微电子制造概论考试复习提纲

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资源描述

题目类型•1:名词解释(英文缩写翻译,解释)(每题4分,5题,共20分)•2:填空(每空2分,10空,共20分)•3:简答(每题5~10分,5题,共45分)•4:分析计算(每题15分,1题,共15分)每章主要知识点•1、半导体原理•2、半导体器件原理•3、半导体设计基础•4、半导体制造基础•5、芯片互联和封装技术•6、无源元件制造技术•7、PCB设计和制造技术•8、SMT技术基础1、半导体物理基础•1.1半导体的能带理论(分析导体、绝缘体、半导体的区别)•1.2半导体的载流子(种类、特点)•1.3本征半导体和本征激发•1.4杂质半导体的种类,p型和n型半导体的类型区别,主要掺入杂质的种类,多数载流子和少数载流子,施主杂质和受主杂质,补偿效应1、半导体物理基础•1.5载流子迁移(漂移)运动和扩散运动•1.6载流子浓度,费米能级的意义•1.7非平衡载流子:热平衡和非热平衡的区别,非平衡载流子载流子的特点,载流子的复合(种类,寿命,复合中心)2、半导体器件原理•2.1pn结:pn结的形成,内电场,空间电荷区,pn结的电流电压特性,击穿的种类和原因;•2.2双极型晶体管(三极管):种类(pnp、npn),结构,分析其能够产生电流放大的条件,分析其开关特性的条件和原因•2.3场效应管晶体管(MOS管):场效应的原理,MOS管的结构,增强型和耗尽型、n沟道和p沟道--不同MOS管的工作开启电压条件•2.4CMOS管的结构3、半导体设计基础•3.1逻辑电路基础:基本逻辑运算(与,或,非,与非,或非)的运算法则、真值表、逻辑图(符号)、逻辑表达式、时序图,简单逻辑电路•3.2CMOS门电路:非电路,与非电路,或非电路,其他的逻辑电路转换为上面的三种电路的组合3、半导体设计基础•3.3集成电路的设计流程•3.4集成电路的版图设计:–3.4.1什么是关键尺寸(CD)?–3.4.2什么是基于“λ”的设计准则?–3.4.3什么是按比例缩小原则?有什么用?–3.4.4什么是摩尔定律?有什么用?•3.5集成电路的系统设计:–3.5.1设计方法有哪些?–3.5.2什么是ASIC?PAL?GAL?FPGA?4、半导体制造基础•4.1半导体级别硅的生产工艺•4.2单晶硅锭的生长工艺–4.2.1CZ拉伸法:原理,拉伸设备的结构–4.2.2悬浮区熔法:原理,设备结构–4.2.3两种方法的优缺点•4.3晶圆(wafer,硅圆片)的制造工艺•4.4洁净室的分类标准4、半导体制造基础•4.5、氧化工艺:氧化工艺的种类(优缺点),适用于哪些应用;•4.6、化学气相淀积(CVD):定义、种类–4.6.1外延:定义,外延的方法,外延的应用–4.6.2氮化硅:作用,主要工艺–4.6.3多晶硅:作用,主要工艺•4.7、金属化:–4.7.1金属化的主要作用,材料–4.7.2金属化工艺:蒸发、溅射:原理,应用4、半导体制造基础•4.8、光刻–4.8.1光刻胶的种类,优缺点,应用范围–4.8.2光刻工艺的主要步骤:成底模--涂胶--前烘--对准和曝光--后烘--显影--硬烘--检查,每步骤的主要目的–4.8.3曝光光源种类,涂胶主要工艺,分辨率定义等•4.9、蚀刻–4.9.1蚀刻的种类–4.9.2湿法刻蚀的特点,缺点–4.9.3干法刻蚀的特点,优点,缺点,种类4、半导体制造基础•4.10、杂质注入–4.10.1扩散:原理、主要流程–4.10.2离子注入:原理,设备,特点•4.11、CMP:化学机械抛光的原理•4.12、CMOS集成电路的制作过程5、芯片互联和封装技术•5.1引线键合技术:WireBonding(WB)–5.1.1、引线键合的定义–5.1.2、引线键合的方式–5.1.3、引线键合工艺的种类–5.1.4、引线的材料•5.2载带自动焊技术:TapeAutomatedBonding(TAB)–5.2.1、定义–5.2.2、与WB相比的优点•5.3、倒装焊技术:FlipChip(FC)–5.3.1定义–5.3.2特点5、芯片互联和封装技术•5.4、封装的种类–5.4.1塑料封装和陶瓷封装的特点–5.4.2插装封装:SIP,DIP,PGA等–5.4.2贴装封装:SOP,SOJ,QFP,BGA6、无源元件制造技术•6.1、无源元件的定义、种类•6.2、薄膜成膜技术–6.2.1、真空蒸发技术:原理,应用范围–6.2.2、溅射技术:原理,应用范围–6.2.3、膜厚监控技术:种类•6.3、厚膜技术:–6.3.1、厚膜浆料的成分和其作用–6.3.2、厚膜工艺:印制(种类)烧结–6.3.3、厚膜厚度的测试:方阻(定义,测试方法)–6.3.4、微调技术:电阻微调技术种类,电容微调6、无源元件制造技术•6.4、无源元件及其制造–6.4.1分类–6.4.2薄膜电阻的主要工艺–6.4.3电解电容的主要结构,铝电解电容的主要工艺–6.4.4集成式无源元件的优点–6.4.5嵌入式无源元件的优点7、PCB设计和制造技术•7.1、PCB的基本术语:PCB、基板、单面板,双面板,多层板,焊盘,连接盘,导线,过孔,盲孔,沉孔等•7.2、PCB设计准则–7.2.1设计流程–7.2.2元件布局准则–7.2.3布线准则,以及常见的布线时要避免的问题7、PCB设计和制造技术•7.3PCB制造工艺–7.3.1常见PCB基板材料:FR-1,FR-4,BT(基板材料,主要优点,应用范围)–7.3.2单面板制造流程–7.3.3双面板制造工艺:•7.3.3.1孔金属化的工艺种类•7.3.3.2双面板制造工艺种类8、SMT技术基础•8.1SMT技术概要–8.1.1相对THT技术的特点–8.1.2SMT主要工艺流程:单面全SMD;双面全SMD;一面SMD,另一面THC•8.2焊膏印刷技术–8.2.1焊膏的主要成分及其特点–8.2.2焊膏印刷的种类(丝网印刷,钢网印刷)–8.2.3刮刀的种类和材料–8.2.4印刷机的分类(手动,半自动,全自动的区别)–8.2.5点胶技术(贴片胶种类,点胶机种类)8、SMT技术基础•8.3贴片技术–8.3.1贴片机的种类(高速,中低速)–8.3.2贴片机的供料器种类和应用范围–8.3.3贴片机的识别技术–8.3.4提高贴片机贴片速度的方法•8.4焊接技术–8.4.1回流焊技术•8.4.1.1回流焊炉的种类•8.4.1.2焊膏的回流焊温度曲线意义,调整–8.4.2波峰焊技术(焊机基本结构,功用)8、SMT技术基础•8.5检测技术–8.5.1自动光学检测(AOI)技术–8.5.2其他检测设备

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