电池加工扩散炉培训

扩散炉培训扩散炉的结构—四部分控制柜推舟净化台电阻加热炉气源柜排风气源柜炉体柜计算机控制柜推舟机构排废口净化操作台电源总进线进气气路结构三种气体：氮气（N2）氧气（O2）压缩空气系统控制原理加热控制原理进退舟控制原理气体流量控制原理主要性能指标温度控制范围：400～1100℃恒温区长度及精度：≤±1℃/800mm（801～1100℃）≤±1.5℃/800mm（400～800℃）单点温度稳定性：≤±1℃/24h爬升率:15℃/min(最大)下降率:5℃/min(最大)具有自动斜率升降温及恒温功能采用碳化硅桨悬臂自动送片机构，舟速50～500mm/min连续可调；净化工作台净化级别：100级（环境10000级）扩散软件系统主界面温度设定与监控流量设定与监控进退舟操作净化风机开关温度、流量曲线图功能菜单扩散软件系统主界面（新）温度设定与监控流量设定与监控压力检测进退舟操作净化风机开关温度、流量曲线图功能菜单数据编辑窗口编辑工艺号打开工艺号可存储99条工艺数据编辑窗口（新）编辑工艺号打开工艺号可存储99条工艺限定修改数据工艺运行界面显示工艺运时间和工艺剩余时间工艺运行中察看温度和流量值温度曲线实时监控工艺运行界面（新）显示工艺运时间和工艺剩余时间工艺运行中察看温度和流量值（百分比形式显示）温度曲线实时监控历史记录界面记录每条运行过的工艺数据察看相应的工艺曲线断点启动界面在中途退出或者因断电、死机等原情况下使用恒温区界面手动设置温度、流量、阀门和推舟等操作修改温控仪“Pb”值，调节恒温区用户管理界面可以添加用户删除用户修改密码切换用户界面低级别切换，需输入当前用户密码高级别直接输入用户密码切换报警窗口控制热偶短路或温控仪温度显示异常扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%超温断偶扩散小氮超压清洗小氮超压使用保养保持净化台面的清洁卫生。检查恒温水槽是否稳定在设定温度，有无报警。工艺运行前，检查石英挡板、石英门是否完好。定期清理废气室排出的偏磷酸（每月）。定期检查恒温水槽冷却水的水质，必要时更换（每月）。定期清理净化滤网，保证净化台的洁净度（每月）。保持气柜干净，检查各阀件、三通、四通等密封性。进退舟期间检查丝杠是否灵活，有异响。安全注意事项每次换源测试源瓶时，小氮流量一般设定300-500SLM。换源时，注意源瓶进出气口的方向。工艺运行完，应在净化风冷却5分钟在取下。编辑工艺时，进退舟期间应设定净化风机开。换源操作过程中必须穿戴防毒面具。