真空镀膜技术基础

电子、电器配套玻璃专业国际化公司TotalGlassSolutionsForElectronAndElectricAppliance专业的心做专业的事真空镀膜技术基础作成：樊斌杰日期:2010年/08月专业的心做专业的事•第一章带电粒子在电场中的运动第一节电磁场对带电粒子的加速作用电量为q的带电离子在电场强度为E的电场中所受到的电场力为：F=qE若q0(正电荷),则E与F同向;若q0(负电荷),则E与F反向.电子在电场中的速度决定于两电极间的电位差,即加速电压V.若V用伏特为单位,则电子在电场中的速度可写成v=5.93×105专业的心做专业的事专业的心做专业的事平面连续镀膜线真空系统专业的心做专业的事•一、真空阀门•1．概述在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。专业的心做专业的事•表1真空阀门分类•分类方法名称根据阀门的职能低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门根据结构塑式挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀、插板阀根据驱动方式手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀、液压真空阀根据材料金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀根据用途截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀根据通道方式脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事二、捕集器捕集器也称为阱，用来捕集真空系统中的可凝性蒸气。在有油封机械泵和蒸气流泵组成的真空系统中，存在着工作液的蒸气，如油蒸气、汞蒸气、水蒸汽等。这些蒸气进入被抽容器之后，使真空度降低，氧化电热体和被处理工件，污染真空系统。为了减少乃至消除这些有害蒸气，在有油蒸气污染可能的真空系统中广泛使用捕集器。捕集器的种类很多，根据捕集器捕集蒸气的原理和方法不同，捕集器可分为挡油帽，机械捕集器(又称挡板、障板、机械阱)，冷凝捕集器(又称冷阱)，吸附捕集器(又称吸附阱)和其它类型的捕集器(如电捕集器，热捕集器，离子捕集器等。专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事三.真空计分类按真空度刻度方法分类(1)绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。(2)相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。按真空计测量原理分类直接测量真空计这种真空计直接测量单位面积上的力，有:(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而专业的心做专业的事产生弹性变形来测量压力值的大小。间接测量真空计压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有：(1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。(5)放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。专业的心做专业的事•(6)粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。(7)场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。(8)分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事四、真空泵专业的心做专业的事•真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事专业的心做专业的事THANKYOU...没有最好,只有更好我们还在努力