深加工玻璃主讲:宁海霞绵阳职业技术学院2009-7-28普通硅酸盐工艺学镀膜玻璃提纲•玻璃上薄膜的形成•真空阴极磁控溅射法•化学沉积法•真空蒸镀法•凝胶法•化学镀膜法•镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求一、玻璃上薄膜的形成1、薄膜干涉的理论和镀膜玻璃的膜层设计★光的干涉现象光线入射到薄膜上,经反射和折射后,经人眼会聚一点,发生干涉现象,光程差等于半波长的偶数倍,人眼看到B处的是亮的,光程差等于半波长的奇数倍时是暗的。B★光程差:212(k=1、2…)干涉加强(k=0、1、2…)干涉减弱★膜层设计:增透膜时,相消干涉来减少反射,即增反膜时,相长干涉来减少透射,即212k2、太阳能的划分3、薄膜的形成方法及膜层类型溅射法、真空蒸镀法、离子镀膜法化学沉积法、凝胶法、喷涂法化学镀膜法λ(um)0.40.71.15紫外光可见光短波红外光长波红外光氧化物膜及金属膜金属膜氧化物膜二、真空阴极磁控溅射法1、工作原理在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向,束缚电子运动轨迹,从而提高工作气体的电离几率和有效地利用电子能量,提供大量电子的轰击靶材的正离子,形成高密度的等离子区,由于正离子轰击靶材而产生溅射,溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积成膜,而其中的二次电子进入等离子区参与电离子碰撞,不断地补充大量的正离子,二次电子在其能量耗尽时,被阴极吸引而导出真空室。溅射原理图2、特点★膜厚可控性和重复性好;★膜层与基片的附着力强;★可以制造特殊材料的膜层;★膜层纯度高;★磁控溅射速度高,基片温度低3、工艺流程玻璃原板人工检验装片洗涤干燥人工检验抽真空入口等待缓冲室溅射Ⅰ溅射Ⅱ溅射Ⅲ直流电源反应气体工作气体出口室缓冲室Ⅱ出口洗涤干燥输送成品检验抽真空4、品种及性能(1)按产品的性能分类:★阳光控制玻璃★低辐射膜玻璃★玻璃镜★导电玻璃★反反射膜玻璃★低辐射阳光控制膜玻璃高透型LOW-E遮阳型LOW-E双银LOW-E(2)性能:★控光及节能(两个参数:Sc和U)★美学性能(装饰效果)★导电性能★单向透视或隐形性能★化学稳定性及耐磨性能5、生产镀膜玻璃需注意的工艺事项•玻璃需新鲜•镀膜前清洗的质量要高•玻璃在运输及储存中要防止雨淋•清洗后的玻璃不能用裸手触摸•镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求•反应溅射镀膜要准确的控制好反应气体的用量•溅射电流、电压等工艺参数要稳定本方法只适用于生产阳光控制玻璃三、化学沉积法1、原理利用气相物质通过化学反应在基体表面上形成固态薄膜的一种方法。2、影响化学沉积法镀膜的因素★气体物质的浓度★安装镀膜反应器处的玻璃温度★反应副产物及未反应物的排出速度★玻璃拉引速度四、真空蒸镀法1、原理利用真空状态下物质达到饱和蒸气压下降的性质形成蒸气,蒸气质点沉积在玻璃表面上形成一层具有一定粘度的金属膜。2、工艺流程检验基片洗涤干燥装片镀膜出片检验卸片检验热反射玻璃成品包装入库刷底漆干燥刷面漆干燥检验铝镜成品包装入库五、凝胶法1、原理采用元素周期表中Ⅳ类、Ⅲ类和Ⅴ类中某些元素合成烃氧化基化合物并利用某些有机盐类作为镀膜物质,将这些烃氧化基化合物及无机盐溶于某种溶剂配制成醇盐溶液,然后将干净的玻璃基片浸渍在此种溶液中,浸渍一段时间后徐徐提起,粘附于玻璃基片上的醇盐溶液在空气中水解,再经加热缩聚,最后在玻璃基片表面结成氧化物膜。2、工艺流程加热检验基片洗涤干燥装片浸镀提升输送烘干冷却卸片检验铝镜成品包装入库金属醇盐溶液六、化学镀膜法1、原理将银氨溶液和醛基或酮基的糖溶液喷洒到洁净的玻璃表面上,利用醛类或酮类有机化合物中醛基的还原性,把银氨溶液中的银还原。2、工艺流程一次镀银检验基片洗涤干燥装片抛光刷洗冲洗敏化二次镀银镀铜清洗干燥预热一次涂漆二次涂漆烘干冷却清洗镜面双面清洗干燥输送卸片检验七、镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求•玻璃基片要求采用浮法玻璃中质量等级最高的产品即一级品。•车间环境:无尘埃、通风、无污染源、车间空气相对湿度≤75%