project hook up presentation 4(water system)

上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation1project---hookuppresentation4(watersystem)By:htzhang2007-5-10上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation2Watersystem1.UPW定义和施工2.PCW/CW定义和施工3.DRAIN定义及施工HookupPresentation:watersystem上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation3HookupPresentation:UPWUPW：ultrapurewater.电阻率(Resistivity):18.2MΩ•cm总有机碳(TOC):1ppb溶氧(DO):2ppb二氧化硅(SiO2)0.1ppbParticle:(0.05μm)0.5pcs/ml（0.1μm)0.02pcs/mlBacterialcfu/l上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation4HookupPresentation:UPWUPWSupplyspecUltraPureWater(UPW)1)Cold(Fab&Supportarea)a)SupplyPressure3.0±0.5㎏/cm2/3F(43)(±7)(psig)/3Fb)Temperature22±1℃c)Velocity0.5-2.5m/s2)Cold(CMParea)a)SupplyPressure3.5±0.5㎏/cm2/3F(50)(±7)(psig)/3Fb)Temperature22±1℃c)Velocity0.5-2.5m/s提示：1.现在实际压力是：3F0.25MPa2F0.28MPa1F0.30MPa2.若要增设boosterPUMP,你认为该把pump放在何处,为什么？上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation5HookupPresentation:UPWA.制水系统1.Pretreatmentsystem预处理系统2.Primarysystem初级处理系统3.Polishingsystem抛光系统B.回收系统：1.RCLsystem回收处理后系统2.RCMsystem回收返回再利用系统C.主要作用：1.酸洗后清洗2.有机溶剂清洗后清洗3.显影液后清洗4.研磨用水5.设备零件清洗6.QRA实验室7.稀释用水常用机台TubecleanWetbenchtoolCMPtoolPHracktoolLabhood其他清洗（槽）点考量参数压力流量温度电导率UPW用途上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation6HookupPresentation:UPWUPW水质指标对半导体制程的影响Particle:当大颗粒的particle附着在die与die的线槽间会造成产品之电性不良使良率降低。TOC:有机不纯物附在晶片表面会导致氧化和结晶之缺陷及元件之低劣。当纯水中的有机物在湿蚀刻制程清洗过程中，因吸附而附着在晶片表面，会导致蚀刻不均匀及表面清洗效果不佳。DO:溶氧过高易使管路内之纯水滋长细菌溶氧过高易使离子交换树脂性能劣化溶氧过高影响晶片负氧化薄膜之厚度SiO2:溶解在纯水中的硅离子易在蚀刻制程时与溶氧反应成SiO2附着在晶片表面或在OXIDEFILM之形成过程中造成厚度之不均匀上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation7HookupPresentation:UPWUPW管路的施工1.材质：PVDF，聚偏二氟乙烯。(Agru，+GF+)所有的材料，必须在密封的状态下保存。只有在无尘的环境时在施工时才允许打开密封。隔膜阀和压力表必须是UPW系统专用的，品牌是经过甲方认可的。有时机台的POU点和盘面之间使用PFA材质的管子连接。辅材：密封带、法兰垫，螺栓，SUS的支架材料和plastic的P型夹2.连接：热熔焊，flange，flare-union，pillar-fitting，NPTsupply-return连接？任何时候UPW管路要保持循环，严禁出现“死水”现象。UPW系统的盘面：supply/return?上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation8HookupPresentation:UPWUPW管路施工3.施工必须在cleanroom的环境下，或建立专门的cleanbath中焊接。施工机具是经过校验合格的cleanroom专用的。施工人员要经过专门的培训合格、有证，特别是焊接人员。要穿着无尘衣，戴口罩，戴手套，穿无尘鞋。施工要先会勘，划好草图、标注后尺寸大小后进行施工。要检查施工的管子的尺寸是否符合机台的需求。要特别注意管路与机台的连接方式和连接接头的选择。UPW系统的回水管路可以允许比给水管路略小，以节约材料。管路的连接长短要合适，严禁出现硬拉强拽的现象。管路在空间的位置应该是独立的，严禁和其他的管路紧挨在一起。要注意盘面的设计符合机台的需求和已经规划认定的形式。上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation9HookupPresentation:UPWUPW管路施工4.规范：焊接时不能对一道口返工后实施超过2次的焊接。焊接完成后要立即封口，在现场安装时才允许打开封口。保证管路的水平度和垂直度。成排管路的间距要均匀。每1~1.5米设一个支架，其材质为SUS，并配plastic管夹。UPW系统的盘面的形式，GSMC要求有压力表和隔膜阀。管路一般采用IR焊接，其间用union连接。管路施工完成后必须进行标识，并符合有关的规定。安装完成后要对管路进行全面的检查无误后方可进行试压。UPW用于process,试压时不能污染管路，一般用UPW，2hr/2~3.5㎏/c㎡。如机台端与盘面之间用PFA连接，除接头形式外，要绑扎牢靠，留有余地。严禁在管路中出现180度的紧急弯，其中间管路必须不少于100~200mm。上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation10HookupPresentation:UPWUPW管路施工5.Turnon:管路在完成试压合格后，并签署QC（内容?）后，就可以供应DI水。在供DI水时要检查POU点是否锁紧，接点是否正确。要按照机台的需求调节DI水的压力和流量，满足其需求。完成供水后要进行24小时的观察，发现漏水等问题要及时处理。6.问题：UPW完成送水前要保证drain已经完成并开始使用？流量与管径之间的关系？Turnoff?如何调整机台之间的水压和流量的平衡？在一个机台的所有的hookup施工中，合适的UPW施工在哪个阶段？UPW系统在使用中可能会出现那些必须处理的“麻烦”？上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation11HookupPresentation:UPWUPW(Ultrapurewater)UPWpipematerial：PVDFPFAFlangeconnectorTake-offpointConnectingtype：Union,flare-nuionflange,pillarI-Rwelding,swagelok上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation12HookupPresentation:UPWUPWpanelUnionconnectorDiaphragmvalveWeldingconnector阀盘的卧式安装：一般安装在FAB3F的高架地板下方，使用透明高架地板，以便观察和控制valve.阀盘的立式安装：一般以柱子、墙、其他支架为依托，安装在机台的附近，便于观察和调整。上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation13HookupPresentation:UPWUPW与机台的连接Supply:unionconnectorSupply,return:unionconnectorSupply:flare/pillarconnector上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation14HookupPresentation:PCW/CWPCW&CWSupplyspecProcessCoolingWater1)Temperature(Inlet)13℃2)Temperature(Return)17℃3)SupplyPressure6.1㎏/cm2(88)(psig)4)ReturnPressure0.5㎏/cm2(7)(psig)CityWater(Non-potable)1)SupplyPressure3㎏/cm2(43)(psig)2)POUSize(Max.)12mm(0.5)(inch)提示：1.PCW现在实际压力是：supplyreturn3F0.42MPa0.052F0.50MPa0.051F0.60MPa0.052.PCW现在实际温度是：Supply:17±1.5℃Return:18℃3.CW压力温度如何？上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation15HookupPresentation:PCW/CWPCW&CW作用1.PCW通过循环，吸收机台产生的热量。•主要的机台:mainframeDryPumpScrubberCompressorChillerPowercontrollerboxHeaterexchanger水循环方式；直接循环Sensor探测温度考量参数：压力流量温度2.CW/PW紧急冲洗、稀释化学品管路。进行scrubber洗气(wetscrubber)。•主要的机台：WetbenchtoolScrubber水流方式紧急时冲洗、稀释chemical。洗气循环、排放。考量参数•压力•流量•温度（保温）•水质（filter)上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation16HookupPresentation:PCW/CWPCW/CW管路的施工1.材质：以无逢钢管SUS304为主,部分使用SUS316/PVC。都必须禁油。盘面和机台之间的连接可以采用150bar压力的软管(hose/PFA)连接。(而炉管机台用TUBE管？）软管的接头多采用SWG/Union的形式，用专用的设备压接而成。但是根据不同机台的需求，POU接头型式也不同。管件：NPT-union,弯头,短丝，变径，三通，法兰。球阀采用3片式的，禁油处理。流量计和压力表必须是经过甲方认可的品牌。有时机台的POU点和盘面之间使用PVC材质的管子连接。辅助材料：焊丝,氩气，密封带、法兰垫，螺栓，sus/C-钢，P-夹。2.连接：氩弧焊接，flange，SWG-union，NPT-union，Swivelbarb上海宏力半导体制造有限公司GraceSemiconductorManufacturingCorporation17HookupPresentation:PCW/CWPCW/CW管路的施工3.施工施工人员要经过专门的培训合格。