光驱动

光驱动微驱动器简介光驱动的类型各类型光驱动的原理光驱动的优缺点微驱动器微驱动器是能够产生和执行动作的一类微机械部件或器件的总称。静电驱动压电驱动电磁驱动热驱动器光驱动等等光驱动的类型光电化学热力光力一、经过电的类型双晶片执行器在微机电系统的表面上安装光电转换元件（太阳能电池），将集成的微小光电转换元件以串联方式实现高电压化。双晶片执行器PLZT陶瓷(掺镧锆钛酸铅)光致伸缩效应光致伸缩效应压电效应：某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。光致伸缩效应二、经过化学能的类型：由光能改变有机分子的电子状态，使分子产生结构变化。偶氮苯在紫外线照射下会引起异构化，使分子长度由0.9nm缩短为0.55nm，当照射可见光时恢复为原来的长度。三、经过热的类型光热效应：光照射到物体上后,产生热,引起体积膨胀、折射率变化、压力变化等效应。原子力显微镜稀薄气体效应光马达光热胀效应微执行器尺蠖式光机器人稀薄气体效应光马达光热胀效应光马达光热驱动微型泵微型夹钳尺蠖式光机器人PZT四、直接转换成力的类型光动量p=h/λ,h—普朗克常数,λ—波长。光压：光经物质反射、折射时,便产生称为光压（光辐射压）的力作用于物质。光辐射压的大小约10-12N/mW。光压利用的发展过程1970年，贝尔实验室的A.Ashikin首次利用激光对微粒子捕获成功。光马达光马达光马达转速随激光功率线性地增加,辐射压取决于照射的光子数。光马达转速和功率关系光驱动的优缺点能够实现非接触操作无需轴承、电线配置优点：缺点：具有优异光伸缩性能的材料很少驱动力小，响应慢谢谢