质量流量计介绍MFC

HITACHIMETALS产品集合上海新爱示国际贸易有限公司MFC技术交流会1.质量流量控制器（MFC）的特点2.MFC的构造和原理3.气体及其CF值4.MFC的使用条件（温度、压力）5.液体材料的控制6.产品应用介绍上海新爱示国际贸易有限公司气体的流量控制类型.流量控制阀（针阀、稳流阀等等）.面积式流量计（浮子方式）-体积流量控制cc/minm3/hr.质量流量控制器-质量流量控制g/min、mol/min上海新爱示国际贸易有限公司气体的特点.气体的体积-体积根据条件（温度、压力）变化改变.气体的质量-温度、压力等因素不受影响上海新爱示国际贸易有限公司气体的流量控制半导体应用过程的化学反应-化学反应以mol单位进行例：2H2+O2=2H2O-要求以mol单位进行流量控制-需要高性能流量控制器对应上海新爱示国际贸易有限公司质量流量控制器的特点a)稳定的流量供给不受温度、压力变化影响b)低压条件下也可使用c)可实现对腐蚀性气体、浓缩气体的控制d)流量的再现性、安定性优异e)电气信号控制可实现自动、远程控制MFC=MassFlowController上海新爱示国际贸易有限公司MFC的构成电源表示器设定器上海新爱示国际贸易有限公司传感器感知原理惠斯通电桥惠斯通电桥（又称单臂电桥）是一种可以精确测量电阻的仪器。图3－13所示是一个通用的惠斯通电桥。电阻R1，R2，R3，R4叫做电桥的四个臂，G为检流计，用以检查它所在的支路有无电流。当G无电流通过时，称电桥达到平衡。平衡时，四个臂的阻值满足一个简单的关系，利用这一关系就可测量电阻。上海新爱示国际贸易有限公司传感器管的温度分布气体上海新爱示国际贸易有限公司温度差和流量的关系假想直线温度变化上下流的温度差=电桥测出电阻值变化流量qm=k*ΔTqm-质量，k-常数ΔT-温差上海新爱示国际贸易有限公司ByPass含义在一定的分流比下使气体在传感器和旁路间分流传感器管道气体上海新爱示国际贸易有限公司盘片式ByPass上海新爱示国际贸易有限公司特点：高速应答提升阀距离长适用大流量，精密控制FC-R7700、7800PRA7800、780HT系列电磁阀线圈提升阀弹簧垫片阀头气体流向内径上海新爱示国际贸易有限公司特点：高速应答适用于高供给压小流量，精密控制FC-DR980系列压电阀调节螺母压电原件膜片基础原件弹簧气体流向上海新爱示国际贸易有限公司气体以及CF值①转换系数是指？②CF换算③气体特性上海新爱示国际贸易有限公司气体转换系数以N2为基准（1.000）流量转换系数根据不同气体的比热和密度计算气体分子热交换程度表示值定义-MFC相同输出时的流量比CF=校正系数×N2比热*N2密度对象气体比热*对象气体密度上海新爱示国际贸易有限公司气体转换系数上海新爱示国际贸易有限公司CF的换算•利用CF系数可以计算出他气体的流量换算举例：N21SLM的MFC作为Ar气使用时100%量程的设定流量是？CF换算流量=满量程流量×=1SLM×=1.41SLM实际气体的CF记载气体的CF1.4101.000上海新爱示国际贸易有限公司CF的换算的注意点利用CF系数计算得出的流量，是不能保证的分子量差异比较大的气体间换算时，阀门流量控制有可能发生问题举例：H2100SCCM的MFC用作N2使用时H2N2密度0.091.25CF1.0101.000-约30%程度不能流动上海新爱示国际贸易有限公司气体的特性①温度特性②压力特性（压缩系数）③故障例上海新爱示国际贸易有限公司温度特性（比热、0.1Mpa）上海新爱示国际贸易有限公司压力特性（体积、300K）上海新爱示国际贸易有限公司流量的标定气体流量的标定方法PVTt法或称增进法上海新爱示国际贸易有限公司气体特性原因产生故障HF的会合性-HF↔(HF)N,N=1-8120℃以上n=1NO2和N2O4平衡关系NO2↔N2O4140℃以上100%变为NO2上海新爱示国际贸易有限公司MFC的使用条件①压力一次压、二次压②温度气体环境温度、气体温度③安装方向上海新爱示国际贸易有限公司有关压力的条件通常动作压差0.5-2.8KgfD耐压10Kgfg低压式样可对应（液体材料控制）高密度气体（SF6、C4F8等），低压供给避免发生震荡上海新爱示国际贸易有限公司有关温度的条件使用环境温度-通常式样-0~45℃-高温式样-0~80℃温度持续稳定（避免对传感器干扰）流路气体温度和环境气体无差异性上海新爱示国际贸易有限公司有关安装方向热循环现象被加热气体对流现象低密度气体也容易发生逆流现象上海新爱示国际贸易有限公司液体材料控制①HT-MFC②加热系统③液化对策上海新爱示国际贸易有限公司HT-MFC（高温式样MFC）PCB分离最高85℃适用上海新爱示国际贸易有限公司蒸发系统材料罐体和HT-MFC一体化设计用MFC对液体的蒸汽进行流量控制上海新爱示国际贸易有限公司液化对策●MFC温度高于材料温度材料温度MFC温度●温度系统设计配管下测温度高于上测温度设定●材料温度尽可能低流动范围内保持低压供给上海新爱示国际贸易有限公司MFC温度高于材料温度蒸发系统上海新爱示国际贸易有限公司温度系统设计上海新爱示国际贸易有限公司蒸发系统●AS50、AS50CTEOS\HCD●AS60CH2O●AS90C/90AC/91C/92CTEOSAS100STEOS\HCD\TiCL4\SICL4…产品系列上海新爱示国际贸易有限公司谢谢！