FAB环境及品质观念

FAB环境及品质观念品质部李凌清培训目的：因为我们公司生产平面光波导集成光路器件产品，这对FAB环境及工艺制程有特殊要求,所以品质部为确保其品质,特制定了《洁净室环境监测操作规范》、《预防FAB环境污染规范》等规范，目的是让各位养成优良的品质观念！简单地说：为确保洁净室良好的工作环境、符合半导体制程的要求，确保产品品质！望大家遵守好相关规范要求。1、洁净室尘埃等级的规定注：10级洁净室的意义是：在该区域内1.2M以上高度范围内的环境、工作台等处进行采样，1分钟内1立方英尺（28.3L）的空气中≥0.1μm的Particle颗粒≤350颗，≥0.3μm的Particle颗粒≤30颗。（本标准来源于：美国联邦标准209E粉尘标准）。一、FAB洁净室环境要求2、洁净室温湿度控制范围3、噪音控制范围二、怎样预防FAB内环境污染1、卫生打扫区域规定附：2、清洁方式、清洁周期和时间，以及清洁的特殊方式规定：A清洁用无尘布使用规定（1）操作间使用10级无尘布做清洁。（2）灰区使用100级无尘布做清洁。3、晶舟盒检查规定（1）制造部依照《晶舟清洗工艺标准作业规范》进行清洗，QA对晶舟卫生每月进行不定期检查。凡有肉眼可见颗粒和脏污为不合格晶舟盒，QA应立即通知制造部或品质部班长，需将晶片置放于干净晶舟盒并对不合格晶舟盒安排清洁，QA负责进行跟进。4、卫生检查规定（1）各区域班长在每次交接班后首先进行卫生检查。（2）QA采用随机抽样的方式，使用无尘纸擦拭洁净室内所有物品时，应无肉眼可见颗粒和脏污。5、Particle测试规定（1）QA对FAB内大环境、工作台、货架等处进行Particle测试监控，其测试数据应符合《洁净室环境监控操作规范》的相关规定。当Particle测定超出规格时，QA开立《洁净室环境异常—OCAP记录》通知相关人员，申请STOP改善处理！6、卫生检查不合格的处理（1）当QA检查卫生不符合规定要求、或未按规定方式进行清洁时，立即提出重新打扫的要求。（2）洁净室卫生不合格责任人应在半小时内完成卫生改善工作，QA在半小时之后按照原标准进行检查，不合格时依照相应SOP执行，直至卫生检查合格为止。7、洁净室不能带入之物品的规定（1）表面不干净的，生锈的工具或材料。如：内六角斑手材质易掉铁屑、有毛边等不良时，切勿带入FAB内。（2）表面油漆剥落的物品。（3）毛线，绒线等易掉纤维物品。（4）木制，竹制物品。（5）不明液体。（6）施工用的电器需要有公安标识。（7）有挥发性材料（如胶水、油漆、涂料等）搬入FAB施工需填写化学物质使用申请单，并拿挥发量参数的证明材料经QRA计算核可后方可搬入。三、洁净室特别管制要求1、进FAB洁净室时须知①进入洁净室人员必须具备有维持高洁净度标准的品质观念。②严禁穿毛线外套人员进入洁净室、更衣室。毛线外套特指：A、长毛线或易脱落毛线外套B、化纤易带静电毛线外套2、穿戴洁净服注意事项①配戴口罩时，要将两边带子挂到耳朵上，并将上下两边拉伸遮住口鼻部位。②头罩要将头发全部罩住，不能将头发露在外面。③戴洁净帽时要将帽子的尾端完全放入洁净衣内，再将衣服拉链拉好、扣上扣子。④洁净鞋要将鞋边的护套向上套在洁净裤外且拉直。⑤戴手套时衣服袖口要压住手套口，不能将皮肤裸露在外。⑥洁净服不得拖（丢）在地上。⑦严禁不吹尘或吹尘时间不够；吹风时双手举起且身体不停转动。若以上注意事项没做好，则FAB洁净室环境易污染！产品质量难于保证！3、出洁净室注意事项◇手套、口罩属一次性用品，取下后应立即报废。◇废弃的口罩、手套及头罩应立即放进垃圾桶内，严禁乱扔。◇头罩放入洁净帽内，帽子要放进衣领内衣架上，洁净服挂放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐。◇放时将拉链拉好，按规定区域挂整齐。◇脱下洁净鞋后，将洁净鞋正方向（或鞋底对齐侧方向）鞋尖朝内，鞋跟在外，靠拢并齐放入更衣室指定的鞋柜内，护套不得压在鞋底下面避免脏污。4、洁净室通用行为规定◇注意个人卫生时常保持洁净，带有浓烈体味者将被拒绝进入洁净室。◇刚做完剧烈运动、流汗者严禁进入洁净室。◇吸烟后半小时内不允许进入洁净室。◇开关门时要轻，避免引起较大震动。严禁在操作区域内做与操作无关的事情。◇严禁将与操作无关的任何物品带入更衣室及洁净室，更衣室鞋柜除放置洁净鞋外不允许放置其它任何物品，如水杯、矿泉水瓶、笔记本等。◇如产生垃圾应立即找到指定位置的垃圾桶，放入其中，并应分类摆放。严禁将垃圾桶随意移动。◇严禁穿着洁净服和洁净鞋到更衣室以外的非净化区去。◇凡进入洁净室的物品，应在污染区拆包装，在更衣室擦拭干净方可进入洁净室。◇所有外套不允许挂于更衣室，进入更衣室人员应先将外套脱放于办公室或指定及个人放置地点。5、FAB洁净室操作注意事项☆严禁用手直接碰触硅片（无论有无戴PVC手套），并且不准在硅片上方活动，防止Particle吹落在硅片上。☆操作晶舟时，为防止污染不准手拿晶舟内缘。☆不准直接用手拿取石英晶舟，应使用专门工具（晶舟叉）。☆禁止对着硅片讲话。☆递送生产硅片过程中，必须将晶片放置于传送晶舟中，并且用手推车（超过两盒时）或提蓝（一至两盒时）送到下一站；非生产硅片允许双手抱一盒硅片。☆任何与产品有关的操作要在洁净工作台上进行，操作过程中及结束时应随时对工作台及操作设备进行清洁保养。☆设备人员修机过程中，在戴手套操作会造成危险时可以取下手套，但必须及时戴上并对设备进行清洁。☆设备维修应避免在操作间进行，如无法避免应注意不得围观、防止阻碍交通和影响生产，维修结束后应立即将垃圾带出，并打扫现场。☆设备维修人员应自备塑料袋，工作时产生的垃圾应立即放入塑料袋内，维修后将塑料袋及时放入垃圾桶。☆临时使用的工具以及仪器使用完毕，应尽快从现场移走。•谢谢!!•ThankYou!!