第七章真空热处理设备南京工程学院材料教研室(2学时)第一节真空热处理特点P105真空热处理特点:优点:1)不氧化、不脱碳,热处理后可保持表面光亮和原有光泽,通常可不加工;2)热处理变形小;3)对工件有脱脂、脱气作用。缺点:1)工件加热速度慢(仅靠辐射传热);2)加热均匀性较差(仅靠辐射传热);3)真空下金属元素易蒸发;4)设备一次性投资大。基本概念真空:低于一个大气压的空间。真空度:真空状态下气体稀薄程度。真空热处理炉的真空度大多在103-10-4Pa范围,真空度在105-102Pa范围称为低真空,在102-10-1Pa范围称为中真空,在10-1-10-5Pa范围称为高真空,低于10-5称为超高真空。第二节真空系统P105思考题:1.真空热处理有哪些优点和缺点?2.为什么真空热处理炉加热速度慢、加热均匀性差?3.真空热处理炉的真空度大多在什么范围?4.根据真空度,将真空区域划分为低真空、中真空、高真空和超高真空,目前热处理用的真空炉真空度范围在:A)101~102Pa;B)102~103Pa;C)10-2~10-3Pa;D)103~10-5Pa真空系统构成真空系统:真空容器、真空泵、真空伐、连接件及真空测量仪表等。真空泵:旋片油封式机械泵(简称旋片泵)、滑伐油封式机械泵(简称滑伐泵)、油增压泵、油扩散泵等。油扩散泵与其它泵组成真空机组才可获得高真空度。思考题:1.真空热处理炉的真空系统由哪些部件组成?2.常见的真空泵有哪些?5.真空加热特点是什么?(防止氧化脱碳作用;真空脱气作用;脱脂作用和真空下元素蒸发作用。)为减少合金元素蒸发可采取的有效措施是什么?(将炉内先抽至较高的真空度,随即充入高纯氩气或氮气,使炉内压力维持在200-26.6Pa下加热。)6.简述真空热处理特点。(防止氧化、脱碳,可进行成品热处理;脱气、脱脂,表面光亮,防止氢脆,提高产品质量;淬火变形小、节省材料和加工工序;能耗少,无污染、无公害。但一次性投资大。)第三节外热式真空热处理炉定义:工件在真空罐内,加热元件和耐火材料等在真空罐外的真空热处理炉。应用:适用于合金退火、真空除气和真空渗金属等。特点:优点:1)结构简单,制造容易,造价低,操作维护方便;2)密封容易,抽气量小,易达到要求真空度;3)不存在真空放电问题(因为电热元件在罐外);4)工件加热质量高,生产安全可靠。缺点:1)热惰性大,加热速度慢,生产周期长;2)受炉罐高温强度限制,炉子尺寸小,最高使用温度≤1100℃;3)合金钢或耐热钢炉罐价格昂贵,不易加工。思考题:1.什么是外热式真空热处理炉?2.外热式真空热处理炉有哪些工程应用?3.外热式真空热处理炉有哪些优点?第四节内热式真空热处理炉定义:工件及加热装置等均在真空容器内的真空热处理炉。特点:优点:1)没有炉罐(电热元件和工件均在真空容器内);2)可制造大型高温真空炉(因不存在炉罐高温强度限制问题);3)加热和冷却速度快,生产效率高。缺点:1)炉内结构复杂,电器绝缘性要求高;2)炉内容积大,各种构件表面吸附大量气体,需配备大功率抽气系统;3)考虑真空放电和电器绝缘性,需配备低压大电流供电系统。分类按外形和结构分立式、卧式、单室、双室和三室等;按冷却方式分自冷、负压气冷、负压油冷和加压气冷(2×105Pa)、高压气冷(5×105Pa)及超高压气冷(20×105Pa)等;按热处理工艺分为淬火炉和回火炉等。思考题:1.什么是内热式真空热处理炉?2.内热式真空热处理炉有哪些优点?3.内热式真空热处理炉有哪些缺点?4.按冷却方式不同,真空热处理炉分为哪几种?真空气体淬火炉操作流程负压油冷真空热处理炉操作流程:第五节真空热处理电热元件材料镍铬及铁铬铝合金:1000℃以下、真空度不超过1.33×10-1-1.33×10-2Pa范围的真空炉。钼、钨、钽纯金属:使用温度受合金挥发限制,长期加热会使晶粒粗化而变脆。石墨电热元件:热膨胀系数小,耐热冲击性能好,高温机械性能好,易于加工,价格便宜。炉衬材料:外热式真空炉炉衬与箱式电阻炉一样;内热式真空炉炉衬采用隔热屏或保温炉衬,1100℃以下隔热屏材料常用不锈钢板,1100℃以上采用高熔点金属、石墨或陶瓷等。隔热屏一般5-6层,金属屏厚度0.3-1mm,石墨屏厚5-10mm。思考题1.适宜于制作真空热处理炉的电热元件是:A)碳化硅;B)二硅化钼;C)石墨带;D)铁铬铝2.在真空炉中主要的传热方式为:A)辐射;B)对流;C)传导;D)辐射+对流3.一种热膨胀系数小、热导率较大、耐急冷急热、易加工,使用温度达2500℃,常在真空热处理炉中使用的电热元件材料是:A)镍铬电热合金;B)铁铬铝电热合金;C)碳化硅电热元件;D)石墨布或石墨带电热元件第六节离子氮化炉组成:炉体、真空系统、供气系统、测温系统和控制系统等。工作原理:工件在炉内作阴极,炉体作阳极,抽真空到13.3-1.33Pa后,通入少量氨、氮或氮氩混合气体,使炉内压强达到133-1333Pa,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后以高速冲击工件(离子轰击),离子动能转化为热能加热工件至渗氮温度,轰击表面一部分氮夺取电子后直接渗入工件表面,在工件表面形成含氮很高的蒸发态FeN,并不断向工件内部扩散,达到渗氮目的。辉光放电伏安曲线(补充)OD段阴阳极间只有微弱电流(微安级),电压增大到D点时,气体由绝缘体变成良导体,阴阳极间电流突然增大,部分工件表面出现辉光,这种现象叫起辉,D点电压称为起辉电压(观察窗可看到局部辉光)。起辉后,极间电压和电流呈非线性关系(不服从欧姆定律),极间电压下降到E点,此时增加电源电压或减少限流电阻,两极间电压基本保持不变,电流显著增大,EF称为正常辉光放电区,辉光覆盖面积随电流增大而增加,达到F点时,辉光覆盖全部阴极表面。达到F点后,继续增大电流,两极间电压开始增大,一直到G点,FG段称为异常辉光放电区,离子氮化在该区进行。当极间电压超过G点后,电流急剧增大,电压急速降到几十伏,辉光放电产生质变——即过渡到强烈的弧光放电区,弧光放电会损坏工件,应立即灭弧。