典型超纯水工艺流程设计方案

进水电导率400μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准）自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准）自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001）自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准）自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水5实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准GB6682-2000）自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准）自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→微滤→用水2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准）自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001）自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准）自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水5实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准GB6682-2000Ⅰ级标准）自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水