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1AUOProprietary&Confidential量测量测量测量测量测量测量测量测系统分析系统分析系统分析系统分析系统分析系统分析系统分析系统分析QS0S2Jun.2008AUOProprietary&ConfidentialMSAMSA2AUOProprietary&ConfidentialAUOProprietary&ConfidentialAgendaAgenda••MSAIntroductionMSAIntroduction••AccuracyAccuracy----StabilityStability----BiasBias----LinearityLinearity••PrecisionGR&RPrecisionGR&R––计计计计量型量型量型量型数数数数据据据据计计计计量型量型量型量型数数数数据据据据(Continuous)(Continuous)MSAMSA––计数计数计数计数型型型型数数数数据据据据计数计数计数计数型型型型数数数数据据据据(Discrete)(Discrete)MSAMSA••实作练习实作练习––计计计计量型量型量型量型计计计计量型量型量型量型••LinearityLinearity••GR&RGR&R––计数计数计数计数型型型型计数计数计数计数型型型型••KappaKappa3AUOProprietary&Confidential量具与量量具与量量具与量量具与量测测测测系系系系量具与量量具与量量具与量量具与量测测测测系系系系统统统统统统统统•量具(量测仪器):--用来获得量测结果的装置--Ex:OMS(cellgap),Elliposometer(filmthickness)•量测系统:--包括操作程序、作业环境、量具、样本、软件与人员等用以量测特性数据过程的组合--监控制程的眼睛量具量具量具量具软软软软件件件件程序程序程序程序方法方法方法方法人人人人员员员员环环环环境境境境被量被量被量被量测样测样测样测样本本本本量量量量测数测数测数测数据据据据MeasurementSystem4AUOProprietary&ConfidentialWhatWhatWhatWhatWhatWhatWhatWhat’’’’’’’’ssssssssMMMMMMMMeasurementeasurementeasurementeasurementeasurementeasurementeasurementeasurementSSSSSSSSystemystemystemystemystemystemystemystemAAAAAAAAnalysisnalysisnalysisnalysisnalysisnalysisnalysisnalysis想精确地看到制程的想精确地看到制程的想精确地看到制程的想精确地看到制程的变变变变化化化化,首先得有首先得有首先得有首先得有稳稳稳稳定及准确的量定及准确的量定及准确的量定及准确的量测测测测系系系系统统统统.利用量利用量利用量利用量测测测测系系系系统统统统分析分析分析分析,我我我我们们们们可以知道可以知道可以知道可以知道:任何任何任何任何时时时时候候候候进进进进行行行行产产产产品的品的品的品的数数数数据量据量据量据量测测测测,,,,都都都都会会会会有有有有变变变变异的存在异的存在异的存在异的存在,,,,其其其其来来来来源可概分源可概分源可概分源可概分为两为两为两为两部份部份部份部份：：：：a.产产产产品本身之品本身之品本身之品本身之间间间间的差异的差异的差异的差异(ParttoPartVariation)利用利用利用利用SPC分析及分析及分析及分析及监监监监控控控控b.量量量量测测测测系系系系统统统统的不的不的不的不尽尽尽尽完美完美完美完美1.观观观观察到的察到的察到的察到的变变变变异中异中异中异中,有多少比例是有多少比例是有多少比例是有多少比例是来来来来自量自量自量自量测测测测系系系系统统统统2.量量量量测测测测系系系系统统统统的的的的变变变变异是异是异是异是来来来来自何自何自何自何处处处处(量具量具量具量具?人人人人员员员员??)进进进进而降低量而降低量而降低量而降低量测测测测系系系系统统统统的的的的变变变变异异异异,,,,提升量提升量提升量提升量测结测结测结测结果的有效性果的有效性果的有效性果的有效性5AUOProprietary&ConfidentialWhyWeneedMSA?WhyWeneedMSA?•确定所确定所确定所确定所观观观观察到的察到的察到的察到的变变变变异异异异为来为来为来为来自自自自““““真真真**实实实””””的制程的制程的制程的制程变变变变异异异异,而非量而非量而非量而非量测测测测系系系系统统统统.•一一一一个个个个不合格的量不合格的量不合格的量不合格的量测测测测系系系系统统统统不能不能不能不能帮帮帮帮我我我我们们们们有效的有效的有效的有效的监监监监控制程控制程控制程控制程管制管制管制管制图图图图中的中的中的中的特殊特殊特殊特殊原因可能被量原因可能被量原因可能被量原因可能被量测测测测系系系系统统统统的的的的变变变变异所异所异所异所隐盖隐盖隐盖隐盖或凸或凸或凸或凸显显显显•建立流程中投入建立流程中投入建立流程中投入建立流程中投入X与与与与产产产产出出出出Y的有效的有效的有效的有效关连关连关连关连性性性性Ifyoucannotmeasure,youcannotimprove!Ifyoucannotmeasure,youcannotimprove!6AUOProprietary&Confidential量量量量测变测变测变测变异异异异量量量量测变测变测变测变异异异异观观观观察到的察到的察到的察到的制程制程制程制程变变变变异异异异观观观观察到的察到的察到的察到的制程制程制程制程变变变变异异异异实际实际实际实际的的的的制程制程制程制程变变变变异异异异实际实际实际实际的的的的制程制程制程制程变变变变异异异异变变变变异异异异来来来来源剖析源剖析源剖析源剖析变变变变异异异异来来来来源剖析源剖析源剖析源剖析长长长长期的期的期的期的制程制程制程制程变变变变异异异异长长长长期的期的期的期的制程制程制程制程变变变变异异异异短期的短期的短期的短期的制程制程制程制程变变变变异异异异短期的短期的短期的短期的制程制程制程制程变变变变异异异异PartsPartsPartsParts间间间间的的的的变变变变异异异异PartsPartsPartsParts间间间间的的的的变变变变异异异异PartsPartsPartsParts间间间间的的的的变变变变异异异异PartsPartsPartsParts间间间间的的的的变变变变异异异异量具的量具的量具的量具的变变变变异异异异量具的量具的量具的量具的变变变变异异异异操作操作操作操作员员员员的的的的变变变变异异异异操作操作操作操作员员员员的的的的变变变变异异异异量量量量测变测变测变测变异异异异量量量量测变测变测变测变异异异异量具的量具的量具的量具的变变变变异异异异量具的量具的量具的量具的变变变变异异异异操作操作操作操作员员员员的的的的变变变变异异异异操作操作操作操作员员员员的的的的变变变变异异异异Parts间间间间的的的的变变变变异异异异Parts间间间间的的的的变变变变异异异异Equipmentvariation(EV)Appraiservariation(AV)MeasurementSystemσTotal2=σP2+σM2σM2=σAV2+σEV2σP27AUOProprietary&ConfidentialNotAccuracyorPreciseAccuratebutnotprecisePrecisebutnotAccurateAccurateandprecise准确度准确度准确度准确度(Accuracy):量量量量测测测测之平均值之平均值之平均值之平均值样样样样本真值本真值本真值本真值(标标标标准值准值准值准值)的差异程度的差异程度的差异程度的差异程度------稳稳稳稳定性定性定性定性(Stability),偏性偏性偏性偏性(Bias),线线线线性性性性(Linearity)精确度精确度精确度精确度(Precision):以同一量以同一量以同一量以同一量测测测测方法量方法量方法量方法量测测测测多次所得多次所得多次所得多次所得数数数数据彼此接近程度据彼此接近程度据彼此接近程度据彼此接近程度------重复重复重复重复性性性性(Repeatability),再再再再现现现现性性性性(Reproducibility)AccuracyandPrecisionAccuracyandPrecision8AUOProprietary&Confidential资资资资料种料种料种料种类类类类计数计数计数计数型型型型Category(attribute)计计计计量型量型量型量型Variable(continuous)NominalOrdinal•偏性偏性偏性偏性•稳稳稳稳定性定性定性定性•线线线线性性性性•GageR&R(重复重复重复重复性与再性与再性与再性与再现现现现性性性性)•Xbar-R•ANOVAKAPPAICC量量量量测资测资测资测资料值料值料值料值类类类类型型型型量量量量测资测资测资测资料值料值料值料值类类类类型型型型计数计数计数计数值值值值计数计数计数计数值值值值////////间断型间断型间断型间断型间断型间断型间断型间断型•眼睛的颜色:蓝色,绿色,棕色,…等.•社会经济状况:高,中,低;•种类:好/坏,•机台1/机台2计计计计量值量值量值量值计计计计量值量值量值量值////////连续连续连续连续型型型型连续连续连续连续型型型型•时间:2.000,2.1,2.119秒•压力:45,45.8,49.234Pa•循环时间:8,14,32天9AUOProprietary&Confidential常常常常见见见见的分析指的分析指的分析指的分析指标标标标：：：：常常常常见见见见的分析指的分析指的分析指的分析指标标标标：：：：针对量测系统的重复性与再现性进行分析GR&R（ndc）计量型针对资料分类有等级顺序性的量测系统的重复性与再现性进行分析ICC针对资料分类可等同对待的量测系统的重复性与再现性进行分析Kappa计数型针对不同尺寸的研究线性Linearity研究观测值和可接受基准值之间一致的接近程度偏性Bias针对量测系统，做SPC，持续监控稳定性Stability注注注注：：：：对对对对不同的不同的不同的不同的测测测测量系量系量系量系统统统统可能需要不同的分析指可能需要不同的分析指可能需要不同的分析指可能需要不同的分析指标标标标10AUOProprietary&ConfidentialAUOProprietary&ConfidentialAccuracyAccuracy----StabilityStability----Bias/AccuracyBias/Accuracy----LinearityLinearity11AUOProprietary&Confidential解析度解析度解析度解析度评评评评估估估估解析度解析度解析度解析度评评评评估估估估一般而言一般而言一般而言一般而言,,,,测测测测量量量量仪仪仪仪器的量器的量器的量器的量测测测测精度精度精度精度应应应应高高高高于于于于规规规规格格格格公差和公差和公差和公差和过过过过程程程程变变变变异异异异两两两两者中精度者中精度者中精度者中精度较较较较高者高者高者高者的的的的十分之一十分之一十分之一十分之一....半間格312456780mm9101101cm5.3or5.4??5.37mm全間隔56AB半間格半間格312456780mm9101101cm312456780mm9101101cm5.3or5.4??5.37mm全間隔56全間隔56ABSpec.5.3±0.3mm解析度的要求解析度的要求解析度的要求解析度的要求::::量具最小刻度量具最小刻度