六西格玛gbm-7-process-map&-特性要因图

ProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程ProcessMap&特性要因图MeasureDefineAnalyzeImproveControl方法论‰Measure概要‰ProcessMap&特性要因图‰概要‰ProjectY‰基础统计‰测定System分析‰SixSigma测度p特性要因图‰FDMMeasure-ProcessMap&特性要因图-2Rev2.0‰工程能力分析ProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程ProcessMap&C-EDiagram‰‰学习目标学习目标1.理解详细ProcessMap作成及潜在Xs导出方法-确认Process和隐患工厂-单位工程别Input(潜在Xs),Output导出-对Input的C,N,X区分2.理解C-EDiagram作成及潜在Xs导出方法-对Y有影响的潜在Xs导出Measure-ProcessMap&特性要因图-3Rev2.0-展开5whyProcessMap‰目的规定Process的范围，对实际Process中非能率、非效果的测面理解并分析。适用可能的工具‰适用可能的工具‰Brainstorming/Process流程图‰主要考虑事项z跟Project执行计划书中定义的一样Process范围定义，即需改善的Process开始和末。z对Process顾客的主要关心事影响的要因Measure-ProcessMap&特性要因图-4Rev2.0z对Process顾客的主要关心事影响的要因‰参与对象z定义Process的人/执行的人/改善的人‰结果物非附加价值业务，相关工程及以CTQ规名的详细ProcessMapProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程ProcessMapSC1CleaningWaferLoadingInputOutputWaferLoading방법(X)Line条件(N)温度(X)溶液浓度(X)开始EtchrateUifitgDHFCleaningDry溶液浓度(X)Processtime(X)HF浓度(X)DIWOverflow流量(X)IPASprayTime(X)IPASpray량(X)IPASprayStart시점(X)ArmSpeed(X)Exhaust량(X)UniformityEtchrateUniformity干燥能力斑点Defect정체Time(X)待机Measure-ProcessMap&特性要因图-5Rev2.0Particle测定NGOKReject数率检查OKNG指甲Defect确认Particle指甲Defect终了PadpolyDepo/Tpoly测定不良履历记号意思内容起点与末点显示Process的界限ProcessMap主要事项记号活动表示在Process上实行的Activity决定意识表示意识决定Point和Process的进行方向。也表示议事决定内容的收容，拒接，承认与否。箭头表示Process的方向/流程Input和Output表示重要的Input和OutputMeasure-ProcessMap&特性要因图-6Rev2.0Input和Output表示重要的Input和Output不具体记述化文件表示文件化DATABase表示DATABaseProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程主要用语‰Inputz以X变量(X1,X2,X3,...)表现的影响Y的项目z在各阶段影响Y的达成能力的输入要素zCNX/SOP‰Outputz重要Process输出变量(也可能是下阶段的X.)z以Y变量(Y1,Y2,Y3,...)表现的认为对顾客重要的制品项目及特性。z阶段完成后的结果Measure-ProcessMap&特性要因图-7Rev2.0z阶段完成后的结果),,,(21kxxxfY...=‰ProcessMap为了显示HiddenFactory，应详细地画。zConstantX(常数)对Y有影响但按定条件固定的X输入变量的分类:CNX‰X的分类-对Y有影响，但按一定条件固定的XzNoiseX(杂音变量)-很难控制的输入zControllableX(可控制的变量)-可测定影响Y大小的变化大的输入。Measure-ProcessMap&特性要因图-8Rev2.0zSOP(StandardOperatingProcedure:标准作业步骤)-正确定义、实行作业指示书，就可以定义输入水准和设定。‰SOPProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程ProcessMap作成时考虑事项④可能的Process②实际Process①我所想的Process③理想Process‰个人对ProcessMap的认识不同，所以先知道Team员对Process怎么想是很重要的。Measure-ProcessMap&特性要因图-9Rev2.0Team员对Process怎么想是很重要的。‰个人所想的ProcessMap通过现场确认修整为实际的ProcessMap‰ProcessMap应经常检讨及更新，应导示实际执行的作业。ProcessMap作成步骤阶段1.需要改善的Process范围定义z作成相关最佳Process全体的流成图阶段2.确认Proces所有的作业阶段确认所有的作业z各阶段别CycleTime,品质水准名记阶段3.确认对象Process的输入/输出zBrainstorming/C-Ediagram等活用阶段4.确认有无各作业的附加价值(VA/NVA)阶段5.各阶段别列举OutputMeasure-ProcessMap&特性要因图-10Rev2.0阶段各阶段别列举p阶段6.各阶段别列举Input阶段7.分类所有InputzCNX阶段8.记入对Output及Input的规格ProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程C-EDiagram(特性要因图)‰C-Ediagram(CauseandEffectdiagram)是把查明标本原因的多样的理论整理和排列的有效方法。‰为了找出问题的根本原因，进行5Why而要挖掘更具体、明确的原因。‰C-Ediagram中最重要的考虑事项是是否明确地表示原因-结果的相关关系，并应考虑所有可能的因果关系。‰C-Ediagram作成时象树枝似地大体区分为工程名或者以下Measure-ProcessMap&特性要因图-11Rev2.05M+1E为基准作成。-人(Men)-材料(Materials)-方法(Methods)-机械(Machines）-测定(Measurements)-环境(Environment)特性要因图作成方法1.明确规定输出变量Y或(Process阶段别)症状。2.在右侧标记输出变量或症状，画中心轴。3.规定发生可能的要因。4.重要要因在每个四角形里面被标记，并与中心轴连接。5.将各自主要要因用水平线连接。6.添加次要要因。Measure-ProcessMap&特性要因图-12Rev2.07.添加明确规定标本要因之前为止发生可能的要因。8.验证各要因链的妥当性。9.点检完成度。ProjectMap&特性要因图GreenBeltDMAIC课程特性要因图作成例FILM影响(MATERIAL)(METHOD)Gas选定C5F8,CHF3O2CO增加ADINotchPHOTOCoatUnif工程条件感光膜厚度薄增加对于PR的选择费低FILM视觉PolymerGas油量ReflectPOWER发生HeError发生Wafer视觉率使用不活性GASGAS比率HardeningRadical生成不足Si视觉率足2薄膜厚度不良厚单差大有机膜无机膜发生薄膜的造成差异感光膜特性材质的种类弯度大减少厚度氧化膜视觉率不足视觉内性弱Measure-ProcessMap&特性要因图-13Rev2.0DRM(MACHINE)(MAN)PRESSURERFPOWERRPK安装状态Cooling不良Polymer附着Bias大APC不良低电压温度高压力领域工程理解力不足作业者熟练度不足温度，湿度环境设备状态污染与否人及环境