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1编号：拉晶作业指导书版本：受控状态：批准审核编制日期日期日期文件编号：发布日期：生效日期：受控状态：受控号：版次修订状态：起草：审核：批准/日期：2大清扫装料加热化料拆炉清炉炉抽空、检漏稳定化单晶待检取单晶3工序名称真空泵的清及泵油的更换适用范围试用于真空泵的清扫及泵油更换作业作业顺序3/301、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置；引颈副室抽空隔离坏回熔取出坏转肩收尾坏收尾放肩冷却等径4一、放油二、清泵三、注油2、关闭主泵球阀；3、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；6、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；注意事项及原由：1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；4、处理废油时注意泵房卫生；5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；6、出现异常立刻处理并报告班长；1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；1、打开真空泵注油口；2、将加油漏斗放入真空泵注油口；3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；6、装上尾气管，盖好注油口；7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作；注意事项及原由1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油；3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；4、注意清理真空泵及周围卫生；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；工序名称真空泵的清理及泵油的更换适用范围拉晶过程中单晶的取出作业顺序4/305一、作业准备二、单晶取出1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾；2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；1、待单晶冷却5小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行热检漏并相应记录；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量为20升/分，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置；8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序；注意事项及原由1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废；2、泄漏率﹤4pa/10min为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录；3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落；4、取单晶的小车应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；5、剪断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高不可以用手直接接触）；6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶；7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；工序名称石墨件的取出适用范围适用于每炉石墨件及埚底硅料的取出及大清时整个热场的取出作业顺序5/306一、取出导流筒及保温盖二、取出埚底硅料1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂勾；2、戴好手套及耐高温手套；3、按顺序取出导流筒和保温盖；4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；1、戴好耐高温手套和准备好钳子；2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；注意事项及原由1、所需要物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取导流筒及保温盖时要从炉内向上平移轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件是碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔取光发生偏移，造成欧路控制温度精度，而影响晶体直径控制；3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，且保持洁净状态，一是为了防止金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时扩散到坩埚硅熔体里，降低单晶硅少子寿命，影响产品质量；二是防止石墨件再次污染；4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小心取埚底料，应避免埚底料从热场的缝隙掉下，这工序把埚内的料全部取出；5、待石英坩埚和埚底冷却后，放入指定的箱子并做好编号；工序名称大罐的清理适用范围单晶炉的清扫工作作业顺序7/307一、做业准备二、清理大罐1、准备好毛刷、吸管、专用工具；2、带好手套、防尘口罩；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；7、清洁大罐表面卫生；注意事项及原由1、打开大罐前确认真空泵球阀和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染；2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害；3、盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净；4、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空；5、大罐内氧化物容易飘散，在清扫时应竟量避免与周围作业造成交叉沾污；工序名称单晶炉的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业作业顺序8/308一、作业准备二、管道的清扫三、炉盖清扫1、带口罩、手套；2、准备好防尘口罩、纸巾、酒精、清扫用的氮气、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品；注意事项及原由1、工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；2、所用物品必须洁净、就近摆放整齐。物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费；1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；小付室的清扫1、打开副炉室门；2、用粘有酒精的纸巾擦拭小付室的附着物；3、用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口、其它小孔及隔离阀四周及转轴（旋转隔离阀的小付室要认真擦拭到腔体内的每个角落）；注意事项及原由先清理小付室。如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板或旋转阀时都会给清理过的炉盖造成沾污；4、隔离阀板的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭；5、擦拭的部位要氩气或氮气认真吹净直至确认无污染；6、以上做过的部位反复操作，直至确认无污染；7、清扫过的小付室将隔离阀盖住阀口，并关闭付室小门；8、用洁净的纸巾将小付室上口盖住；工序名称单晶炉的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业9作业顺序9/30三、炉盖清扫注意事项及原由1、氧化物附着较多时，先用毛刷及吸尘器处理；2、清扫付室抽气孔时要把纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理。当出现倒吸气情况时要将付室抽气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净；3、用氩气或氮气吹扫时应注意向外或向下吹，这样会将附着物及纸巾碎屑完全吹出小付室；4、反复操作有利于彻底清除污物；5、盖住阀口，防止在清理炉盖时将污物带入小附室；6、注意阀板上的钢丝水管是否拧劲儿，接头是否松动漏水，造成不成晶；7、注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽，尤其是旋转阀操作时要提升到位一面磕碰密封圈导致密封圈出槽或损坏；8用纸巾盖住小附上口防止空气中的污物进入小付室；9出现异常立刻处理，并报告组长或车间主管；1、先用纸巾擦拭内壁（先用毛刷、吸尘器清理一次）；2、小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接接口等不易清扫的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦拭，直至确认无污物；3、用氩气或氮气将擦拭过的部位认真吹净，直至确认无污物；4、以上做过的部位反复操作，直至确认无污物；注意事项及原由1、氧化物较多时（停电、真空泵故障等造成返气）先用毛刷和吸尘器清理；2、硅氧化物强力附着时，会造成炉盖局部发黑、发白，要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物；3、观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。4、反复操作有利于彻底清除污物；工序名称石墨件及炉内的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业10作业顺序10/30一、石墨件的清扫1、单晶炉需安装新的18英寸热场和石墨毡，其操作步骤详见《热场（石墨件）的清理和石墨毡包扎》工序；2、石墨件必须在指定的清扫台进行清扫；3、准备好清扫用品（毛刷、纸巾、氩气或氮气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；4、依次用毛刷、吸尘器、纸巾、清扫石墨件，直至确认无污物；5、沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨，而后进行2、3的操作；注意事项及原由1、清扫台内及周围环境必须洁净；2、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；3、操作时要轻拿轻放原则，以免造成石墨件的损坏；4、依次按三瓣埚、埚底、埚杆、导流筒、保温盖（必须分开清理）的先后顺序进行认真的清扫并吹净直至无污物；5、清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净的小车上；6、必须保证氩气或氮气的压力；7、清扫时注意检查各个石墨件是否有损坏或粘硅；8、清扫垃圾放入垃圾筒内定期处理；9、清扫完毕后的石墨件禁止叠加放置；10、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；工序名称石墨件及炉内的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业11作业顺序11/30一、炉内的清扫及检查1、准备好毛刷和吸尘器的专用工具；2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；4、检查电极螺丝是否松动、脱落或粘硅；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的浪费；2、加热器清理不净，容易在加热时氧化物会迅速挥发扩散，从而严重污染原料；3、电极螺丝如果松动、脱落或粘硅，在化料时很可能引起打火，造成事故；4、如果在拆炉时不小心引起热场移动活转动一定要检查热场是否对称，侧温孔是否校正。（如图所示，距离是否一至）；5、用带有酒精的纸巾清理炉筒内壁上部；注意事项及原