测量系统分析控制程序

×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第1页；共7页程序名称：测量系统分析控制程序文件编号：MSA-01001版本：A生效日期：2002-10-04版本更改内容生效日期A初版发行2002/10/04编写人：日期：（副管理者代表）审批人：日期：（厂长）受控文件印章如此印章并非红色受控文件，代表此文件不会受到控制及更新，请使用受控制之文件×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第2页；共7页1．0目的1．1了解测量器具量测的性能，是否能满足测量要求。1．2对新进或维修后的量测设备，能提供一个客观正确的变异分析及评价量测质量。1．3应用统计方法来分析测量系统之再现性及重复性，作为下列各项事项之参考：1．3．1试验设备是否需要校验；1．3．2是否可供使用；1．3．3是否有人为因素造成之失准；1．3．4是否需要修正校验的周期及频率。2．0适用范围2．1适用于公司车载产品量测设备及量具的统计变差分析。3．0定义3．1测量仪器：任一用来量测产品特性之仪器皆称为测量仪器。3．2测量系统：用来对被测特性赋值的操作、程序、量具、设备、软件以及操作人员的集合。3．3测量系统分析：应用统计方法，基于实际之制程选择适当之作业人数，样本数及重复测试次数，以研究分析主要变差原因。3．4再现性：测量一个零件的某特性时，不同评价人用同一量具测量平均值变差。3．5重复性：测量一个零件的某特性时，一位评价人用同一量具多次测量的变差。4．0职责4．1计量室：负责制定并实施测量仪器校验计划。4．2各使用部门负责使用仪器之变差分析（主要指重复性、再现性）及送校。4．3设备维修部负责测量设备（不包括工具）之维护保养；各使用部门负责测量工具之维护保养。5．0内容4．1测量系统分析实施流程图常用量具测量系统分析周期（参考控制计划）：量具卡尺电阻表卷尺投影仪螺旋测微仪其它量具周期3个月3个月3个月6个月6个月6个月5.2计量型测量系统分析5.2.1量测仪器、量测物及人员选择测量是否随机赋值？测量是否可重复？是否计量型测量仪器?超过本程序的范围见其他参考文件否否是计数型量具研究(小样法)适用的分析时间(长期)图表分析均值和极差分析法是否否否是×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第3页；共7页5.2.1.1对用于测量产品的量具之精度,必须高于被测物公差的1/10，报告采用附录中MSA-01001-03B；对用于测量过程变差的量具之精度，必须高于过程变差的1/10。报告采用附录中MSA-01001-04B。5.2.1.2测量仪器必须校验合格,并贴有“计量合格”标识。5.2.1.3随机选取几个有资格使用测量仪器的操作员,评估测量器具。5.2.1.4被测物(半成品)在生产线上定期随机抽取(要求同一型号)。5.2.2重复性和再现性计算5.2.2.1对车载产品(参考控制计划)的测量仪器(包括新购入仪器)必须进行测量系统分析。5.2.2.2将作业者分为A、B、C三者,在生产中抽取零件(产品或半成品)10个,并对零件编号,但作业者无法看到零件号码。5.2.2.3再现性量测:使作业者A\B\C分开,使他们不能互相看到,依随机顺序抽取10个零件,分别进行量测,由观测者将量测数据分别记录在《计量型量具重复性和再现性数据表》中。5.2.2.4重复性量测:重复以上循环,仍然要随机地抽取零件.,并由观测者将量测数据分别记录在《量具重复性和再现性数据表》中。5.2.2.5计算:测量器具再现性及重复性计算依《计量型量具重复性和再现性数据表》及《计量型量具重复性和再现性报告》内规定的公式计算。5.2.3结果分析5.2.3.1如重复性(EV)变异值大于再现性(AV)时,说明测量仪器的变差大于评价人的变差:(1),需改良或增强测量仪器之结构设计；(2),测量仪器之夹具及零件定位方式需加以改善；(3),测量仪器需加以维护、保养。5.2.3.2如再现性(AV)变异值大于重复性(EV)时,说明评价人的变差大于测量仪器的变差:(1),作业者对测量仪器的操作方法及数据读取方式需加强,或修订作业指导书,使其有关的操作要点更详细；(2),测量仪具的校验不完善及仪器读表刻度标示不准确；(3),可能需要夹具协助操作,使测量的数据更具有一致性；5.2.3.3适用性评价(1)GR&R在10%以下可接受。(2)GR&R在10%～30%表示测量系统视情况决定是否接受(依其应用的重要性,量具成本,维修的费用等决定是否可接受)。(3)GR&R超过30%表示测量仪器系统需加以改进,并通知客户协调处理对策,包括产品是否再加工或重新再测试。5.3计数型测量系统分析(小样法)5.3.1将量测者分为A、B二者，应选择原使用测量仪器的操作者。5.3.2零件(产品或半成品)20个,20个零件中应有适量的不合格品。5.3.3将测量A\B二者分开,使他们不能互相看到,随机抽取20个产品或半成品进行测量,并记录结果(结果只有G或NG)在如下表中:计数型量具分析表A评价人B评价人121212┋1920GG┋NGNGGG┋NGNGGG┋NGNGGG┋NGNG5.3.4如果所有的测量结果(每个零件)一致则接受该量具,否则应改进或重新评价该量具。如果不能改进该量具，则不能被接受并且应找到一个可接受的替代测量系统。6.0记录管理6.1《计量型量具重复性和再现性数据表》、《计量型量具重复性和再现性报告》、《计数型量具分析表》×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第4页；共7页由量具使用人员填写记录，经各部门技术员、工程师审查，并由各品质部工程师审核后由品质部负责保存。（注：此表格只适用于手工计算用，若用MINTAB软件计算可保存软件计算格式，但需审批）6.2《计量型量具重复性和再现性数据表》保存二年《计量型量具重复性和再现性报告》保存二年《计数型量具分析表》保存二年7.0附录计数型量具分析表部门:量具名称:编号:评价人A：评价人B：执行/日期：审批/日期：评定结果：零件号A评价人B评价人12121234567891011121314151617181920MSA-01001-01A×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第5页；共7页计量型量具重复性和再现性数据表MSA-01001-02B评价人A：评价人B：评价人C：执行/日期：审批/日期：评价人/试验次数零件平均值123456789101．A1/2．2/3．3/4．均值aX=5．极差aR6．B1/7．2/8．3/9．均值bX=10．极差bR=11．C1/12．2/13．3/14．均值cX=15．极差cR16．零件均值（pX）RpX17．[aR]+[bR=]+[cR]/[#评价人数量=]=R18．[Max),,(cbaX=]－[Min),,(cbaX=]=DIFFX19．[R]×[D4*=]=UCLR20．[R]×[D3*=]=LCLR*二次试验时D4=3.27,三次试验时D4=2.58。七次试验以内D3=0，UCLR代表单个R的极限。圈出那些超出极限的值。查明原因并纠正。同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均并计算R和极限值。×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第6页；共7页计量型量具重复性和再现性报告（用于测量产品的量具）零件编号和名称：量具名称：日期：特性：量具编号：执行：尺寸规格：量具类型：审批：跟据数据表：RDIFFXRp=评定结果：测量设备分析相对公差百分比重复性—设备变差（EV）EV=R×K1=×=%EV=100[LSLUSLEV]=100[/]=%试验次数K1234.563.05再现性—评价人变差（EV）AV=)/()[(222nrEVKXDIFF=/22=n=零件数量r=试验次数%AV=100[LSLUSLAV]=100[/]=%评价人数量23K23.652.70重复性和再现性(R&R)R&R=22AVEV=22=GR&R=100[LSLUSLRR&]=100[/]=%零件数量K3零件变差(PV)PV=Rp×K3=×=23456789103.652.702.302.081.931.821.741.671.62总变差(TV)TV=22PVR&R=22=%PV=100[LSLUSLPV]=100[/]=%所有计算都基于预期5.15σ(在正态分态曲线之下99.0%的面积)K1为5.15/d2,d2取决于试验次数(m)和零件数与评价人数的乘积(g),并假设该值大于15。d2数量来自表2。AV—如果计算中根号下出现负值，评价人变差缺省为0。K2为5.15d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。K2为5.15d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。MSA-01001-03B×××半导体有限公司文件编号：MSA-01001版本：A第7页；共7页计量型量具重复性和再现性报告（用于测量过程变差的量具）零件编号和名称：量具名称：日期：特性：量具编号：执行：尺寸规格：量具类型：审批：跟据数据表：RDIFFXRp=评定结果：测量设备分析相对过程变差百分比重复性—设备变差（EV）EV=R×K1=×=%EV=100[LCLUCLEV]=100[/]=%试验次数K1234.563.05再现性—评价人变差（EV）AV=)/()[(222nrEVKXDIFF=/22=n=零件数量r=试验次数%AV=100[LCLUCLAV]=100[/]=%评价人数量23K23.652.70重复性和再现性(R&R)R&R=22AVEV=22=GR&R=100[LCLUCLRR&]=100[/]=%零件数量K3零件变差(PV)PV=Rp×K3=×=23456789103.652.702.302.081.931.821.741.671.62总变差(TV)TV=22PVR&R=22=%PV=100[LCLUCLPV]=100[/]=%所有计算都基于预期5.15σ(在正态分态曲线之下99.0%的面积)K1为5.15/d2,d2取决于试验次数(m)和零件数与评价人数的乘积(g),并假设该值大于15。d2数量来自表2。AV—如果计算中根号下出现负值，评价人变差缺省为0。K2为5.15d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。K2为5.15d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。UCL、LCL为当月或上月的上、下控制限。MSA-01001-04B