TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介

LOGOTFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良32减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性3减薄工艺简介用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。获得光亮、平整的表面。封胶减薄研磨4封胶封胶工艺防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部1.加盖遮光垫2.涂胶3.擦胶4.UV固化UV胶破坏TFT结构一般在这之前还会进行检查。涂胶后静置1min。清除多的UV胶。UV固化后检查5封胶UV固化UV灯GLS边框胶涂胶后检查涂胶加盖遮光垫6原理及方式1234减薄原理及方式6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O液体+固体（玻璃）-液体7单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：1.可以同时间处理多片玻璃。缺点：1.装置大型。2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。优点：1.表面最光滑，甚至可以不用抛光三种方式优缺点8Textinhere蚀刻清洗清洗减薄流程Slimming910减薄设备其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元11减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系12减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系13减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。14减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a.5-10%NaOHb.45℃鼓泡C.10mina.3%HClb.或常温C.1mina.DI水b.常温C.5mina.DI水b.常温C.5min清洗清洗外观检查Polishing外观检查RejectItem自动研磨手动研磨Picture适应产品无破损产品所有产品可修复不良不良率高发，严重不良不良率较低的轻微不良CAPAQ-panel抛光，效率高针对单点不良修复，效率低研磨1516减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀17减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净1.设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致工艺设备玻璃表面玻璃本身18Slimming后划伤Slimming前发生轻微ScratchSlimming后Scratch程度加重HumaneyeinvisibleSlimming19Slimming后划伤1.LiftPin凹点20Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点21Slimming后划伤3.轮印22造成B-ITO不良现象：ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因：BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性1.水渍酸印23其它不良1.电阻超标原因：酸残留与减薄有关的性耐性玻璃基板表面蚀刻状况确认TFT端子部腐蚀状况的确认牢固度确认将其放入冷热交替的冷热槽中对LCM进行显示检查和显微镜Glass外观检查高温高湿的老化槽内进行的持续老化。SEM对TFT端子部的表面和断面的观察分析对LCM进行冲击和跌落。对LCM进行显示检查和外观检查24End25谢谢！