1第14章射频电路与系统测试技术教学重点本章重点介绍了射频电路测量的基本设备及其功能;介绍了常用的定标及误差校准技术;介绍了几种参数的测试方法:S参数的测试方法,频率测试技术,相位噪声测试技术,功率特性测试技术;介绍了器件的温度特性测试技术发展情况。教学重点教学重点掌握:常用的定标及误差校准技术;S参数的测试方法,频率测试技术,相位噪声测试技术,功率特性测试技术。了解:器件的温度特性测试技术的发展情况。熟悉:射频电路测量的基本设备及其功能。能力要求2本章目录第一节基本测试设备第二节频率特性测试技术第三节噪声特性测试技术第四节功率特性测试技术第五节温度特性测试技术3知识结构射频电路与系统测试技术基本测试设备信号源频谱分析仪矢量网络分析仪频率特性测试技术噪声特性测试技术功率特性测试技术计数法测量系统的三阶截断点的方法直接测量法鉴相器法鉴频器法微波功率测量方法功率测量中的误差温度特性测试技术噪声系数分析仪外差法低温测量4§14.1基本测试设备14.1.1信号源信号源是能够产生射频/微波测试信号的装置,其核心部件是振荡器或频率合成器。按应用要求,信号源可以分为简易微波信号源、标准微波信号源、点频微波信号源和扫频微波信号源。1.简易微波信号源与标准微波信号源产生输出频率、输出电平和调制系数都能调节的信号,且能够准确读数,并对信号的泄漏有严格要求。2.标准信号源在简易微波信号源的基础上,增加了一个定标衰减器模块。3.扫频微波信号源的输出频率可以在指定范围按一定的频率步进周期性变化(即为扫频)。4.点频微波信号源按点频方式工作,一次只能输出单一频率的微波信号,而对应的测量方法称为点频测量法。5§14.1基本测试设备14.1.2频谱分析仪对于射频信号,由于频率很高,无法直接用时域测量仪器进行测量,只能将时域信号经过傅氏变换,变为频域信号来分析其频谱。供测量信号频谱的仪器称为频谱分析仪。频谱分析仪可以用于显示所测量信号的电压、波形、功率、周期、频率以及旁频带。频谱分析仪面板6§14.1基本测试设备频谱分析仪的核心是混频器,基本功能是将被测信号下变至中频,然后在中频上进行处理,得到幅度。在下变频的过程中,是由本振来实现下变频的。本振信号是扫描的,本振扫描的范围覆盖了所要分析信号的频率范围,所以调谐是在本振中进行的。全部要分析的信号都下变频到中频进行分析并得到频谱。频谱分析仪的基本结构框图7§14.1基本测试设备14.1.3矢量网络分析仪矢量网络分析仪是全面测量网络参数的高精度、智能化仪器,能快速、精确地测量有源器件和无源器件的特性,例如放大器、混频器、双工器、滤波器、耦合器、衰减器和移相器等无源和有源电路。1.S参量的测量在测量、建模和设计多元件的复杂系统中,器件的S参数特性起着关键的作用。矢量网络分析仪能方便快捷的测量出被测器件的四个S参量。网络分析仪通常有1个输出端口,该端口可以通过内部信号源或外接信号源输出射频信号,另外还有3个分别标为R,A和B的测量通道,其结构如图所示。8§14.1基本测试设备11S21S12S22S射频源通常是覆盖特定频段的扫频源。测量通道R用于测量入射波,同时也作为参考端口。通道A和B通常用于测量反射波和传输波。测量通道A和B可以同时测量任意两个S参量元素。此时,和的数值可以分别通过计算A/R和B/R的比值得到。若要测量和,则必须将待测元件反过来连接。利用网络分析仪测试S参数的实验系统9§14.1基本测试设备2.测量误差及分析方法使用矢量网络分析仪测量待测器件(DUT)的S参数时,测量误差由三部分组成:系统误差,随机误差和漂移误差。系统误差主要包括方向性误差、隔离误差、源/负载的失配误差、反射/传输路径的频率响应误差等。矢量网络分析仪的系统误差模型10§14.1基本测试设备(1)反向性误差和隔离误差方向性误差表现为矢量网络分析仪发射的测试信号未通过DUT,而直接进入了反射信号的通道,这是由于发射端的定向耦合器没有足够的隔离造成的。隔离误差表现为入射信号通过DUT后而直接进入了接收端的反射通道,而没有进入接收端的传输通道。(2)源失配误差和负载失配误差11S22S21S12S源失配误差的产生机理是:实际的测试系统并非理想匹配,在进行反射测量时,由于从DUT向源看去的反射系数不完全等于零,导致部分反射功率的损失,对测量和造成影响。同理在传输测量时,负载失配误差是由于从DUT向负载看去的等效反射系数不完全等于零,导致部分传输功率的损失,对测量和造成影响。11§14.1基本测试设备(3)反射路径的频率响应误差和传输路径的频率响应误差频率响应误差是由测试系统的功率分配器,定向耦合器,转换接头和传输电缆的频率响应特性并不是一条很平坦的直线而引起的误差。表现为若用一个标准的短路校准件进行校准时,系统的频率响应的不平坦性。以上六种误差是系统误差,是可以校准的。另外还有两类误差随机误差和漂移误差是不能校准的。(1)随机误差随机误差(又称偶然误差)是指测量结果与同一待测量的大量重复测量的平均结果之差。(2)漂移误差分析测试仪器由于供电电源电压不稳,电子学元件老化,光电倍增管暗电流大,环境温度变化,室内气流骚扰等原因,造成分析仪器示值不稳所引起的分析测试结果与理论实际数据的偏差。12§14.1基本测试设备3.测试夹具及校准技术夹具的作用是连接DUT和矢量网络分析仪,所以理想的夹具要求无损耗、线性相位变化、平坦的频率响应、阻抗匹配的连接端、电长度已知、输入和输出端的隔离度无穷大等。使用高质量的测试夹具可以获得高的测量精度,下图是用于手机芯片的测试夹具照片,利用它可以方便的进行手机芯片测试,并得到很好的测量精度。手机芯片测试夹具照片13§14.1基本测试设备4.通用校准与定标方法11S21S21S11S(1)SOLT校准先后连接匹配负载,短路器和开路器并测量反射系数,通过计算可校准反射参数相关的误差项。在得到与反射误差相关的误差项后,连接匹配负载并测量传输系数可得到传输路径的隔离误差,连接直通段并测量和可以得到传输路径的频率响应误差和负载失配误差。所以要得到所有的12个误差项,通过正向和反向各六次测量就可以得到测量系统的所有12个误差项。正向误差模型反向误差模型14§14.1基本测试设备(2)TRL校准直通-反射-传输线(TRL)校准方法不需要已知的负载,而是采用下图所示的3种不同连接方式进行校准。直通-反射-传输线校准方法的信号流图对于直通状态,已知,。令,则有:11220SS12211SS1221EE12221TREREE12221TXTREBEEEE21211221TRREAEEEE15§14.1基本测试设备对于直通状态,已知,,则有:1122SS12210SS12221RERE21211221REAEERXBE对于传输线状态,已知,,则有:12210SS1221lSSe122221LlREREEe2212112221lRLlREEeAEEEe122221lLXTlREBEEeEEe11E22E12EXEREle根据上述公式可以解出校准网络的未知参数,,,,,反射系数,以及传输线参数。在完成了误差校准后,就可以测量DUT的S参数了。16§14.1基本测试设备5.探针台及校准技术用探针台能够实现极其精确的MMIC性能测试。与测试夹具相比,探针台测量技术具有如下一些优点:(1)单扫频系统已实现直流到120GHz信号的测量。(2)引入的系统误差很小,测量更精确,并具有可重复性。(3)校准程序简单,采用晶圆片上校准和验证标准可以实现校准程序自动化。(4)其使VNA测量参考面位于探针尖或在沿MMIC传输线一段距离处;后者可以完全消除过渡效应。(5)其提供了一种快速、无破坏测量MMIC的方法,从而可以在切片和封装之前进行芯片选择。17§14.1基本测试设备14.1.4噪声系数分析仪噪声系数测试仪的原理方框图如下图所示。10~1600MHz信号进入低通滤波器后,任何高于1650MHz的信号将被抑制,程控放大器调整输入信号电平以满足第一变频器的需要。第一变频器使输入信号和第一本振差频得到第一中频,第一中频经隔离器进入低通滤波器,然后进入第二变频器。第一中频与1750MHz本振进行第二次混频得到第二中频。第二中频再和280MHz本振混频产生第三中频,再经放大滤波之后进入检波、A/D变换,最后由CPU计算、修正、存储、显示。噪声系数分析仪原理图18§14.2频率特性测试技术14.2.1外差法XfSfdXSfff外差法的基本原理是将待测的信号频率与本机已知的准确振荡频率通过混频器混频,输出差频信号,再通过分析三个频率的关系,测出待测频率。外差法原理sfd0f若本机频率连续可变,则可以通过调节本机频率,使输出差频便可测得待测频率为:sXffXfsfsfXfdsX0fnfmf当和含有谐波分量时,则可以调节的n次谐波等于的m次谐波,即,则可以得到待测频率为:Xsnffm19§14.2频率特性测试技术14.2.2计数法XfXTsf计数法的基本原理是将未知频率的每一个周期变为一个脉冲,由计数器计出通过闸门的脉冲数,标准频率用于控制闸门的开关时间,如图所示:计数法原理gTsfgsTmTXsnTmT设闸门开放的时间等于的m个周期,即,在开放期间通过闸门的脉冲数为n个,则,于是得到待测频率为:。Xsnffm20§14.2频率特性测试技术14.2.3测量系统的三阶截断点的方法如果基频信号增大10dB,三阶交调就会增大30dB,所以对于基频分量有:33i()OIPaGIIPP而对于三阶交调分量有:33i3()OIPbGIIPPiP其中a和b为当输入功率为时的基频和三阶交调的输出功率。化简上两式得到:332abOIP于是我们可以得到三阶截断点为:33IIPOIPG21§14.3噪声特性测试技术m()Sf相位噪声的功率谱密度可以定义为:2rmsmm()()fSfB2rmsm()f()tmf其中是在频率处产生功率,B为测量噪声的等效带宽。()t根据调制理论,当最大值远小于1rad时,可得到如下关系:mm1()()2fSf22§14.3噪声特性测试技术14.3.1直接测量法m()f将未加调制的高频载频信号直接加到频谱仪上,调节适当的频率范围和其他参数便可观测出该信号的。m()f3dBB为了更加精确的测量,需要进行一定的修正。首先将分辨带宽乘以1.2作为测量带宽B。由于频谱仪读数对噪声功率有2.5dB的压缩,所以需要加上2.5dB的修正项,最后结果为:m()10lg(1.2)2.5fNB14.3.2鉴相器法()tm()Sf用鉴相器法测量相位噪声其过程是将待测信号与一个高稳定度的同频参考信号相位正交的进行混频,检出与被测信号的相位起伏成比例的低频噪声电压,经过低通滤波和低噪声放大,输入到频谱仪中读出的功率谱。23§14.3噪声特性测试技术鉴相器法测相位噪声设被测信号为cc()cos[()]vtVtt,参考信号为rrr()cos()vtVt两信号经过混频器和滤波器后得到:bcrcr()cos[()()]vtVVtt当cr时,又有:bcr()cos[()]vtVVt24§14.3噪声特性测试技术因为0()()tt,若可以调节02,则有:bcr()sin[()]vtVVt()t当的最大值远小于1rad时,就得到:bcr()()vtVVt考虑频域,同样有:bmcrm()()vfVVfb()vt()tcrKVVb()vtK()tm()Sf可知就是与相位起伏成比例的低频电压。令称为鉴相常数,通过频谱仪测量输出电压,通过鉴相常数的校正就可以得到的功率谱。25§14.3噪声特性测试技术14.3.3鉴频器法fVVm()Sfm()f鉴频器法的原理是将被测信号的频率起伏由鉴频器变为电压起