1*左右ADI製造TFT機能的良率。原因之一為異物。*因此,針對工廠全體之所有異物施以對策,進而達到製品品質穩定之目的。*使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。*若和一般環境中之製造業比較,必須付出數倍的投資額與維持費用。異物對策異物不良所有異物對策之目的21)Array工程發生大批pattern不良。斷路、短路。2)Panel工程發生大批之pattern不良。電氣特性及表示畫面不良。3)模組工程電氣特性不良。B/L異物不良。畫面不良的原因。異物對策異物成為何種不良3*在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。*以m尺寸(size)為單位的物質稱為異物。異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01m之物質皆有。現在的半導體業已經從64M0.28m更進一步到256M0.2m的Pattern配線,必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在50~70mTFT的配線大約在6m的程度異物對策異物是何種尺寸的東西4*依Array、Panel、Module之不同,對異物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。*Array無塵室(全室)管理等級訂定100。Panel管理等級訂定100~10000。*Module部份的管理等級訂定10000~100000。異物對策工廠的異物管理5*與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。*與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。*從設備和工具,保修部品等帶進。*從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。*從器具備品、棚架和台車帶進。上述物件被異物附著後,如未除去,不能進入無塵室中。異物對策異物從何處進入?6*付著在物品上進入一般的異物都是付著在攜入物而進入的,萬一沒有被去除而攜入時,異物一定會進入無塵室。*人員攜入鞋子和無塵服和食物、手提袋…等,會帶入污染物。*從環境破壞而入從門縫、建築縫隙、天花板的間隙…等,建築物的不良部份侵入。異物對策異物如何進入7*金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時,一定會有異物產生。*加工時所使用的托盤及通箱,在取放製品時,會因摩擦而產生異物。*材料的角邊和材質會產生異物。在TFT基板表面加工的加工途中,材料的角邊和材質會因剝落而產生異物。異物對策異物如何產生有摩擦的地方、部份…等,全部會發塵8*裝置驅動的地方就是產生異物的地方。齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子…等,會摩擦的地方為發塵源。*關於膠帶類的接著材的接著部份,在經過一定期間後,接著劑會因乾燥而變成異物,另外膠帶旁會有細小的異物付著。*人體會有很多細小的異物產生。皮膚、毛髮、體毛…等異物會產生。異物對策實際上從哪裡產生的?9*塵埃類土類、油類、煙類、塑膠類、其它。*金屬類裝置類、器具備品類、保管庫、其它。*紙類包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。*人頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。異物對策有哪些種類的異物存在?一般雖統稱為異物,但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣10*裝置類金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。*材料關係材料材質的發塵,加工時的發塵。*梱包關係梱包材料的發塵,材料搬運容器的發塵。*人體皮膚、手垢、體毛、動作。*建築關係外部空氣由縫隙侵入,建築材料、塗裝材料。異物對策異物從哪裡產生?11*半導體是高精密度的圖案製成的,因此,圖案上若有東西附著或橫跨,會造成斷線及短路不良。*TFT是畫面的生命,其中若有異物附著,會遮住於畫面,造成不良。*ASSY製程中若異物進入B/L(BLACKLIGHT)內部,會遮住顯示畫面,看不見部份即為不良。*異物是最大的敵人,建造工廠必須花費很多經費,因此設備也是異物對策中最優先的課題。異物對策半導體製造是和異物的戰鬥12*Array方面4µm以下。由於配線上之異物造成短路,斷線。*Panel方面4µm以下由於配線上之異物造成短路,斷線。*Module方面B/L異物是以250µm以下做為良品判定基準,且以畫面上之障礙物之大小為主。異物對策半導體現在和異物大小間的關係肉眼在外觀可視異物為不良原因13*TFT的面積比現在的晶圓大。晶圓尺寸是25~30公分。*TFT是大畫面,即使有1個規定以上的異物附著於畫面上,都會引起畫面不良,因此比晶圓廠更嚴格的塵度管理是有必要的。*現實上常因不良異物造成不良率達40~50%,要說明如何對策異物是困難的,但若能克服異物,即能期待高品質,高良率的產出。異物對策異物是TFT之良品率的關鍵14*Array製程90分機器手臂引起的灰塵,設備的清潔*Panel製程70分機器手臂,仕掛品,材料,作業面積*Module製程30分通箱,拖盤,材料,清掃,5S*品保30分室內環境,5S,室內面積*資材中心30分室內面積,開梱,搬入出方法,清掃異物對策現在的異物環境達多少分?目標100分15*因成本的關係最少需90分。本來,在工廠建設,設計階段時,檢討出塵埃管理標準來維持管理規定。*造成工廠污染,或低於設計以下的,是人所造成要教導相關知識,及維持無塵室清潔,若無法推動即會造成污染。*制訂定期實施的適當維持體制,管理者的指導也是很重要的。異物對策異物環境至少需多少分?16*管理監督者必須對塵埃有深入的理解。*人員必須有塵埃的意識。*人員必須有塵埃的知識。*人員必須有對於塵埃的實際操作技能。*必須有對於塵埃的工作團隊體制。*必須對塵埃管理。知識,意識,實技,管理,教育等都是重要的。異物對策異物對策必要的工作有那些?知不知道?要做什麼?17*知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。*意識品質的關係和製造損失等。*實技實際上如何做?*清掃道具什麼樣的場所要使用什麼樣的工具?*管理方法在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法?*管理者的意識推動塵埃關係的整合。異物對策以什麼樣的方式實施教育?18*異物對品質左右品質的一個原因為異物,突然使製品機能變化造成不良。*材料發塵,不當梱包方法產生異物,搬出入方法產生物品。*設備及工具也會從測定器發塵。*室內的一切器具備品,人員穿著的無塵服,鞋子,洗手機,AirShower等的異物意識。異物對策人的意識可以改變品質度意識和知識19*特殊的產業就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體相關的行業為代表。*塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管理都必須用掉很大費用。異物對策所有異物的影響20*廠內人員對塵埃不能理解。*不能理解生產與塵埃間的關係。*裝置必須在何種狀態?*室內環境該如何?*材料該如何?*要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多數的人不能理解即是問題。異物對策連目的都不知道的人21不良的半數為異物*影響TFT或晶圓的良率,歸究原因為異物所引起的佔大多數。*在製品的圖案中,有異物附著會造成短路的情形,在傳送的配(引)線上時,會對正確的配線構成損害。*異物附著在畫面上,造成陰影而使影像無法看見。異物成為引發各種損害的原因。異物對策所謂異物三原則提昇良率的第一步即為對異物的管理22氣象條件與國民性*日本人是極為愛好清潔的。即使在住家也區別室內、室外鞋。四季分明,冬季寒冷,採取以門確實隔離內外部的生活方式。*可能和開放的炎熱國家,有很大的差異。並且,維持良好的環境。*被塵埃所左右生產的半導體產業,就日本人的生活方式,正好可輕易達成嚴實的生產條件。異物對策垃圾及異物與國民性23清掃,是對人的意識改革,由人來清除異物。異物決定了品質,影響利益,所以防止異物的對策可謂關鍵。根據異物三原則,貫徹的作法是必要的,建立這些(以下等等)平常能實施的體制。*有效的清掃方法。*有效的清潔工具。*有效的清掃頻度。*制定不需清掃的環境。*有效清掃特定時間。異物對策要提高品質就要清掃24清掃的方法改變了成效*清掃的方法決定成效雖然稱做清掃,但若只將吸塵器啟動實施清潔那麼成效並不彰顯。*清掃地點的順序從高的地方到低的地方,上風處至下風處。*清掃上使用工具的順序先用吸塵器再擦拭,擦拭時以單方向進行往復式清潔易造成擦拭後仍有污染附著。異物對策用清掃的方法清掃效果的改變25*不攜入不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室室的東西須全數實施異物對策。*不使發展不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、設備及異物發塵。*去除到不殘留要全部徹底除去潔淨室內的異物,從意想不到的地方之發塵去除並建立發塵對策。異物對策所謂異物三原則26半導體關連產業沒有異物的環境,可作為品質製造上的基準。*必須和5S緊密的接合作業場所雜亂會是什麼東西造成的?或是處於易發生錯誤的狀態下。*在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員,對於異物較能察覺。*同一製品在大量生產時,要保持美觀、整齊,就是要先做好異物的管理。每個人份內的清掃工作做好的話,那是製造完美產品的捷徑。異物對策清掃達到品質基準27*關於D計劃D:日﹝day﹞每天五分鐘,自作業場所一公尺內周邊實施清掃。*關於W計劃W:週﹝week﹞週末的三十分鐘,將高架地板上面全部清掃。*關於M計劃M:月﹝month﹞每月一次花費8小時的時間,從高架地板下面從頭到尾的仔細清掃。異物對策知道DWM計劃嗎?28它項10*從人的衣服上從衣服發出灰塵。從內衣褲、外衣、襪子等產生。*從皮膚上、體毛等從手的皮膚上發出灰塵,及臉上皮膚脫落。化妝品也會在一天之中掉落,頭髮體毛等的脫落。*活動時人行動時產生風,因而將異物捲起向上擴散。人打噴嚏也會引起。異物對策在什麼地方會產生異物它項129它項10*門在門故障時,異物容易在間隙中積存。在門的橫條縫中,異物容易在這裡積存。*從AirShower從門的空隙進入無塵室。吹出口周圍及標示牌的膠帶脫落後,都容易積存。異物對策在哪一種地方會產生異物它項930它項10*機械手臂在貨物裝載的地方容易積存。裝卸部的驅動部分容易堆積。從機械手臂的導輪部發塵。*機械手臂路徑從導輪屑、導軌Tape的摩耗部發塵。異物對策在哪一種地方會產生異物它項1031*環境的確認在無塵室入口徹底的清除異物是非常重要的。Airshower能適時將異物吹落嗎?要從吹的高度及吹的時間等來觀察?*雙層梱包的陷井物品在雙層包裝中不會受污染,因此問題在於要在無塵室開梱及是在何處梱包?若不檢討開梱場所的話,所攜入的物品就會散布異物。異物對策物品攜入無塵室應如何作?32*去除異物場所的確認開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所關連。直接在地板上做開梱等動作時,會使異物附著在攜入物品上。*搬入路線和中途的置放場所一定要經過Airshower再進入無塵室。置放的場所不可靠近地板,要考慮如何對策異物的附著。異物對策攜入物品時的注意點33*去除異物的方法和場所?利用AirShower走道。用酒精等擦拭。*防止異物附著的對策將物品保管在無塵罩內。利用密閉容器。異物對策攜入物品時異物的去除請確認己經將異物除去了嗎?34不注意下列項目物品就會發塵、散亂材料的開梱場所*開梱場所選定了嗎?*開梱場所和生產場所有否分開?*開梱場所地板的地上已舖上墊子嗎?*包裝材的瓦楞紙是在外面做開梱嗎?*開梱前的場所與開梱後的場所是分開的嗎?異物對策無塵室內的發塵源35不注意下列項目物品就會發塵、散亂裝置*是否有漏油嗎?*是否有生銹嗎?*從驅動部是否有異物發塵嗎?*電鍍油漆部位是否有剝落?*裝置的角落,是否有與台車或其他物品擦到而剝落嗎?*氣體是否有外漏嗎?異物對策無塵室內的發塵源36若不注意下面所記載的事項,會造成發塵、凌亂治工具*是否有污垢?*是否有油污附著?*是否生鏽?*是否有金屬脫落及金屬屑?*是否有鍍膜或油漆的剝落?異物對策無塵室內的發塵源NO337若不注意下面所記載的事項,會造成發塵、凌亂部材*何種包裝材料?*包裝材料是否有污染?*裝材料用托盤是否污染?*材料無污染嗎?*材料會發塵?*開梱場所地板的狀況?異物對策無塵室內的發塵源NO438若不注意下面所記載的事項,會造成發塵、凌亂紙類*是否使用無塵紙?*是否未切割的很小?*是否無破裂?*角落是否無磨擦到?*開始發塵