CF制程简介

CF制程简介课程内容课程目标了解CF基本制程了解CFCOA生产流程1.CF定义及作用2.CF结构介绍及说明3.制程流程说明4.CFCOA生产流程介绍Part1.CF定义及作用CF(ColorFilter)即：彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件，其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面，若无彩膜，则看到的电视显示将是黑白的。Part2.CF结构介绍众所周知，自然界的三原色为红、绿、蓝，通过对三原色进行混色，并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。BM：黑色矩阵，用来掩挡漏光PS：感光间隙子，用来支撑与维持Cellgap均匀ITO：用来作CF侧通用电极RGB：起主要作用的RGB三种色阻分布排列Part3.制程流程说明BM制程包括：①玻璃清洗②BM光阻涂布③真空干燥④预烘烤与冷却⑤紫外线曝光⑥显影⑦烘烤。RGBLayer为相似制程，与BM相同，区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。RLayer红色光阻涂布GLayer绿色光阻涂布BLayer蓝色光阻涂布ITO制程为物理溅镀过程，包括①前清洗②ITO溅镀③后洗净④烘烤Part4.CFCOA生产流程介绍PS是在CF与Array基板中支撑Cellgap的柱状pattern。有一定的弹性回复力，可以承担一定的压力。PS呈透明状，减少对光透过的阻挡，制程工序一样为黄光工序。谢谢！