光度计法：•原理：在待测高效过滤器的上游端发PAO气溶胶作为尘源，待气溶胶混合均匀后，用气溶胶光度计进行检测，当上游浓度值稳定后，把该浓度值设定为100%基准值。上游浓度值设定后，不要再调整PAO气溶胶浓度。用光度计在高效过滤器下游进行扫描，检测气溶胶浓度，此时的浓度是下游浓度与设定的上游浓度的比值，此比值就是高效过滤器该点的泄露率。•检测设备•气溶胶发生器：美国ATI，TDA-5B、TDA-5C。•气溶胶光度计：美国ATI，TDA-2H、TDA-2I。•测试步骤•上游测试孔的准备•如果静压箱自带上游浓度检测口，此步骤可以省略。如果静压箱没有上游浓度检测口，需要自己制作。上游浓度检测口示意图如下静压箱高效过滤器Φ6压缩空气接口Φ6气管彩钢板Φ6两通、堵头玻璃胶密封•上游浓度口制作：没有上游浓度检测口的静压箱•在静压箱上打孔，安装压缩空气接口•用压缩空气管连接静压箱到洁净室内•压缩空气管连接到洁净室内•用堵头将压缩空气管封堵，防止静压箱内空气流入洁净室•上游浓度确定视频发尘位置选择•由于空调机组离高效过滤器距离较远，在空调机组内发尘，气溶胶能够充分混合，每个过滤器上游端的气溶胶浓度非常稳定，故选择在空调机组内发尘。为了避免中效过滤器阻挡掉大量的气溶胶颗粒，发尘的具体位置为中效过滤器后端。•中效过滤器后端有检修门的，可以直接将气溶胶发生器放置在中效过滤器后端；若中效过滤器后端没有检修门，可拆卸一块中效过滤器，将气溶胶发生器放在中效过滤器后端。•拆卸中效过滤器放置气溶胶发生器•建议发生器最佳放置中效过滤器检修门检修门气管电源线发生器发烟过程中此门关闭，这样就避免现场泄露PAO尘，显得公司操作更加简便专业。FFU发尘、扫描FFU内部循环风进口，PAO尘由此进静压箱，作为上游浓度。发尘、测试上游浓度•将气溶胶发生器通电加热，使温度升到400℃以上。使用惰性气源连接气溶胶发生器，开启气源阀门调节气体压力在0.02MPa-0.06Mpa之间。待上游气溶胶浓度稳定后，设置此浓度为100%基准浓度。•上风侧气溶胶浓度宜达到20-80μg/l，浓度低于20μg/l会降低检漏灵敏度，高于80μg/l长时间检测会造成过滤器污染堵塞。（《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010）•Theconcentrationoftheaerosolchallengeupstreamofthefiltershouldbebetween10mg/m3and100mg/m3.Aconcentrationlowerthan20mg/m3canreducethesensitivityofleakdetection.Aconcentrationgreaterthan80mg/m3cangiverisetoexcessivefilterfoulingoveranextendedtestperiod.（《Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3:Metrologyandtestmethods》ISO14644-3）扫描检测•用光度计的采样头对整个高效过滤器的工作面（包括过滤器介质、过滤器边框、过滤器边框与静压箱之间、静压箱本身）进行扫描。扫描时，采样头离过滤器距离小于5cm，速度小于5cm/s之间。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。•Theprobetraversescanrateshouldnotexceed5cm/s.•Theprobeistherebyheldinamaximumdistanceof5cmfromthedownstreamfilterfaceortheframestructure.Scanningshouldbeperformedovertheentiredownstreamfaceofeachfilter,theperimeterofeachfilter,thesealbetweenthefilterframeandgridstructure,includingitsjoints.（《Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3:Metrologyandtestmethods》ISO14644-3）标准•光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0.01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点，静止检测时，如测得透过率高于0.01%，即认为该点为漏点。（《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010）•Designatedleaksaredefinedascausingareadinggreaterthan10-4(0.01%)oftheupstreamchallengeaerosolconcentration.（《Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part3:Metrologyandtestmethods》ISO14644-3）过滤器修补、更换及重新检测•如果发现任何部位的泄露率超过标准，可以采用玻璃胶对漏点进行堵漏。单个泄漏点的堵漏面积不能超过过滤器总面积的1%，全部堵漏面积不能超过过滤器总面积的5%。如果堵漏仍无法修补过滤器，必须对过滤器进行更换。•任何形式的补漏以及更换过滤器后，都必须对过滤器进行重新检测，直到全部满足标准要求。相关设备PAO过程•空调系统PAO检漏风机风机风机初效过滤器中效过滤器新风高效过滤器气溶胶发生器•超净台PAO检漏气溶胶发生器PAO尘上游浓度取样口风机初效过滤器高效过滤器散流罩•生物安全柜PAO检漏气溶胶发生器初效过滤器高效过滤器高效过滤器上游浓度口•A级移动小车PAO检漏气溶胶发生器初效过滤器中效过滤器FFUHEPA上游浓度取样口•隧道烘箱预热段PAO检漏PAO进口（设计）实际检测过程中，从设计口进入静压箱的PAO尘浓度达不到设计要求。上游浓度检测口发烟的时候把此挡板拆掉。PAO发生器正常生产时进风口散流罩•隧道烘箱加热段PAO检漏PAO尘发生器压差孔、上游浓度取样口高温高效过滤器传送网带•隧道烘箱冷却段PAO检漏压差表，上游浓度检测口发烟的时候把此挡板拆掉。PAO发生器散流罩•干热灭菌柜PAO检漏上游浓度取样口气溶胶发生器•作者：聂宗亮联系电话：13910467483