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NO.122工序名称进车间前准备适用范围目的作业顺序穿戴工作服装作业环境的温度要求注意事项拉晶作业标准持有车间硅棒部进入车间前准备工作保证作业环境作业内容1、换好工作服、防尘鞋、防尘帽2、车间温度保持在保证工作环境的温度工作服要洁净、穿戴整齐页数1/32工序名称作业流程图适用范围目的单晶待检HRS-MF-039拉晶作业指导书(2.11修改)拉晶作业标准持有车间硅棒部拉晶作业作业流程指导大清扫页数2/32单晶的取出拆炉清炉装料加热化料（抽空检漏）副室抽空更换籽晶（坏）引放转等径坏（提出或回熔）收尾冷却第2页，共32页第2页，共32页停炉工序名称真空泵的清理及泵油的更换适用范围目的NO.作业顺序拉晶作业标准持有车间硅棒部作业流程图标准作业作业内容页数3/321放油1、换油员工准备好专用工具及棉丝置于就近位置。2、拉晶员工关闭主泵球阀。并在炉台上悬挂“禁止启动真空泵”标识牌。3、换油员工将废油桶置于真空泵放油口下方打开上腔放油开关，取下泵尾气管。4、换油员工堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快速放油，废油倒入指定油池。5、换油员工放完油后关闭上下腔放油阀，而后关闭真空泵断开真空泵对应的空气开关。23清泵注油6、泵油每5炉更换一次。注意事项及原由1、确认关闭真空泵是否关闭到位。否则会造成炉内返气。2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大尾气口关闭不严使油烟外泄扩散到泵房。3、切记关闭上下腔的放油阀，防止漏油。4、处理废油时注意泵房卫生。5、一定要断开真空泵控制开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害。6、杜绝在除尘罐处充气。7、每次换油时将上泵腔内的沉积物清理干净。7、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。1、换油员工用工具打开真空泵侧盖，置于适当位置。2、换油员工用棉丝彻底清理真空泵腔、及侧盖的油污（70泵下腔滤油网）。3、清扫完毕后，安装好滤网而后安装好侧盖。注意事项及原由1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油。2、70泵切记安装滤网。120泵喷油管对准观察窗利于察看真空泵的工作状态。3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。5、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。1、换油员工打开真空泵注油口。2、换油员工将加油管放入真空泵注油孔。3、换油员工开启加油泵开始注油。4、换油员工观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置。5、换油员工关闭注油泵，取下注油管，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油。6、换油员工装上尾气管，关闭注油口。7、拉晶员工开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3----1/2位置。若低于下限重复以上操作。注意事项及原由1、注油管保持清洁。防止异物进入泵腔。2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油。3、切记安装好尾气管及注油孔，以防开泵时喷油或油气污染泵房。4、对洒落在地面的油污用锯沫吸附收集，不准冲洗至下水道内，避免对环境的污染。5、注意清理真空泵及周围卫生。6、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。7、操作人员需要做好相关记录。工序名称单晶的取出适用范围目的NO.作业顺序拉晶作业标准持有车间硅棒部拆炉时单晶的取出标准作业作业内容页数4/321作业准备2单晶取出1、准备好帆布手套（或纯棉纱手套）、耐高温手套、擦炉用的棉丝（或纸巾）。2、准备好钳子、取单晶的小车（晶筐）。3、用湿棉丝（或纸巾）将炉体从上到下擦拭干净。注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全且保持洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭干净，有利于整体环境，防止交叉污染。3、擦拭炉体时要小心，防止将所有控制接线及开关碰断或碰坏。1、单晶冷却完毕后，关闭Ar气同时提升单晶至副室，各炉型最大等颈长度见下表，从小副室观察窗确认单晶升至所需高度，盖住翻板。（若等颈长度超出以下范围，则升到相应高度则不可以再升单晶。）mm京运通80炉华盛天龙85炉京运通90炉创联120炉未收尾时等径长度整棒等径长度1060910111096016101460130011502、待炉内压力到达极限后关闭主室球阀，关闭真空泵电源后进行检漏，进行相应记录。若漏率大于0.5pa/min则需要通知班长进行自查或寻求维修人员进行维修。3、若无异常，盖好翻板阀，从副室充入Ar气至常压，打开副室小门，再打开液压泵，升起副室（大热场3、若无异常，盖好翻板阀，从副室充入Ar气至常压，打开副室小门，再打开液压泵，升起副室（大热场直接从副室冲入氩气至常压，副室及炉盖一起移动），向主室冲入氩气至常压，升起炉盖。4、把安全接晶盘移到炉筒口中央正下方处，缓慢转动副室至侧面。(大热场，缓慢转动副室及炉盖至侧面)5、把取单晶的晶筐（或小车）放在副室炉筒（或炉盖）的正下方，准备接单晶。6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入晶筐（或小车）内。7、确认单晶完全放入晶筐（或小车）内后，拿无尘纸捏住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，为防止重锤高速旋转，不要松开籽晶，待钢丝绳取消拧力后再将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置（钼夹头刚入副室时）。8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号及晶体编号，写在单晶上。转入《石墨件的取出》工序注意事项及原由1、提升单晶过程中，注意单晶的位置，防止过高或过低以造成拉断钢丝绳或翻板磕碰单晶。2、泄漏率0.5Pa/min以下为正常。否则有关人员处理并报告班长或主管。3、升起副室前必须确认炉内压力为常压。4、缓慢转动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶在移动过程中坠落。5、取单晶的晶筐（或小车）必须放置平稳，应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落掉进晶筐（或小车）内摔坏单晶。6、夹断细径后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤、籽晶温度高，不可用手直接接触）7、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶。8、单晶冷却后，必须及时、准确的依照编码规则对晶棒记录编号（用记号笔标注）工序名称石墨件的取出拉晶作业标准持有车间硅棒部页数5/32适用范围目的适用于每炉石墨件及残骸的取出及大清时整个热场的取出标准作业NO.1作业顺序取出导流筒1、准备好不锈钢小车。作业内容2及大盖取出残骸2、依次戴好帆布手套（或纯棉纱布手套）、耐高温手套。3、按顺序取出导流筒及保温大盖。4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上。（高温的下保温盖与导流筒下沿不准直接接触不锈钢）1、准备好耐高温手套、帆布手套（或纯棉纱布手套）、钳子、不锈钢筒。2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动。3、戴好耐高温手套将石英埚和埚底料取出并全部放入不锈钢筒。若出现闷炉等意3、戴好耐高温手套将石英埚和埚底料取出并全部放入不锈钢筒。若出现闷炉等意外情况则是能随石英埚体一并取出的一并取出，否则，用耐高温手套、钳子像装料一样取出，直至彻底取出。注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。2、依次戴好帆布手套（或纯棉纱布手套）、耐高温手套。取导流筒及大盖时要从炉内向上平移，轻拿轻放，小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件的碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔发生偏移影响欧陆，影响温度，影响成晶。3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，而且要处于洁净状态，一是为了防止重金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时向单晶内的扩散，影响了单晶的寿命，二是不洁净的石墨条对石墨件的再次污染。4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身及衣服，切忌将埚底料不慎从热场的缝隙掉下，这一工序尽量把埚内的料全部取出。5、对异常事故所出现的闷炉料一定要写明原因，方便以后对原料的处理。工序名称石墨件的取出拉晶作业标准持有车间硅棒部页数6/32适用范围目的适用于每炉石墨件及残骸的取出及大清时整个热场的取出标准作业NO.3作业顺序三瓣埚、埚底、埚杆的取出作业内容1、戴好帆布手套（或纯棉纱布手套）、耐高温手套，准备好埚杆扳手。2、依次取出三瓣埚、埚底、埚杆。埚杆从中央孔的位置用埚杆扳手取出不锈钢螺栓。3、取出的石墨件一并放在不锈钢小车上移至适当的位置，自然冷却。注意事项及原由1、注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身及衣服。2、取三瓣埚、埚底时残留的埚底料不要掉入炉底及炉底波纹管内。若出现这样的情况，一定要清理大波纹管，否则会造成下炉液面晃动影响成晶，残留的埚底料一情况，一定要清理大波纹管，否则会造成下炉液面晃动影响成晶，残留的埚底料一并将其全部倒入不锈钢筒内。3、取埚杆时不要使埚杆碰到加热器、保温筒等其它石墨件以免造成损坏，取出后要将埚杆板手从埚杆内取出放到指定的位置保证埚杆板手再次使用仍然处于常温以防烫伤。4、不锈钢小车在移动时不要碰到车间其它的物品，以防烫坏或损坏而污染石墨件。5、操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏，防止测温孔位置发生移动造成信号取值偏差过大。6、出现异常立刻处理，并报告班长或主管。工序名称石墨件的取出拉晶作业标准持有车间硅棒部页数7/32适用范围目的适用于每炉石墨件及残骸的取出及大清时整个热场的取出标准作业NO.1作业顺序埚底料的分类作业内容1、埚底料或事故引起的闷炉料都要将其存放在不锈钢筒内移到指定的区域自然冷却2、不锈钢筒内的埚底料或事故引起的闷炉料待其冷却后都要将其放入指定料筐指定区域。在石英坩埚明显位置处用记号笔注明晶体编号。注意事项及原由1、埚底料的应及时存放到指定的区域，避免多个拆炉对埚底料分类记忆不清。2、在石英坩埚明显位置处对事故料一定要注明事故原因，目的是再利用时减少因分离不清而造成单晶参数的不合格。工序名称大罐的清理适用范围目的NO.作业顺序拉晶作业标准持有车间硅棒部单晶炉的清扫作业标准作业作业内容页数8/321作业准备1、准备好毛刷、吸管、专用工具。2、戴好帆布手套（或纯棉纱布手套）、防尘口罩。注意事项及原由2清理大罐1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。2、用专用工具打开大罐盖。3、用毛刷和吸尘器仔细清扫大罐内的挥发物。4、用刷子和吸尘器清扫大罐盖。5、盖好大罐盖并用专用工具上好大罐盖。注意事项及原由1、打开大罐前确认所清扫的真空泵球阀在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内返气，造成炉内污染。2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害。3、盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净。4、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。5、大罐内挥发物较多，在清扫时应尽量避免与周围作业造成交叉污染。工序名称单晶炉的清扫适用范围目的NO.作业顺序拉晶作业标准持有车间硅棒部单晶炉的清扫作业标准作业作业内容页数9/3222管管道道的的清清扫扫1、戴口罩、PVC手套。2、准备好防尘口罩、纸巾、酒精、清扫用的氩气（氮气）、研磨布、吸尘气管等清扫所需物品。注意事项及原由1、工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工作带来污染。2、所用物品必须洁净、就近摆放整齐。物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费。1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸净。3炉盖清扫小副室的清扫1、打开炉盖。2、用沾有酒精的纸巾擦拭小副室内的附着物。3、用沾有酒精的纸巾认真擦拭副室抽气口、其它小孔、翻板阀四周及转轴。注意事项及原由1、清扫时要自上而下，先清理小副室，如果先清理炉盖后清理小副室，在清扫翻板阀时都会给清理过的炉盖造成污染。工序名称单晶炉的清扫适用范围目的NO.作业顺序拉晶作业标准持有车间硅棒部单晶炉的清扫作业标准作业作业内容页数10/323炉盖清扫4、翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭。5、擦拭过的部位要氮气认真吹净直至确认无污物。6、以上做过的部位反复操作，直至确认无污物。7、清扫过的小副室将翻板阀盖住阀口，并关闭副室小门。8、用洁净