共享设备使用与加工合作协议书

中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心共享设备使用与加工合作协议书设备名称：电子束光刻甲方：乙方：中科院半导体所集成技术中心项目负责人：负责人（或代理人）：为建立良好的的合作关系，促进甲乙双方的共同发展和长远合作，甲乙双方本着自愿、平等、互利的原则，经友好协商，达成如下协议，并承诺严格遵守本协议中的各项条款，履行各自的义务。一、乙方愿意将甲方作为重要的基本客户，在甲方用户提前一周预约的前提下，尽力满足甲方合理的设备使用需求，优先为甲方提供技术支持服务。二、甲方愿意将乙方作为主要技术支持中心，经常使用乙方该设备，并愿意与乙方具有两年以上稳定的合作关系。三、乙方将根据甲方对该设备的使用需求情况，负责对甲方经常使用本设备的用户进行操作培训。甲方用户经乙方设备技术负责人对甲方用户进行考核后，方可独立进行设备操作。四、乙方负责人根据甲方实际需要，为甲方设备操作员开通超净实验室使用门卡，甲方遵守门卡使用规则，否则甲方将承担一切相关后果。乙方负责对甲方设备操作员进行必要的安全教育。五、乙方技术人员为确保有效管理和提高工艺水平和实验质量，有权了解甲方用户的技术过程和相关实验结果。乙方承担保密义务，未经甲方同意，乙方不向无关人员透露实验结果，不以任何形式公开甲方的实验结果。甲方愿意在成果发表时，将乙方作为技术开发的合作者或感谢乙方提供的常规技术支持。六、甲方设备操作人员保证遵守乙方的设备操作规程和相关各项管理规定。未经乙方允许，甲方绝对不私自带领其他人员进入设备超净间。甲方如实准确填写实验记录和加工服务单。如遇设备故障或突发事件，用电话及时通知乙方。如果甲方人员违反乙方的设备操作规程和相关管理规定，造成人为设备损坏或相关损失，由甲方承担相应的经济责任。七、甲方向乙方预支付加工费（大写）万元。本协议在乙方收到甲方预付加工费后生效。甲方愿意在本工艺线内使用完预付费用。最终结算时，多退少补。甲乙双方最终结算后，方可终止本协议。八、乙方按准根据“集成技术中心加工服务价格表”的机时收费标准收取甲方的实验加工费。双方均可要求定期结算，乙方向甲方提供发生的费用清单和发票。九、甲乙双方不得单方终止协议或违背协议条款。本协议在执行过程中，如发生工艺问题争议或需要对协议中的有关条款进行修改、补充时，双方应本着平等互利、互谅互让的原则友好协商解决。十、补充条款：本协议经甲方负责人和乙方负责人或其委托代理人签字。本协议正本一式两份，甲乙双方各执一份。甲方（签名）：乙方（签名）：年月日