3世代前CELL制程原理

CELLCELL制程原理总体介绍制程原理总体介绍••TFTTFT--LCDLCD制程简述制程简述••TFTTFT制程介绍制程介绍••CellCell制程流程介绍制程流程介绍••问题讨论与交流问题讨论与交流《液晶之家》“小鱼儿”供稿ArrayThin-FilmTransistorArrayThin-FilmTransistorCellLiquidCrystalCellLiquidCrystalModuleModuleArray:晶体管矩形数组Module:产品模块Cell:显示单元体《液晶之家》——….+ARRAY+++cellcellcellcellcellcellcell背光机壳面板《液晶之家》——《液晶之家》——《液晶之家》——利用空气与水混合后,在基板表面产生气体爆破megasonicshowerunit除去1umparticle利用液体在基板上产生共振效果spin/Airknife干燥unit玻璃基板初步干燥除去表面液体IRunit玻璃基板干燥完全使基板加热至100度以上,达到水分子去除有机物除去利用UV或O3对有机物进行分解表面改质（光酸化反应）brush-washingwithdetergentunitUVunit《液晶之家》——紫外线洗净、改质评价方法：接触角(小)　水滴接触角(大)　水滴θθ1.接触角测定法：将定量的纯水滴在物质表面，使用接触角测定机来测定水滴接触角的方法。优点：可以将标准定量化。缺点：需购买试验机。2.濡性指数测定法：用濡性试药来测定表面张力的方法；将30~56dyne/cm濡性标准试药用棉棒等涂在被测物表面来查看它扩散的方法。【表面张力1dyne/cm（10µN/cm）】优点：方法较简便，试药也便宜。缺点：试验者个人个人的判定结果会有出入。《液晶之家》——(TFT&CF)PI膜(Polyimide)APR版滚轮《液晶之家》——制程原理•原理:将PI液滴在aniloxroll上doctorroll将aniloxroll上PI液整平APR板上圆形凸出物将aniloxroll凹槽内PI挤压出并带走·将APR板上PI均匀转印至基板上,提供液晶配向层滴入DoctorrollDispenser:PIAniloxrollstageAPR板PrintrollGLASS基板行进方向《液晶之家》——(TFT)项目配向膜具备特性GoodprintingpropertyLowbaketemp.无rubbing刷痕Rubbing时无产生PI剥落Pretiltanglestability配向后,经加热后亦保有安定配向性Solventresistance成膜性配向特性机械特性《液晶之家》——(AsahiPhotosensitiveResin)版photosensitiveresin(polybutadiene)polyesterbasefilmSPEC：Mesh：需比aniloxrollermesh数低Angle：75度,45度Patternarea:203040缩小率计算:(2π(T+R)-2π(a+R))2π(T+R)=1-2*(T-a)/DT:版总厚度a:底版厚度D:滚轮直径1-APRplate:thickness:0.7~2.84mm±0.02mm底版胶厚度:0.2mmHardness:K-11rubberhardness55接着剂A0A’范围:200~600mesh(每一inch內多少格)DR《液晶之家》——膜配向:基板和roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.Roller高速旋转时,绒毛上的纤维会甩立起来,将PI膜刷出纹路Rubbing的情况,类似于重铺柏油马路之前的刨路机,将路面刨出纹路.《液晶之家》——(TFT&CF)平台Stage滚轮Roller《液晶之家》——原理：借着刷磨或其它方式，使原本random排列之配向膜分子，呈固定而均一之方向排列，以利液晶分子的排列。CHbranch《液晶之家》——的共地极(COMMON极)PI膜《液晶之家》——玻璃基板氮气(N2)液晶注入口Seal框胶之目的，在于提供panel中AR与CF之固着，同时提供panel中液晶与外界的隔绝。Ag点胶之目的，则导通CF与AR上之COM电极，以形成控制液晶分子驱动之电场。《液晶之家》——是小塑胶球又称为“間隙粒子”《液晶之家》——制程撒布主要目是将塑料间隔物，均匀地分布在基板上，以作为TFT与CF间之支撑，并始整面面板拥有均匀的间隙。Spacer《液晶之家》——间隙粒子湿式洒布氮气(N2)超音波震荡器《液晶之家》——=700μm紫外线胶照射紫外线后就会产生黏合力,将两片玻璃黏合黏合玻璃的UV胶20μm《液晶之家》——制程对位标记(AlignmentMark)TFTCFCCD《液晶之家》——~200度C4小时,一次可压18~20片压完后,CF和TFT板之间的距离变成约4.85μm二厂使用真空热压法《液晶之家》——制程利用气囊或抽真空方式加压，使cell之框胶部份形成所须之gap值，并加热使框胶硬化以维持框胶之固定gap值。flatheatermetalfilmO-ring枚叶式热压机气囊式热压机《液晶之家》——切割&裂片13.3“《液晶之家》——“2.5”4“6.1”~6.8“第1代面板:长400mm,宽320mm面板范围裁余部分,抛弃不用400mm《液晶之家》——“~14.1”15“~17”19“22“~32”面板范围裁余部分,抛弃不用第3.5代面板:长720mm,宽610mm720mm《液晶之家》——制程刀轮裂片刀《液晶之家》——抽真空破真空至常压高真空液晶注入示意图《液晶之家》——【Dipmethod】浸渍法将panel注入端部完全浸渍到液晶中，利用真空差压与毛细力上升方式。Injectiontype【Yarnmethod】含浸法将panel注入口与含浸液晶之海绵或弹簧等接触供给液晶，利用真空差压与毛细力上升方式。【Touchmethod】表面张力法液晶以表面张力布满液晶皿，上升后与注入口接触，利用真空差压与毛细力上升方式。【Dispensemethod】滴下法由可微量供给液晶之dispenser，将液晶滴在注入口注入的方式。《液晶之家》——磨边(去掉短路棒shortingbar)《液晶之家》——•目的:将切裂后之玻璃毛边做导角及外围测试线路去除,之后洗净玻璃,并贴上偏光片《液晶之家》——度《液晶之家》——貼片CFCF偏光片滚轮貼片TFTTFT偏光片滚轮《液晶之家》——侧视《液晶之家》——面版上每条线路皆与tester接触,功能上与LCM相同Shortingbarcontact:将所有dataline各别之R线并连,G线并连,B线并连《液晶之家》——之配向共制程CF清洗CF清洗TFT清洗TFT清洗分制程分制程PI预烤PI预烤检查Inspection检查InspectionPI烤硬PI烤硬PI配向PI配向进料检验进料检验清洁基板清洁基板PI膜涂覆PI膜涂覆《液晶之家》——撒布封胶组合对准,定位对准,定位贴合贴合热压合热压合CF烘烤CF烘烤CF框胶&点银胶CF框胶&点银胶TFTSpacer撒布TFTSpacer撒布Spacer计数Spacer计数《液晶之家》——清洗,急冷清洗,急冷模组厂切割切割裂片裂片检查检查LC再配向LC再配向磨边磨边注入液晶注入液晶封口封口清洗清洗贴偏光片贴偏光片加压脱泡加压脱泡CelltestCelltestCellrepairCellrepair《液晶之家》——