形位误差的检测直线度平面度圆度圆柱度线轮廓度面轮廓度平行度垂直度倾斜度同轴度对称度位置度跳动直线度误差的检测GB11336-1989光隙法:适合于小零件节距法:适合于一般零件或较大零件设备:平尺(或刀口尺),厚薄规(塞尺)。1、光隙法将刀口尺与被测素线直接接触,并使两者之间的最大间隙为最小。误差的大小根据光隙确定,当光隙较小时,可按标准光隙估读,兰光:f=0.8μm,红光:f=1.5μm,白光:f=2.5μm。当光隙大时,用塞尺测量。光隙法节距法量规检验法(一)常用的测量方法2、节距法直线度误差的检测——测量方法(续)设备:桥板和水平仪,自准直仪和反射镜,平板和测微表将水平仪放在桥板上,先调整被测零件,使被测要素大致处于水平位置。水平仪按节距l沿被测素线移动,同时记录水平仪读数;根据记录的读数用计算法(或图解法)按最小条件(或两端点边线法)计算误差值。按上述方法测量若干条素线,取其中最大的误差值作为该被测零件的直线度误差。A、水平仪和桥板B、自准直仪和反射镜平面反射镜调节手轮物镜反射镜目镜测微鼓轮光源滤光片十字线分划板立方棱镜固定分划板可动分划板十字线分划板物镜水平调整板平面反射镜桥板被测直线度误差的检测——测量方法(续)C、平板和测微表直线度误差的检测——测量方法(续)0.010将被测零件放置在平板上,并使其紧靠直角座。在被测素线的全长范围内沿被测要素按一定节距移动表架进行测量。3、综合量规综合量规测的直径等于被测零件的实效尺寸,综合量规则必须通过被测零件。直线度误差的检测——测量方法(续)直线度误差的检测评定方法有:最小包容区域法、最小二乘法和两端点连线法。以被测误差曲线的两端点连线作为理想直线,则误差曲线相对该理想直线的最高点和最低点到该理想直线的纵坐标距离之和即为被测直线度误差值f。f=dmax+dmin(二)评定方法1、两端点连线法2、最小二乘法以使实际直线上各点到该直线的距离平方和为最小的一条理想线为评定基线。则误差曲线相对该理想直线的最高点和最低点到该理想直线的纵坐标距离之和即为被测直线度误差值f。f=dmax+dmin直线度误差的检测——评定方法(续)min12niiz3、最小区域法根据最小条件的原则,作两条平行直线包容被测误差曲线,则两平行直线之间的纵坐标距离即为被测直线符合最小条件的直线度误差值f。其评定结果小于或等于其它两种评定方法。f=dmax+dmin直线度误差的检测——评定方法(续)直线度误差评定举例例:某机床床身导轨直线度公差t=0.10mm,选用水平仪测量其直线度误差,读数为:测点序号012345678读数值(μm)0+6+60-1.5-1.5+3+3+9累积值(μm)0+6+12+12+10.5+9+12+15+24平面度误差的检测GB11337-1989平晶法:适合于高精度的小平面测微法:适合于一般零件或较大零件将平晶帖在被测表面上,观测它们之间的干涉条纹。平面度误差为:封闭的:干涉条纹数×光波波长之半;图a,f=n×λ/2不封闭的:条纹的弯曲度与相邻两条纹间距之比再乘以光波波长之半。图b,f=ν/ω×λ/21、平晶法(一)常用的测量方法2、测微法A、平板,带指示器的测量架,固定和可调支承。指示表一般用于测量小型平面。将被测零件支承在平板上,调整被测表面最远三点,使其与平板等高。按一定的布点测量被测表面,同时记录读数。平面度误差的检测——测量方法(续)B、水平仪和桥板将被测表面调水平,用水平仪按一定的布点和方向逐点地测量被测表面,同时记录读数,并换算成线值。C、自准直仪和反射镜将反射镜放在被测表面上,调整自准直仪与被测表面平行,按一定的布点和方向逐点测量,记录读数。平面度误差的检测——测量方法(续)平面度误差的检测评定方法有:最小包容区域法、最小二乘法、对角线平面法和三远点平面法。1、三远点平面法以三远点平面STP作为评定基面的方法。fTP=dmax-dmindmax、dmin是测得点相对三远点平面的最大、最小偏离值。di在平面上方取正,下方取负。0-306-2-300-8三远点平面(二)评定方法2、对角线平面法以对角线平面SDL作为评定基面的方法。fDL=dmax-dmin-8+3-40-6-5-4-2-8对角线平面法平面度误差的检测——评定方法(续)3、最小二乘法以实际平面上各点到该平面的距离平方和为最小的理想平面作为评定基面。fLS=dmax-dmin平面度误差的检测——评定方法(续)4、最小包容区域法以最小区域面SMZ作为评定基面的方法。fMZ=dmax-dmindmax、dmin是测得点相对最小区域面的最大、最小偏离值。di在平面上方取正,下方取负。平面度误差的检测——评定方法(续)最小包容区域判别法0-9-7-16-210-50-13直线准则-4-20-8-6-50-3-80-80-3-15-20-7-5三角形准则交叉准则平面度误差的检测——评定方法(续)平面度误差的检测(三)数据处理变换作图法旋转变换法极点计算法(最小二乘法只有此法)1、最小区域法的旋转变换步骤:(1)根据测量得点坐标值,判别被测面可能符合的判别准则,并将其中两个可能的高(或低)极点旋转变换成等值,同时变换其余各点的坐标值。(2)若可能符合交叉准则,则以平行于上述等值点连线的线为轴,将轴两侧的低(或高)点旋转变换成等值,同时变换其余各点的坐标值。(3)若可能符合三角形准则,则以平行于上述等值点的线为轴,将另一个高(或低)点旋转变换成等值,同时变换其余各点的坐标值。(4)旋转变换后符合判别准则之一,则平面度误差值f=Zmax-Zmin例1、按最小区域法评定平面度误差值:f=Zmax-Zmin=70-(-30)=100μm040-10-3070-1510-50-20040-10-3070-1510-50-20-20-20202000-2020-30-3070-1530-300根据测得点坐标值,判断被测面可能符合三角形准则。将其中两可能的低极点Z10=-30,Z21=-50旋转变换成等值-30,并同时变换其余各点。平面度误差的检测——数据处理(续)2、对角线平面法的旋转变换步骤:(1)以选定的某条线为转轴进行旋转,使一条对角线上两个角点的坐标值旋转变换为等值,同时变换其余各点的坐标值。(2)以平行于上述对角线的某条线为转轴进行旋转,使另一条对角线上两个角点的坐标值旋转变换为等值,同时变换其余各点的坐标值。(3)找出旋转变换后各坐标值中的最大值和最小值。则平面度误差值f=Zmax-Zmin平面度误差的检测——数据处理(续)例2、按对角线平面评定选择Z00、Z22连线为转轴,使Z20、Z02等值。选择Z20、Z02为转轴,使Z00、Z22等值。f=Zmax-Zmin=70-(-50)=120μm040-10-3070-1510-50-20+10+50-5-100450-3570-100-55-20-10400-4070-50-50-10-10-50+10+5平面度误差的检测——数据处理(续)3、三远点平面法的旋转变换步骤:(1)以选定的某条线为转轴进行旋转,使两个远点的坐标值旋转变换为等值,同时变换其余各点的坐标值。(2)以平行于上述等值远点连线的某条线为转轴进行旋转,使另一远点的坐标值旋转变换为等值,同时变换其余各点的坐标值。(3)找出旋转变换后各坐标值中的最大值和最小值。则平面度误差值f=Zmax-Zmin平面度误差的检测——数据处理(续)例3、按三远点平面评定平面度误差值:f=Zmax-Zmin=70-(-55)=125μm040-10-3070-1510-50-200-10-5040-10-3565-200-60-3005520-3580100-450+30+150040-10-3070-1510-50-20+10+50-5-100450-3570-100-55-20-20350-457000-500-20-100+20+10平面度误差值:f=Zmax-Zmin=70-(-45)=115μm。结果不唯一。平面度误差的检测——数据处理(续)例4:读数如图,平面度公差t=0.1mm,试评定平面度误差并判断其合格性。首先用极值法评定其平面度误差f’f’=70-(-40)=110μmf’t,不能判断。050+10-3070+5+10-400-10400-3070+5+20-30+10-30-20-100+10050+10-3070+5+10-400-10-10+10+1000-20+20-30-30+60-15+30-300平面度误差:f=60-(-30)=90μm,ft,故该平面是合格的。用最小区域法评定:平面度误差的检测——数据处理(续)圆度误差的检测1、圆度仪2、光学分度头3、V形块和带指示表的表架4、千分尺及投影仪5、坐标测量装置或带电子计算机的测量显微镜等。(一)常用测量方法GB4380《确定圆度误差的方法两点、三点法》GB7234《圆度测量术语、定义及参数》GB7235《评定圆度误差的方法半径变化量测量》1、圆度仪测量(最常用的方法)转台式适用于测量小型工件,转轴式适用于测量大型工件。圆度误差的检测——测量方法(续)转轴式是电感传感器安装在仪器精密回转轴系上。测量时,工件不动,传感器测头线主轴轴线作旋转运动,测头在空间的运动轨迹形成一理想圆。工件实际轮廓与此理想圆连续进行比较,其半径变化由传感器测出,经电路处理后,由记录器描绘出被测实际轮廓的图形。2、用分度头测量将被测零件安装两顶尖之间,利用分度头使之每次转一个等分角,从指示表上读取被测截面上各测点的半径差。将所得读数值按一定比例放大后,可绘制出误差曲线图(极坐标),经过必要的数据处理即可评定出圆度误差值。圆度误差的检测——测量方法(续)3、用V形块和指示表测量(三点测量法)顶式三点测量:测头位于固定测量支承夹角之外。(图a)鞍式三点测量:测头位于固定测量支承夹角之内。(图b)将V形架置于被测孔内(图c)被测零件的轴线应与测量截面垂直,并固定其轴向位置。在被测零件回转一周过程中,指示表读数的最大差值之半即为被测截面的圆度误差。如此测量若干个截面,取其中最大误差值作为该零件的圆度误差。圆度误差的检测——测量方法(续)4、用千分尺或平板和带指示表的表架测量(两点测量法)在被测零件回转一周过程中,千分尺或指示表读数的最大差值之半作为被测截面的圆度误差。测量多个截面,取其中最大误差值作为该零件的圆度误差。圆度误差的检测——测量方法(续)圆度误差的检测评定方法有:最小外接圆法、最大内切圆法、最小区域法、最小二乘法、(二)误差评定圆柱度误差的检测目前只能采取近似的方法,比如:多个截面测圆度。线轮廓度误差的检测设备:轮廓样板、投影仪、仿形测量装置和坐标测量装置等。1、轮廓样板将轮廓样板按规定的方向放置在被测零件上,根据光隙法读间隙的大小,取最大间隙为该零件的线轮廓度误差。2、投影仪将被测轮廓,投影在投影屏上与极限轮廓相比较,实际轮廓的投影应在极限轮廓线之间。此方法适用于测量尺寸较小和薄的零件。线轮廓度误差的检测3、仿形测量装置调正被测零件相对于仿形系统和轮廓样板的位置再将指示器调零。仿形测头在轮廓样板上移,由指示器上读取数值。取其数值的两倍作为该零件的线轮廓度误差。指示器测头应与仿形测头的形状相同。线轮廓度误差的检测4、坐标测量装置测量被测轮廓上各点的坐标,同时记录其读数并绘出实际轮廓图形。线轮廓度误差的检测面轮廓度误差的检测设备:成套的截面轮廓样板、仿形测量装置、三坐标测量机及光学跟踪轮廓测量仪等平行度误差的检测被测零件放在平板上,用平板的工作面模拟被测零件的基准。在被测实际表面上的各测点进行测量,指示表的最大、最小读数值之差即为该零件的平行度误差垂直度误差的检测将被测零件放置在导向块内,基准轴线由导向块模拟。测量整个被测表面,并记录读数,取其最大读数差作为该零件的垂直度误差。倾斜度误差的检测将被测零件放在定角座上。调整被测件,使整个