搜索
第9章半导体传感器第9章半导体传感器9.1气敏传感器9.2湿敏传感器9.3色敏传感器9.4半导体式传感器应用第9章半导体传感器9.1气敏传感器9.1.1概述气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于气体种类繁多,性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。第9章半导体传感器半导体气敏传感器工作原理及类型半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时，产生的电导率等物理性质变化来检测气体的。半导体气敏传感器可分为表面控制型和体控制型。表面控制型:半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学组成不变；体控制型:半导体与气体的反应，使半导体内部组成发生变化，而使电导率变化。第9章半导体传感器按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度。非电阻型半导体气敏元件是利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。表9-1为半导体气敏元件的分类。第9章半导体传感器表9-1半导体气敏元件的分类第9章半导体传感器气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶劣，而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，往往会使其性能变差。对气敏元件有下列要求：能长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质产生的影响小等。用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气，石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气体的监测、预报和自动控制。第9章半导体传感器9.1.2半导体气敏传感器的机理半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力(气体的吸附和渗透特性)时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。第9章半导体传感器例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性气体。如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。第9章半导体传感器当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，将使半导体载流子减少，而使半导体电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。图表示了气体接触N型半导体时所产生的器件阻值变化情况。N型半导体吸附气体时器件阻值变化图气体吸附到N型半导体上气体吸附到N型半导体上第9章半导体传感器由于空气中的含氧量大体上是恒定的，因此氧的吸附量也是恒定的，器件阻值也相对固定。若气体浓度发生变化，其阻值也将变化。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。半导体气敏时间(响应时间)一般不超过1min。N型材料有SnO2（二氧化锡）、ZnO、TiO（氧化钛）（等，P型材料有MoO2（二氧化钼）、CrO3（三氧化铬）等。第9章半导体传感器9.1.31.电阻型半导体气敏传感器图9-2(a)烧结型气敏器件；(b)薄膜型器件；(c)厚膜型器件图9-2(a)为烧结型气敏器件。这类器件以SnO2半导体材料为基体，将铂电极和加热丝埋入SnO2材料中，用加热、加压、温度为700~900℃的制陶工艺烧结成形。因此，被称为半导体陶瓷，简称半导瓷。半导瓷内的晶粒直径为1μm左右，晶粒的大小对电阻有一定影响，但对气体检测灵敏度则无很大的影响。烧结型器件制作方法简单，器件寿命长；但由于烧结不充分，器件机械强度不高，电极材料较贵重，电性能一致性较差，因此应用受到一定限制。图9-2(b)为薄膜型器件。它采用蒸发或溅射工艺，在石英基片上形成氧化物半导体薄膜（其厚度约在100nm以下），制作方法也很简单。实验证明，SnO2半导体薄膜的气敏特性最好，但这种半导体薄膜为物理性附着，因此器件间性能差异较大。图9-2(c)为厚膜型器件。这种器件是将氧化物半导体材料与硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，再把厚膜胶印刷到装有电极的绝缘基片上，经烧结制成的。由于这种工艺制成的元件机械强度高，离散度小，适合大批量生产。第9章半导体传感器附件加热器的作用：它的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉，加速气体的吸附，从而提高器件的灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200~400℃左右。加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏器件的结构及符号如图9-3所示。第9章半导体传感器图9-3直热式气敏器件的结构及符号(a)结构；(b)符号直热式器件是将加热丝、测量丝直接埋入SnO2或ZnO等粉末中烧结而成的，工作时加热丝通电，测量丝用于测量器件阻值。这类器件制造工艺简单、成本低、功耗小，可以在高电压回路下使用，但热容量小，易受环境气流的影响，测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。第9章半导体传感器图9-4旁热式气敏器件的结构及符号(a)旁热式结构；(b)符号旁热式气敏器件的结构及符号如图9-4所示，它的特点是将加热丝放置在一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂上SnO2等材料。第9章半导体传感器旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点，使测量极和加热极分离，而且加热丝不与气敏材料接触，避免了测量回路和加热回路的相互影响，器件热容量大，降低了环境温度对器件加热温度的影响，所以这类结构器件的稳定性、可靠性都较直热式器件好。第9章半导体传感器2.非电阻型气敏器件也是半导体气敏传感器之一。MOS二极管的电容—电压特性的变化以及MOS场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压的变化等物性而制成的气敏元件。非电阻型气敏器件的制造工艺成熟，便于器件集成化，因而其性能稳定且价格便宜。利用特定材料还可以使器件对某些气体特别敏感。第9章半导体传感器(1)MOS二极管气敏器件MOS二极管气敏元件制作过程是在P型半导体硅片上，利用热氧化工艺生成一层厚度为50~100nm的二氧化硅(SiO2)层，然后在其上面蒸发一层钯(Pd)的金属薄膜，作为栅电极，如图9-5(a)所示。图9-5MOS二极管结构和等效电路(a)结构第9章半导体传感器图9-5MOS二极管结构和等效电路(b)等效电路；(c)C-U特性由于SiO2层电容Ca固定不变，而Si和SiO2界面电容Cs是外加电压的函数(其等效电路如图9-5(b))，因此由等效电路可知，总电容C也是栅偏压的函数。其函数关系称为该类MOS二极管的C-U特性，如图9-5（c）曲线a所示。由于钯对氢气(H2)特别敏感，当钯吸附了H2以后，会使钯的功函数降低，导致MOS管的C-U特性向负偏压方向平移，如图9-5(c)曲线b所示。根据这一特性就可用于测定H2的浓度。第9章半导体传感器图9-6钯—MOS场效应晶体管的结构(2)MOS场效应晶体管气敏器件钯-MOS场效应晶体管(Pd-MOSFET)的结构，参见图9-6。第9章半导体传感器9.1.4气敏传感器应用半导体气敏传感器由于具有灵敏度高、响应时间和恢复时间快、使用寿命长以及成本低等优点，从而得到了广泛的应用。按其用途可分为以下几种类型：气体泄露报警、自动控制、自动测试等。表9-2给出了半导体气敏传感器的应用举例。第9章半导体传感器表9-2半导体气敏传感器的各种检测对象气体第9章半导体传感器家用煤气(CO)安全报警电路。一部分是煤气报警器，在煤气浓度达到危险界限前发生警报；另一部分是开放式负离子发生器，其作用是自动产生空气负离子，使煤气中主要有害成分一氧化碳与空气负离子中的臭氧(O3)反应，生成对人体无害的二氧化碳。IC2JBG3~220VKJ1R10R12R11R1R2R3R4BG1BG2C1C2C3C4R5R6R7R8R13R9D1D2D3D4D5DwW1W2C7C5C6MT2MT13CTS3RQABLED6213748521387B1B2D7煤气安全报警器原理图IC1第9章半导体传感器简易家用气体报警采用直热式气敏传感器TGS09，当可燃性气体浓度增加时，气敏器件接触导可燃性气体而电阻降低，回路电流增加，驱动蜂鸣器BZ报警。电阻型气敏器件第9章半导体传感器•检测工作电路•这是气敏元件应用电路的主体部分。•下图是设有串联蜂鸣器的应用电路。随着环境中可燃性气体浓度的增加，气敏元件的阻值下降到一定值后，流入蜂鸣器的电流，足以推动其工作而发出报警信号。~220VBZ氖管家用可燃性气体报警器电路气敏传感器蜂鸣器BR第9章半导体传感器有害气体鉴别、报警与控制一方面可鉴别实验中有无有害气体产生，鉴别液体是否有挥发性，另一方面可以自动控制排气扇排气，使室内空气清新。TWH8778是一种大电流驱动开关集成电路。气体浓度增大，传感器电阻降低第9章半导体传感器可燃性气体浓度检测用于家庭对煤气、一氧化碳、液化石油气等泄漏实现监测报警。U257B为LED驱动器，根据输入端7的大小驱动不同的LED亮灭，8是电源端，1是接地端气体浓度增大，传感器电阻降低第9章半导体传感器矿灯瓦斯报警器第9章半导体传感器烟雾报警器第9章半导体传感器酒精检测报警器第9章半导体传感器自动空气清新器这个自动空气清新器能在室内空气污浊或有害气体达到一定浓度时，自动产生负氧离子，保持空气清新，工作原理电路见图2.4.2。R54.7MT2VD7Φ0.6mm4STR3470KLED2(红)IC3TWH8751R4100K12354VT19013R247KC40.01μRt430KRP2.2KR1470KFU1AVD1-VD4IN4001C1220μ/16VC3100μ/16VC3100μ/16VVD5VD4IN4001IN4001LED1(绿)++++T112V220VIC278L05IC17812111323442325ABQM-N5VINVOUTGNDGNDVINVOUTS空气自动清新器电路原理图第9章半导体传感器9.2湿敏传感器湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度（用AH表示）和相对湿度（用%RH表示）两种表示方法。绝对湿度是指在一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3。相对湿度是指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比。相对湿度给出大气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使用相对湿度这一概念。第9章半导体传感器湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。湿度检测较之其它物理量的检测显得困难，首先是无法直接测得湿度，只能利用物理、化学定律测量与湿度有关的二次参数；湿信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成，因此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中，不能密封。对湿敏器件有下列要求：在各种气体环境下稳定性好，响应时间短，寿命长，有互换性，耐污染和受温度影响小等。微型化、集成化及廉价是湿敏器件的发展方向。第9章半导体传感器9.2.1氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成，如图9-7所示。图9-7湿敏电阻结构示意图第9章半导体传感器图9-8氯化锂湿度—电阻特性曲线氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li＋对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定温湿场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低，因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时，则