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编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）部门：全公司填表人：审核:日期：2007.03.25No.E01项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注1车间工序全过程使用一次性手套后丢弃AC固体废弃物废物回收处理2车间工序全过程硅片报废AC固体废弃物废物回收处理3车间车间清洁使用无尘布、毛巾后废弃AC固体废弃物垃圾处理4车间车间清洁废水排放NC水质污染废水处理5车间车间维修更换设备零部件AC固体废弃物废物处理6车间车间照明坏日光灯管废弃AC危险固体废弃物废物处理7扩散设备区扩散生产掺杂源的排空NC空气污染尾废气处理8扩散设备区扩散生产三氯乙烷的使用后排空NC空气污染尾气处理9扩散设备区扩散生产CVD尾气排放NC空气污染废气处理10扩散设备区扩散生产尾气水解NC水体污染废水处理11扩散设备区扩散生产拆洗尾气管道残渣丢弃AC固体废弃物垃圾处理12扩散设备区扩散生产更换密封圈后丢弃AC固体废弃物垃圾处理13扩散设备区扩散生产更换石英件后丢弃AC固体废弃物废物回收处理14扩散设备区扩散生产设备风机运转NC噪音超标防护15扩散设备区扩散生产更换炉体后丢弃AC固体废弃物废物回收处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注16扩散设备区扩散生产扩散源气泄漏EC空气污染抽风17扩散测试区硅片测试膜厚仪废纸丢弃AC固体废弃物垃圾处理18炉管清洗区石英清洗化学药品挥发NC空气污染抽风19炉管清洗区石英清洗废酸排放AC水体污染废水处理20炉管清洗区石英清洗废液排放NC水体污染废水处理21扩散气柜区特气柜特气泄漏EC空气污染抽风22光刻区光刻清洁使用一次性手套后废弃AC固体废弃物垃圾处理23光刻区清洁使用无尘布后废弃AC固体废弃物垃圾处理24光刻区清洁使用有机化学品挥发NC空气污染抽风/后处理25光刻区清洁废水排放NC水体污染废水处理26光刻区硅片处理硅片报废AC固体废弃物废物回收处理27光刻区硅片处理光刻胶溶剂挥发与多余排放N/AC空气污染和固体废弃物排风、废弃物处理28光刻区硅片处理使用显影液挥发NC空气污染抽风/后处理29光刻区硅片处理使用去边液挥发NC空气污染抽风/后处理30光刻区硅片处理使用增粘剂挥发NC空气污染抽风/后处理31光刻区硅片处理使用异丙醇挥发及废液废弃N/AC空气污染和固体废弃物抽风/废液回收处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注32光刻区光刻设备汞灯更换丢弃AC危险固体废弃物废物回收处理33光刻区对位工作版使用后废弃AC固体废弃物废物回收处理34制版区光刻制版废酸、硷排放AC水体污染废水处理35制版区光刻制版酸气排放NC空气污染抽风/后处理36注入区注入特气的泄漏EC空气污染抽风37注入区工艺卫生手套、抹布使用后废弃AC固体废弃物废物回收处理38注入区注入各种油品使用时挥发NC空气污染抽风39注入区注入硅片报废AC固体废弃物废物回收处理40注入区PM各种消耗件的废弃AC固体废弃物垃圾处理41注入区注入维护各种润滑油使用时挥发NC空气污染抽风42注入区注入维护各种油品使用后的废弃AC固体废弃物废物回收处理43注入区注入维护砂纸的使用后废弃AC固体废弃物垃圾处理44注入区注入维护备件更换后废弃AC固体废弃物垃圾处理45注入区注入维护酒精等有机溶剂使用时挥发NC空气污染抽风46注入区注入维护离子源打磨废屑废弃AC固体废弃物垃圾处理47蒸发溅射区蒸发溅射沾污金属源的废弃AC固体废弃物废物回收处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注48蒸发溅射区蒸发溅射各种油品使用时挥发NC空气污染抽风49蒸发溅射区蒸发卫生手套、抹布使用后废弃AC废弃物垃圾处理50蒸发溅射区模块清洗离子水的使用、排放NC水质污染废水处理51蒸发溅射区蒸发维护坩埚打磨废屑废弃AC固体废弃物垃圾处理52减薄区减薄机台运转时产生噪声NC噪声超标防护53减薄区减薄维护砂轮废弃AC固体废弃物垃圾处理54减薄区背洗擦片棉花使用后废弃AC固体废弃物垃圾处理55减薄区背洗擦片蓝膜使用后废弃AC固体废弃物垃圾处理56减薄区背洗擦片废液排放NC水质污染废水处理57减薄区抛光水的排放NC水体污染污水处理58减薄区抛光抛光液的排放AC水体污染污水处理59减薄区抛光抛光布的废弃AC固体废弃物垃圾处理60减薄区减薄区卫生手套、抹布的使用废弃AC固体废弃物垃圾处理61减薄区减薄维护维修时的更换件废弃AC固体废弃物垃圾处理62减薄区背熏/背腐废液排放NC水质污染废水处理63减薄区背熏/背腐酒精等有机溶剂使用时挥发NC空气污染抽风编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注64喷沙区喷沙石英砂废弃AC固体废弃物垃圾处理65喷沙区喷沙尾气排放NC空气污染抽风66腐蚀清洗区清洗、腐蚀化学品使用后排放NC水质污染、土地污染废水处理67腐蚀清洗区清洗、腐蚀化学品使用时挥发NC空气污染抽风68腐蚀清洗区清洗、腐蚀化学品泄露EC水质污染、土地污染废水处理69腐蚀清洗区清洗、腐蚀水使用后排放NC废水废水处理70腐蚀清洗区清洗、腐蚀N2使用后排放NC空气污染抽风71腐蚀清洗区清洗、腐蚀硅片报废AC固体废弃物废物回收处理72腐蚀清洗区清洗、腐蚀使用一次性手套后丢弃AC固体废弃物废物回收处理73腐蚀清洗区湿法清洁使用无尘布、毛巾后废弃AC固体废弃物垃圾处理74腐蚀清洗区湿法清洁废水排放NC水质污染废水处理75腐蚀清洗区湿法清洁防护用品使用后废弃AC固体废弃物废物回收处理76腐蚀清洗区湿法维护设备维修后零部件废弃AC固体废弃物垃圾处理77腐蚀间、清洗间清洗、腐蚀桶装化学品使用残留EC水质污染、土地污染提高利用率78腐蚀间、清洗间清洗、腐蚀剥离液、剥离洗液回收EC水质污染、土地污染废物回收处理79腐蚀间、清洗间清洗、腐蚀化学品容器废弃EC固体废弃物废物回收处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注80外延车间生产过程使用一次性手套后废弃AC固体废弃物垃圾处理81外延车间生产过程硅片报废AC固体废弃物废物回收处理82外延车间场所清洁使用无尘布后废弃AC固体废弃物垃圾处理83外延清洗区硅片清洗化学药品挥发NC空气污染抽风84外延清洗区硅片清洗废液排放NC水体污染废水处理85外延炉体区外延尾气排放NC空气污染废气处理86外延炉体区外延尾气水解后废水排放NC水体污染废水处理87外延炉体区外延炉体热辐射NC能量辐射空调送风88外延气柜区外延特气柜特气泄漏EC空气污染抽风89外延测试区外延测试膜厚仪废打印纸丢弃AC固体废弃物垃圾处理90外延测试区外延测试废色带丢弃AC危险固体废弃物危废处理91外延车间外延维护拆洗尾气管道残渣废弃AC固体废弃物垃圾处理92外延车间外延维护更换密封圈后丢弃AC固体废弃物垃圾处理93外延车间外延维护清洗石英件后废液排放NC水体污染废水处理94外延车间外延维护定期更换石英件废弃AC固体废弃物垃圾处理95外延车间外延维护定期更换红外灯管废弃AC固体废弃物垃圾处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注96外延车间外延维护更换设备零部件AC固体废弃物废物回收处理97外延测试区外延片测试探针台汞的使用AC危险液体废弃物危废处理98干刻区干刻特气的泄漏EC空气污染抽风99干刻区干刻机台运转时产生噪声NC噪声超标防护100干刻区干刻卫生手套、抹布使用后废弃AC固体废弃物废物回收处理101干刻区干刻各种油品使用时挥发NC空气污染抽风102干刻区干刻硅片报废AC固体废弃物废物回收处理103干刻区干刻维护维修更换物废弃AC固体废弃物垃圾处理104干刻区干刻维护各种润滑油使用时挥发NC空气污染抽风105干刻区干刻维护各种油品使用后的废弃AC固体废弃物废物回收处理106干刻区干刻维护砂纸无尘布使用后废弃AC固体废弃物垃圾处理107干刻区干刻维护备件更换后废弃AC固体废弃物垃圾处理108干刻区干刻维护酒精等有机溶剂使用时挥发NC空气污染抽风109干刻区干刻维护打磨废屑废弃AC固体废弃物垃圾处理110机械维修机械泵维护机械泵油挥发NC空气污染空气流通111机械维修机械泵维护机械泵油更换后的废弃AC危险固体废弃物危废处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注112机械维修机械泵维护密封圈及配件更换后废弃AC固体废弃物垃圾处理113机械维修机械泵维护使用一次性手套后丢弃AC固体废弃物废物回收处理114机械维修机械泵维护使用砂纸后丢弃AC固体废弃物垃圾处理115机械维修机械泵维护机械泵清洗剂使用后排放AC水体污染废水处理116机械维修车/钻/铣床金属等切削屑的丢弃AC固体废弃物废物回收处理117机械维修车/钻/铣床废冷却液的排放AC危险固体废弃物危废处理118机械维修电焊/氩弧焊焊渣的丢弃AC固体废弃物废物回收处理119机械维修电焊/氩弧焊焊烟NC空气污染空气流通120机械维修塑料焊焊条短料的丢弃AC固体废弃物废物回收处理121机修维修车/钻/铣床使用过程产生的噪声NC噪声产生采取消声措施122机修维修移动式电动工具使用过程产生的噪声NC噪声产生采取消声措施123生产线生产线维修使用一次性手套后丢弃AC固体废气物废物回收处理124生产线生产线维修焊锡使用时废气NC空气污染空气流通125生产线生产线维修配件更换后废弃AC固体废气物垃圾处理126生产线生产线维修扩散泵油更换后废弃AC危险固体废弃物废物回收处理127生产线生产线维修含油抹布、手套的废弃AC危险固体废弃物废物回收处理编号：FM-64-001版次:1.0备注：N-正常作业A-异常作业E-紧急/意外事件P-过去C-现在F-将来XX公司环境因素调查表（风险评估法）项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注128生产线生产线维修机械泵油更换后废弃AC固体废弃物废物回收处理129工艺制水纯水制备制水后废液的排放NC水污染废水处理130工艺制水纯水制备危险品包装物的废弃AC固体废弃物废物处理131工艺制水纯水制备一般化学品包装物的废弃AC固体废弃物废物处理132工艺制水纯水制备操作时危险化学品的滴漏EC水污染废水处理133工艺制水制水维护树脂更换时废弃AC固体废弃物废物处理134工艺制水制水维护滤芯使用后废弃AC固体废弃物废物处理135工艺制水制水维护活性碳使用后废弃AC固体废弃物废物处理136污水处理站污水处理处理达标废水的排放NC水污染137污水处理站污水处理含氟污泥的废