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◎A开头的单字◎1.Abort取消操作2.Abnormal异常3.AceticAcid（CH3COOH）醋酸4.Acetone（CH3COCH3）丙酮5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.AirShower洁净走道9.Alignment对准10.Alloy合金11.Aluminum（Al）铝12.Ammonia（NH4OH）氢氧化胺（俗称:氨水）13.Analysis分析14.AR氩气15.Automation自动化◎B开头的单字◎1.Bake烘烤2.Bank暂存3.Barcode条形码4.Batch整批5.BHLD被工程师或客户BankHold短时间内不会Run的货6.BlueTape蓝膜7.Boat石英晶舟8.Bottom底部9.BreakdownVoltage击穿电压10.Broken破片；损坏11.Buffer生产暂存区12.BufferChemical缓冲液◎C开头的单字◎1.Calibration校正；调整2.Camera照相机；摄影机3.Cancel清除4.Candela（cd）烛光5.Cart手推车6.Cassette晶舟7.Certify技能认证8.Chamber反应室9.Charge电荷10.Chipping崩裂11.ChipSuctionPen真空吸笔12.ChipTransfer-m(Machine)翻转机13.CleanBench清洗台14.CleanRoom洁净室15.Cleaning清洗16.CleaningSequence清洗程序17.Clear清除18.Coat涂布19.Coater上光阻机台20.Coating上光阻；涂布上整个表面21.Completed结束；完成22.Confirm确认23.Contact接触24.Contamination污染25.ControlWafer（C/W）控片26.Controller控制器27.CoolingWater冷却水28.Crucible，Pot坩埚29.Curing烘烤30.Customer客户31.CVD(ChemicalVaporDeposition)化学汽相沉积32.CycleTime生产周期◎D开头的单字◎1.DailyMonitor每日检测2.Data资料；数据3.Date日期4.Defect缺点；缺陷5.Defocus散焦；无法聚焦6.Del(Delete)清除；删除7.Delay延迟8.Department部门9.Deposition（DEP）沉积10.Develop显影11.Developer显影器；显影液12.Die，Chip晶粒（台）；芯片（陆）13.DIWater去离子水14.Dicing切割15.Down当机16.Drain泄出17.DryEtching干蚀刻18.DryPump干式(无油封)的真空泵19.DummyWafer（D/W）挡片◎E开头的单字◎1.E/R(EtchingRate)蚀刻率2.EmergencyStop紧急停止3.EMO紧急停止按钮4.Endpoint终点值5.Engineer工程师6.Epi–wafer磊晶片（台）；外延片（陆）7.Equipment机台；设备8.ErrorMessage错误讯息9.Etching蚀刻10.Evaporation蒸镀11.Exhaust抽出；抽风管；排(废)气12.ExpandingMachine扩张机13.Exposure曝光；曝光量◎F开头的单字◎1.FAC厂务2.Facility厂务水电气系统3.Film薄膜4.Focus聚焦；焦距5.ForwardCurrent顺向电流6.ForwardVoltage（Vf）顺向电压7.FQC最终检验员8.Furnace炉管◎G开头的单字◎1.Gallium（Ga）镓2.GOR(GeneralOperationRule)厂区操作规则3.Group群组◎H开头的单字◎1.Handle处理2.HighCurrent高电流3.Highlight强调4.HighVacuum高真空5.HighVoltage高电压6.History歴史7.HMDS界面活性剂8.Hold扣留；暂停9.HoldDate留置日期10.HoldReason留置原因11.HoldUser留置者12.HotRun很急件13.HydrochloricAcid（HCL）盐酸14.HydrofluoricAcid（HF）氢氟酸15.HydrogenPeroxide（H2O2）双氧水◎I开头的单字◎1.Idle休息2.Initial初始状态3.Inspection检验4.IPA(IsopropylAcetone)异丙醇5.IPQC制程检验员6.IQC进料检验员7.Item项目8.IvTestIv测试◎J开头的单字◎1.Job工作2.Job–Name程序名称代号◎K开头的单字◎1.KeyLock功能键；指令键2.Keyboard键盘◎L开头的单字◎1.Leak泄漏2.LHLD被Hold住的货(Hold在上一站)3.LightEmittingDiode（LED）发光二极体4.Link连结；线5.Lithography微影6.Log记录7.Lost机台是清空的，无人操作机台或机台没在Run货8.Lot批货9.LotHistoryInformation批货历史资料10.Lot-ID批货编号11.LotInformation批货信息12.LotNote批货批注13.LotNoteInformation批货批注信息14.LotOwner货主15.LotPosition批货位置16.LotProcessStatus批货生产状态17.LotStatus批货状态18.LPHL被工程师Hold在当站，请依LotNoteCall工程师或执行RunCard19.LuminousIntensity（Iv）光的强度（单位:cd，mcd）◎M开头的单字◎1.Maintain维护2.Maintenance维修；保护3.Manufacture制造4.Mark记号5.Mask光罩6.Merge合并7.Metal金属8.Microscope显微镜；实体显微镜9.Misalign对偏10.MissingLot失踪批货11.Missoperation（MO）错误操作12.Multi多重的◎N开头的单字◎1.NativeOxideLayer自然氧化层2.NHLD因下一站机台正在Run货或无法Run货而设的Hold(Hold在下一站)3.NitricAcid（NHO3）硝酸4.Nitride氮化物5.Nitrogen（N）氮6.NormalLot普通货7.Notavailable不可用的；无效的8.Notch缺角9.Nozzle喷嘴