触摸屏蚀刻生产工艺

文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数1/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺XX光电有限公司一、生产设备的设定1.生产设备蚀刻及除油墨设备生产线分酸蚀、碱蚀、水洗、超声波清洗、风刀、烘干六段。酸蚀、碱蚀段带水洗部分。各段喷头要畅通,不能有堵塞现象。此设备可用于蚀刻ITOGlass或ITOFilm。欣裕达(新)蚀刻线酸蚀段只有一槽酸，其酸浓度为18%~26%[调机值23、24]，专门用于ITOFilm的蚀刻。科宇达（旧）蚀刻线酸蚀段有两槽：第一槽酸浓度为18%~26%[调机值23、24]，第二槽的酸浓度为18%~26%[调机值23、24]。专门用于ITOGlass的蚀刻，且须同时使用两槽酸液。2.机器参数的设定(1)膜－酸蚀刻参数表A.ITOFilm材料类别材料编码材料方阻Ω/□酸液浓度HCL设置温度℃设置速度m/min酸喷淋压力水喷淋压力P上kg/c㎡P下kg/c㎡P上kg/c㎡P下kg/c㎡膜ALL350~50018%-26%30～451.8-2.51.0-1.500.8-1.30.5注：a.以上Film材料为我司现常用物料，生产过程中如遇新物料蚀刻参数可咨询工程部；b.酸液蚀刻Film材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节。以能完全刻断、不短路为原则。如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度，以1.8为基准往上调或往下调；c.生产前需做首件检测原材料方阻，方阻需在要求范围之内才可正常生产；d.酸液流量要适中范围；e.酸槽的速度必须小于且不等于纯水槽的速度。B.ITOGlass(1)玻璃－酸蚀刻参数表注:a.第一、二槽酸液蚀刻Glass材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节,以能完全蚀刻、不短路为原则并配合碱段的参数；b.同时生产前需做首件检测原材料方阻,方阻需在要求范围之内才可正常生产；c.两槽酸液流量要适中范围；d.如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度以1.5为基准往上调或往下调；e.酸槽的速度必须小于不等于碱槽的速度。（2）碱洗、脱膜(Glass)材料碱液浓度设置速度m/min设置温度℃碱喷淋压力kg/c㎡水喷淋压力kg/c㎡备注P上P下P上P下Glass5～9%1.0～1.835～450.7～1.50.5～1.00.6～1.20.5～1.0Film膜暂时不用碱液注:a.机器运转速度,随碱液的浓度调节。以能将材料上的耐酸油墨洗脱干净为原则。转速要与酸洗速度相配合，比酸段的快,或将材料放入酸蚀刻段时间的间隔拉长；材料类别材料编码材料厚度mm材料方阻Ω/□酸液浓度1HCL+HNO3酸液浓度2HCL+HNO3设置温度℃设置速度m/min酸喷淋压力kg/c㎡水喷淋压力kg/c㎡P上P下P上P下玻璃ALLALL350~50080~120180~30018%-26%18%-26%35～451~1.81~2.51~2.51~1.50.5~0.8文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数2/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺XX光电有限公司b.碱液流量要适中范围。（3）烘干(以可烘干且不变形为原则)、水洗及超声波清洗材料水喷淋压力kg/c㎡烘干温度℃烘干速度m/minP上P下Film0.8~1.30.3~0.560±51.8~2.5Glass1.0~1.60.5~0.860±51.0~2.3注:a.烘干速度应与碱洗速度相同；b.水洗时水量较大,要确保冲洗干净。(4)注：开机运行到设定温度后(约15~20分钟),方可测试酸液及碱液的浓度,其在规定范围内可进行生产。二、酸溶液的配制1.酸液1)第二槽酸液配制方法:a.开槽配360升左右酸液b.配制比例:盐酸HCL(36~38%):纯水H2O1:1.5c.取178升的HCL慢慢加入267升纯水中(边搅拌边加入)。配好后测试酸的当量浓度,在范围内方可使用。2)第一槽酸液配制方法:a.开槽配360升左右酸液b.配制比例:盐酸HCL(36~38%):硝酸HNO3(65~68%):纯水H2O50:4:60c.取172升HCL慢慢加入175升的纯水中(边搅拌边加入)，再取14升HNO3慢慢加入以上酸液中，边搅拌边加入。配好后,测试酸的当量浓度在范围内方可使用。3)配制两槽酸液的注意事项:a.不能将水加入酸中,否则极易爆炸；b.HCL、HNO3不慎沾到皮肤上,应立即用大量水冲洗；c.酸加入水中,速度不能快,必须慢慢加入；d.整个过程必须在通风良好的环境中进行,并必须配带耐酸、碱手套，并戴口罩及防护眼镜。三、碱溶液的配制1)配制比例氢氧化钠(分析纯)NaOH(g):纯水H2O(ml)1:45(约2%)2)配制方法a.开槽配制约200升碱液；b.称取4.4kg氢氧化钠,置于白色塑料筒中,再量取约195升纯水将其溶解。3)配制碱液的注意事项:a.先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎,再用适量纯水溶解,最后加入剩余的纯水配成；b.整个过程中,需不停搅拌,尽可能不让氢氧化钠沉淀结块；c.搅拌速度适中,不宜过快。四、纯水a.用精密PH试纸(5.0~8.0)测试,PH=6.5~7.0方可生产；b.开启排水阀及进水阀正洗水质电阻率(即混床电阻率)≧1MΩcm(1μs/cm),方可生产。五、补充液的添加量文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数3/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺XX光电有限公司1)酸液A.第二槽酸液:a.12---------------36~38%盐酸当量浓度(N)V补充-----------酸补充液的体积(L)N前-------------使用前酸液的浓度(N)V前-------------蚀刻前酸液的体积(L)N后-------------蚀刻后酸液的浓度(N)V后-------------蚀刻后酸液的体积(L)b.36~38%HCL,当量浓度=12NB.第一槽酸液:a.补充酸液体积公式同上(A-a.)b.因为VHCL:VHNO3＝50:4,硝酸体积与盐酸相差较大,故酸补充液先按盐酸计算:根据计算出的体积,按比例计算出HNO3体积。c.添加盐酸体积按盐酸含量换算；d.36~38%HCL，当量浓度=12N2)碱液WNaOH＝40x(V前‧N前-V后‧N后)WNaOH--------补充NaOH的重量(g)40-------------NaOH克当量V前-----------使用前NaOH的体积(L)V后-------------使用后NaOH的体积(L)N前-------------使用前NaOH的浓度(N)N后-------------使用后NaOH的浓度(N)备注:由于补充液的添加均要求知道溶液的体积。因此,每次开机前要记录溶液体积。六、酸/碱体积比的检验方法：开机运行到设定温度后(约15~20分钟),测试酸液及碱液的体积比,在规定范围内方可进行生产。1．酸液1）新配酸液和使用过的酸液的测定a.将酸液稀释用吸量管吸取10ml酸液，放入100ml容量瓶中，然后加入纯水至刻度处，盖好玻璃塞，摇匀备用；b.测定酸液当量体积用吸量管吸取10ml“a”之稀释液，放入锥瓶中，加入纯水30ml摇匀，再加入酚酞指示剂1~3滴并记下锥瓶内溶液的体积为V1，再取氢氧化钠（NaOH）标准溶液倒入滴管内一般以50ml为基准，然后缓慢滴入锥瓶中，L)(544VV3HNO補充即12V)N(V)N(V後前補充補充補充VLVVHCL926.0))(4050(%)3836(文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数4/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺XX光电有限公司滴至粉红色后摇匀一分钟后不褪色为终点，计下此时锥瓶内的数据为V2，根据以下公式计算出溶液的体积比；2）新配酸液和使用过酸液体积比的计算:=NaOHVxHcL浓度浓度HcLx)(1V-V2=酸N酸N…………待测酸液体积比(ml)HCL浓度………盐酸当量浓度为0.35(N)V1……………10ml“a“之稀释液+30ml纯水+1~3滴酚酞V2……………10ml“a“之稀释液+30ml纯水+1~3滴酚酞+氢氧化钠标准溶液VNaOH………测定时所用去氢氧化钠（NaOH）标准溶液所用的体积(ml)2．碱液1）新配碱液和使用过的碱液体积比的测定用吸量管吸取2.0ml碱液,放入锥瓶中,加纯水约30ml,再加甲基橙指示剂1~3滴(这时溶液呈橙黄色)并记下锥瓶内溶液的体积为V1,再取盐酸(HCL)标准溶液倒入滴管内一般以20~25ml为基准,然后缓慢滴入锥瓶中,滴至由橙黄色变成橙红色摇匀一分钟不褪色为终点,计下此时锥瓶内的数据为V2，根据以下公式计算出溶液的体积比；2)碱液体积比的计算=HcLVxHcL浓度浓度HcLx)(1V-V2=碱NN碱…………待测碱液体积比(ml)HCL浓度………盐酸当量浓度为0.35(N)V1……………2ml碱液+30ml纯水+1~3滴甲基橙V2……………2ml碱液+30ml纯水+1~3滴甲基橙+盐酸标准溶液VHcL………测定时所用去盐酸(HCL)标准溶液所用的体积(ml)七、注意事项1)配制前,所用容器、工具必须洁净干燥,每次使用完毕,应立即清洗；工作桌面保持清洁、整齐；2)使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧,避光放于阴凉处；3)配制溶液,所需用水必须采用纯水,溶液配制完后用塑料勺加入槽中；4)溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋；5)配制酸液时,不能将水注入酸中,否则极易产生爆炸；酸、碱不慎沾到皮肤上,应立即用大量水冲洗；6)配制标准溶液的试剂均采用分析纯。生产用盐酸、硝酸、氢氧化钠采用化学纯；7)酚酞为碱指示剂,用适量乙醇溶解；甲基橙为酸指示剂,用适量纯水溶解；8)每次开机前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.5~4.0小时需测试槽中酸、碱液的浓度。若浓度不足,需添加。当生产量大,应适当增加测试频率,以确保溶液浓度在要求范围内；11)碱液:每工作72小时（3天）或4000sht换一次槽液并清洗碱槽(具体视材料清洁度而定更换周期)；酸液:两槽酸每工作3个月换一次槽液并清洗酸槽；纯水、自来水每工作72小时（3天）换一次槽液并清洗水槽(具体视材料清洁度而定更换周期)；（注:不足规定时间,浓度不足可添加）12)一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中；13)纯水每次开机前及连续工作每3.5~4.0小时需测试：混床导电率≧1MΩ,纯水PH=6.5~7.0方可生产。八、换算方式例如：质量比浓度16％，摩尔浓度约为4.60mol/L（N）。文件编号XXX-WI-RD-038XX光电有限公司版本A修订日期2015-01-01适用车间丝印版次1修订部门工艺部作业指导书页数5/4机种ALL机台号ALL名称蚀刻生产工艺XX光电有限公司核准审核制定