3004静电泄放(ESD)防护程序

文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第1页共17页拟制:崔虎娃审核:黄振玉批准:殷春泉有效受控文件应为盖有“受控复制”或“临时受控复制”红戳的硬拷贝形式或在公司内部网上显示的电子拷贝形式。质量体系文件p文件名:静电泄放（ESD）防护规定文件号:QYS3004版本号:1修改号:1文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第2页共17页修改记录表版本/修改号更改通知号完成日期制定者页数变化特征197.11.22崔虎娃22新文件1/1991101799.11.16崔虎娃全部更换注意:请不要在任何受控复制文件上涂改。文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第3页共17页目录封面1修改记录表2目录31目的42适用范围43方针44控制及发放55职责和权限56定义和规定57设备/场地的特别要求78主要的静电控制79需要控制的其他部分1110防护材料和设备1211进出管制1512参观及巡视1513设备、看守、维修及安全人员1514培训计划1515审查1616测试计划1617质量记录1718质量记录格式17文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第4页共17页1目的本文件的目的是规定ESD控制方针的要求，从而能够有效全面的控制ESD，本文件包含了防止ESD对产品损坏的程序和准则。2范围本文件适用于那些从事TEK制造业的人员及相关设备。为了确保静电敏感器件及组件在搬运和贮存的过程中受到适当的保护，本文件所提出的要求、准则及惯例为最低限度，针对特殊的过程、区域或产品可以定义更高的保护等级。3方针按照在此规定的程序和准则执行，它为可销售的产品和用户的产品提供足够的保护，从而防止ESD的损坏。用于制造可销售产品的器件、组件的ESD灵敏度由管理部门决定，以便建立足够的保护等级(见第五部分)。在对可销售产品和用户产品有潜在损坏的地方，应提供适当级别保护，从而保护最为敏感的器件(见第七部分)。对那些须暴露ESD敏感器件、组件的地方，需要特别标出，已标出须保护的区域的标识要醒目。任何人如要进入已标明要求ESD保护的区域，都须按照该区域所规定的要求执行，如在标明ESD保护的区域发现不符合规定要求的人员，则应护送出该区域直到符合要求为止，参观和维修人员对本要求可以例外(见第11，12，13部分)。在ESD保护区域参观应由已受过ESD培训的人员指导，并且该人员应知道被参观区域的要求，应尽可能做到与被参观区域的要求一致。例如：如果不易找到适合高筒靴的脚套，那么穿高筒靴的人在参观时就要被告知他们不要触摸或靠近任何暴露的器件、组件或产品，在该区域工作的人员或经常参观的人员则必须符合该地区的要求，而不是尽量做到(见第14部分)。直接参与生产，测试可销售产品、用户产品的人员须每年至少一次接受ESD培训(见第14部分)对于那些因工作关系而须经常进入放有未曾屏蔽的可销售产品、用户产品的区域的支持人员，必须每年至少一次接受ESD培训(见第五14部分)。对于那些不经常进入ESD控制区域的人员应至少有一堂培训课，使得他们了解该区域的要求和惯例，这些区域处理可销售产品或用户产品。与ESD方针有关的物料更改须重新培训。品质主管将决定是否需要重新培训(见第14部分)。工程管理部门应决定ESD保护的适当等级，以防止由于ESD对关键敏感器件的损坏而引起的NPI项目混乱。文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第5页共17页4控制及发放品质部负责本方针的更改及更改的认可。任何使用本文件的人在使用前须确认本文件的版本，可以与品质部联系来确认文件的状态。品质部负责本文件的发放及控制。5职责和权限5.1要求区域或大楼的职能部门应确保本文件的要求得到遵从。当可销售的产品，用户的产品处于生产部门的控制下时，生产管理部门应为这些产品提供足够的保护，以防止ESD的损坏，除非在操作员手册中规定，否则销售产品不需特别静电防护。如果产品不适宜销售，且元器件外露，并有ESD损坏的危险，则应提供与生产时一样或更高级别的保护。6定义和规定6.1防静电材料防静电材料的表面电阻在109～1014之间如粉红色聚合物6.2导体材料ESD防护材料的表面电阻最大值为105如：barrierbags，静电屏蔽袋，黑色托盘(箱)，3mvelostat。6.3器件失效器件失效可以发生在生产过程的任何环节，半导体器件、电路板及产品组件都对静电敏感，静电损坏可以归纳为四类：彻底失效性能降低可靠性降低间歇性降低6.4静电泄放(ESD)直接的接触或静电场的感应可以导致电荷在两个不同电位的物体之间转移。6.5ESD敏感器件电子元件、厚膜电路及组件对ESD的敏感电压不足15000V，由于暴露在静电释放的场所，一个组件或器件的电性能、物理性能将发生改变。6.6ESD放电灵敏度静电泄放灵敏度是指在搬运和贮存的过程中没有损坏的条件下,对暴露的器件，组件的最大可能释放。6.7ESD保护材料文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第6页共17页具有下面一个或几个功能的材料：限制静电的产生；通过表面或体积快速耗散电荷，为防止ESD火花放电或静电场而提供屏蔽。6.8ESD保护包装用ESD保护材料来包装以防止ESD损坏ESDS器件。6.9牢固接地(直接接地)通过一个低阻与大地相连。6.10脚带戴在生产人员脚后踝上的导电装置。本装置与接地的导电地板或垫子一起使用，以便能将积累的电荷安全地泄放到地。6.11绝缘材料ESD防护材料的表面电阻大于1014。6.12大地接地应接到电网的地线上，通常接到电源插头附近的螺钉上或其它金属物上。6.13MBD测量业务部。6.14场地设计场地设计是一种针对一定场所来决定ESD保护级别的方法。6.15软接地(间接接地)为了人身安全，通过一个足够大的阻抗来接地，起到限流的目的。6.16静电保护区被建造和装备成限制ESD电压的区域，从而保护搬运或生产中的器件。6.17静电控制工作台在保护区域内用ESD保护材料装备成的区域(手腕带连接点、导电桌面及地板等)6.18静电耗散材料ESD保护材料的表面电阻在105～109之间，如：地板垫、桌面垫，另外一种能有降低表面产生静电的方法就是对塑料的表面进行处理，从而使它对静电安全。6.19磨擦起电效应通过磨擦两个物体从而产生静电。6.20腕套通常一导电装置连接到操作人员的手腕，同时也接地，这样的连接可以安全地将积累的静电泄放到地。文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第7页共17页7设备/场地的特别要求7.1要求在有可销售产品、用户产品的区域，这些产品的ESD敏感器件外露，应实施ESD控制计划。该计划设计了外露器件的特定ESD要求，这些区域必须被明显地标注为ESD控制区域。7.2将完成的场地设计要求表贴在保护区域的主要入口。7.3建造该区域以符合设计要求表。7.4ESD控制区的标识采用适当的信号清楚地标出ESD防护区，信号必须贴在入口处。已确认符合ESD防护工作台要求的工作台须在显著位置贴上ESD合格标签。如果在总区域内有任何更高要求区域，则在该区域的入口应有一个设计要求表。注意：离子化一旦物料积累电荷而不能通过接地释放，则应考虑离子机作为辅助手段来中和电荷，不能因为使用离子机而试图省略使用脚带或防护性的桌面及地板。在需要离子化的地方，产品一旦没有防护性包装，则一直在离子化的状态下处理产品。7.5场地设计要求表（见格式1）8主要的静电控制8.1.1每个ESD防护工作台都应：8.1.1.1静电耗散的桌面或垫子，通常在垫子与地之间串一个1M30％的电阻，出于安全和效果的原因，不要将导电垫子直接接地。8.1.1.2提供腕带连接点。8.1.1.3由合格的检验员在工作台上贴上合格标签“O”级工作台除了标准标签外，还应有这样的标签。8.1.2工作台的耗散表面及地板垫子,如果设计时需要,应在每次组建及搬动时通过测量对地电阻来建立和确认它的接地状况。如果测量值超出规定的范围,则认为失效,在工作台使用之前必须立即改正,详见第6部分的性能规格.测试结果应记录在审核表上,和其它ESD审查记录一起存档,这是一个质量记录。8.1.3工作台的接地要求8.1.3.1工作台的垫子和腕套的插座要有独立的接地线路,应采用星型连接,不要使用串接方法。8.1.4工作台的表面须清洗,防止灰尘,脏物等积累在垫子上而绝缘。尽管在规定文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第8页共17页过程中可以使用标准合格清洗液，也可以使用特殊的防静电清洗液。8.2腕带8.2.1戴腕带决定于场地设计要求8.2.2腕带必须连接到工作台的接地点，并且必须与皮肤接触好，不能放在手套、衬衫袖、工作服或其它服装的外面。8.2.3测试8.2.3.1腕带测试仪及其使用说明书应放在指定的位置8.2.3.2在使用之前，通过连接到腕带测试仪来确认其电性能的完整性，如果测试失效，则应更换腕带并且重新测试直到通过为止。8.2.3.3当测试通过后用“”来代表通过，记录在腕/脚带检查表上附录C为推荐的表格，该表格是质量记录。8.2.3.4测试每天至少一次,针对那些每天在ESD防护工作台工作的,人员或有理由要求他们需测试的人员,在其他时间不需记录。8.2.3.5如果手带和脚带,后跟带或导电鞋都测试通过,则输入“”。8.2.4如果带着腕带不便移动,则可以使用两个后跟带(每个脚)或认可的ESD防护鞋来代替,仅在生产人员站立工作并有导电地板或垫子的情况下，才允许上述的替代，可以用足踝带来代替腕带，但须符合和带腕带一样的要求。8.2.5如果ESD感器件暴露在外，生产人员即使带了两个脚带或耗散鞋，同样要求在坐下时将腕带连到工作台的接地点。8.2.6腕带的规格当腕带处于正常状态时，腕带人体对地电阻必须小于10M，要求所有的腕带在接地线中串入1M30％的电阻。8.3脚带/ESD脚套8.3.1脚指套、后跟套或导电鞋的使用取于场地设计要求。8.3.2测试8.3.2.1在使用前，应用后跟套检测仪来确认每个正在使用的脚带、后跟套或导电鞋的电性能的完整性，如果测试失败，则需更换并重新测试，直到通过为止。8.3.2.2当通过时，用“”来表示通过，记录在手带/脚带记录表上，附录C为推存表格，本表格为一质量记录。8.3.2.3测试每天至少一次，针对那些每天在ESD防护工作台工作的人员或有理由要求测试的人员，在其它时间不需要记录。8.3.2.4如果手带和脚带、后跟带或导电鞋都测试通过，则应输入“”。8.3.2.5脚带、后跟带或导电鞋的检测仪及其使用说明书应放置在ESD防护区的入口处。文件号：QYS3004文件名：静电泄放（ESD）防护规定第9页共17页8.3.3应正确穿戴防静电带，必须与短袜(或尼龙长袜)或皮肤直接接触。8.3.4长期使用的脚带，后跟带或导电鞋应保持干净，以便脚带上的导电物质能够与地板正常接触，即使电阻测试通过，脚带后跟带或导电鞋也应保持足够的干净。参照8.3.28.3.5简易脚带应每天更换(或损坏时)，原则上简易脚带只能使用一个很短的时间而不能整个工作班都使用。8.4工作服/夹克应按场地设计的要求穿防静电工作服。8.4.1工作服清洗程序应在此声明：防静电工作服的使用寿命与清洗的次数及使用方法有很大的关系，从衣服的制造商那里可以得到衣服寿命的有关信息，除了在ESD控制区应尽量少穿防静电工作服。8.5台式离子机/离子枪离子机能快速去除在表面产生的静电荷，任何发生在静电敏感器件附近的行为，其中包括剥外皮、滑动或绝缘表面的摩擦，或快速移动机器或离子机的气流，例如：包装和拆封打印输出传送装置模版印刷使用橡皮或塑料制作的测试夹具带有静电的标签贴在EPROM/PAL器件上在生产过程中需用胶带的地方塑料器件8.5.1离子机的使用取决于场地设计的过程。8.5.2如果需要用压缩气体吹掉ESD产品上的尘屑，则应用离子化气体，这时可使用离子气枪，它能防止气流产生静电，并易清除带有静电的尘屑，是否使用离子气枪取决于场地