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BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy利用X射线检测铜线的解决方案FEINFOCUS全新的X射线检测技术YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy市场需求为了节约成本,越来越多的半导体封装开始用铜线替代金线作为芯片内部的绑定线，例如：ASE,SPIL,ST，SMIC等有名的大的封装厂已经全部开始铜线制程芯片封装后，必须抽检1%到2%，以检测是否有产品的工艺参数是否需要调整。大的封装分厂，每天都要检1万个芯片以上。因此，在芯片检测过程中，微焦点X射线检测设备是必备设备使用影像增强器的传统X射线检测系统因检测铜线速度太慢，不能满足用户的检测周期要求（circleTime），导致必须寻找采用新技术的X射线检测系统BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy用户检测铜线绑定的芯片的检测要求检测速度是其核心要求检测速度是其核心要求检测速度是其核心要求检测速度是其核心要求新的X射线检测系统，必须能够以检测金线的速度检测铜线•无论从X射线检测系统的购买成本•还是检测产品的时间成本，•维持与检测金线所需成本一致，不能增加用户成本。不能因采用铜线制程，导致检测设备采购成本和检测周前过长，变相增加用户的检测和使用成本用户评估新设备的目的：BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测基本理论–X射线穿透物体过程中，部分X射线被吸收–密度越高的物体，吸收能力越强–吸收能力越强，形成图像黑白对比度越好，更容易识别缺陷4t被检测物，能够吸收X射线X射线X射线探测器金线铜线铝线黑白对比度比较(看下面图片)YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009铜线检测遇到的问题(与金线检测比较)BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy5铜线检测遇到的问题(与金线检测比较)Goldenwirecopperwire•铜的密度比金的密度低很多.因此，与金线相比,铜吸收X射线能力弱很多.•铜线的X射线照片黑白对比度比金线的低很多(看下面示例)•在铜线检测中，由于黑白对比度低，导致噪音对铜线检测效果影响很大因此，利用X射线检测铜线，获得清晰的照片，是X射线检测技术遇到的新挑战YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测的实时图象（Liveimage）比对---使用影像增强器传统X射线检测系统与使用高速平板数字探测器FEINFOCUS检测系统的----liveimage(实时照片)使用影像增强器的传统X射线检测系统liveimage(实时照片)使用高速平板数字探测器的FEINFOCUS射线检测系统BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测的积分20秒图象（Integration）比对---使用影像增强器传统X射线检测系统与使用高速平板数字探测器FEINFOCUS检测系统的----Integration20simage(积分20秒后消除噪音的照片)使用影像增强器的传统X射线检测系统积分20秒后消除噪音的照片获得的稳定的X射线照片，可以看出铜线Integration20simage(积分20秒后消除噪音的照片)使用高速平板数字探测器的FEINFOCUS射线检测系统经过20秒的积分消除噪音后，获得的稳定的X射线照片，与实时图像没有差别BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy为什么传统的X射线检测系统不能满足大批量的铜线检测要求:8传统X射线检测系统的探测器:影像增强器+CCD数码相机一般现象描叙:•X射线照片质量就像老式的黑白电视机•产生的X射线照片不稳定，而且噪音很多（显示屏上有雪花现象）•为了消除图像上的噪音，必须积分512张照片，通过求平均值的方式消除噪音，整个过程大约20秒.工作原理简单描叙:•影像增强器接受X射线，产生X射线图像（黑白）•数码相机从影像增强器拍照并发送到电脑.•操作人员通过观察电脑屏幕上的黑白图像，完成物体的检测CCDCCD数码相机数码相机影像增强器影像增强器典型liveimage(实时照片)YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009缺点对X射线敏感度低图像里有非常多的噪音，导致低密度物质的黑白对比度很差，非常难看BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyYXLONCooperWireInspectionSolution06/20099•利用传统X射线检测系统来检测铜线，必须采用下面的检测方式：•用20秒的时间，积分512pcs照片，取平均值，消除噪音.获得稳定的X射线照片。才能检测铜线所以：•必须用20秒时间获得一个稳定的X射线图像，（数码相机传输速度为25fps）•同一台X射线检测系统，在检测铜线的时候，其产能远远低于金线检测。（慢18倍）•为了检测相同数量的芯片，必须增加X射线检测设备的数量或延长检测时间。导致成本极大增长为什么传统的X射线检测系统不能满足大批量的铜线检测要求:liveimage(实时照片)Integration20simage(积分积分积分积分20秒后消除噪音的照片秒后消除噪音的照片秒后消除噪音的照片秒后消除噪音的照片BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy10采用最新的技术:高速平板数字探测器高速平板数字探测器成像一般现象描叙:•获得的X射线图像就像液晶显示器的效果•获得的X射线图像非常稳定，几乎没有噪音•不需要积分照片，来降低噪音•传输速度：30fps优点•极高的X射线敏感度,很高的对比度分辨率•很高的信噪比，不需要积分照片，降低噪音•图像分辨率高，节约检测时间节约检测时间节约检测时间节约检测时间(在快速检测中在快速检测中在快速检测中在快速检测中，，，，不需要积分照片不需要积分照片不需要积分照片不需要积分照片)优点:•在大批量检测低密度中（例如铜）,高速平板数字探测器是最好的解决方案YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009为什么使用FEINFOCUS检测系统满足大批量的铜线检测要求:典型liveimage(实时照片)BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy在检测铜线中，高速平板数字探测器的优点YXLONCooperWireInspectionSolution06/200911由于•X图像稳定，几乎没有噪音•不需要利用积分，消除图像里的噪音，提高图像对比度•检测铜线，无须积分照片•在任何一个检测位置，一秒钟即可获得稳定的X射线照片结论:•检测速度与检测金线速度一致.•用户检测铜线，无须购买更多的设备，无须延长检测时间，节约钱为什么使用FEINFOCUS检测系统满足大批量的铜线检测要求:liveimage(实时照片)Integration20simage(积分20秒后消除噪音的照片)BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyFEINFOCUS大批量铜线检测的解决方案12选择高速平板数字探测器（HighSpeedDirectDigitalFlatPanelDetector•直接数字成像•极高的X射线敏感度•极高的黑白对比度能力•很高的信噪比•很高的分辨率建议的高速平板探测器的技术规格•FOV:102mmx102mm,•像素:1,004x1,004pixel,•灰度值:16bit(imageprocessing)•传输速率(最大):30fps探测器探测器探测器探测器：：：：接收接收接收接收探测器并产生探测器并产生探测器并产生探测器并产生黑白照片黑白照片黑白照片黑白照片X射线管射线管射线管射线管:产生X射线载物平台载物平台载物平台载物平台：：：：放置样品，并移动样品X射线检测系统的内部构造射线检测系统的内部构造射线检测系统的内部构造射线检测系统的内部构造数字平板探测器YXLONCooperWireInspectionSolution06/2009BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy使用使用使用使用FEINFOCUS的检测铜线的速度的检测铜线的速度的检测铜线的速度的检测铜线的速度，，，，是使用是使用是使用是使用传统传统传统传统X射线检测速射线检测速射线检测速射线检测速度至少度至少度至少度至少10倍以上倍以上倍以上倍以上。。。。因此因此因此因此，，，，使用使用使用使用YXLON设备设备设备设备，，，，可以以检测金可以以检测金可以以检测金可以以检测金线的速度来检测铜线线的速度来检测铜线线的速度来检测铜线线的速度来检测铜线，，，，无论从硬件购买成本还是时间成本无论从硬件购买成本还是时间成本无论从硬件购买成本还是时间成本无论从硬件购买成本还是时间成本，，，，都可以帮助用户节约大量成本都可以帮助用户节约大量成本都可以帮助用户节约大量成本都可以帮助用户节约大量成本。。。。评论：1680秒160秒完成80连扳检测需要的总时间80x（20+1）=168080x（1+1）=160完成80个芯片检测需要的总时间（秒）11移动到下一个芯片的运动时间201获得稳定的X射线图线所需时间（图像没有噪音，看到清晰的铜线）11一次完成一个芯片检测8080检测芯片总数影像增强器+CCD数码相机高速平板数字探测器探测器种类传统X射线检测系统FEINFOCUS检测系统检测系统绑定线为铜线、单一晶片，80连板)检测样品比较目的：完成80个芯片检测所需要的检测周期对比检测条件：80连板的芯片，一次看完一个芯片，80个芯片全部检测，大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较大批量铜线检测的周期比较---使用影像增强器传统X射线检测系统与使用高速平板数字探测器FEINFOCUS检测系统的----BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测的实时图象（Liveimage）比对---使用影像增强器传统X射线检测系统与使用高速平板数字探测器FEINFOCUS检测系统的----liveimage(实时照片)使用影像增强器的传统X射线检测系统liveimage(实时照片)使用高速平板数字探测器的FEINFOCUS射线检测系统BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测的积分20秒图象（Integration）比对---使用影像增强器传统X射线检测系统与使用高速平板数字探测器FEINFOCUS检测系统的----Integration20simage(积分20秒后消除噪音的照片)使用影像增强器的传统X射线检测系统积分20秒后消除噪音的照片获得的稳定的X射线照片，可以看出铜线Integration20simage(积分20秒后消除噪音的照片)使用高速平板数字探测器的FEINFOCUS射线检测系统经过20秒的积分消除噪音后，获得的稳定的X射线照片，与实时图像没有差别BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测的积分20秒图象（Integration）---Phoenix的典型照片BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy重点只有客户到现场看到两种X射线检测系统后不同表现后，才能亲身体会感觉到FEINFOCUSX射线检测系统的性能优势。才能做最正确的决定