ITO

ITO技术解析说明报告日期：2013/03/14版本：1.0Contents四.工艺流程三.基本性能一.ITO薄膜概述二.主要性能参数五.主要应用一.ITO薄膜概述ITO是一种无色透明物质，具有良好的导电性，耐碱且易被酸刻蚀。普遍应用于LCD、TP、CF、OLED、TFT等产品。普通ITO玻璃由三部分构成：ITO层，SiO2层，玻璃基板。ITO层SIO2层玻璃基板LCD用ITO玻璃掺锡氧化铟（IndiumTinOxide），一般简称为ITO。在薄膜状时，为透明无色。在块状态时，它呈黄偏灰色。ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、可见光透过率、机械硬度和化学稳定性。是液晶显示器（LCD）、等离子显示（PDP）、触摸屏（TouchPanel）、太阳能电池及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料。二.主要性能参数透过率：即反射光亮与入射光亮的比值，在可见光区域一般要求80%，掺Sn的ITO膜透过率可达90%电阻率：一般在5*10－4最好的可达5*10－5透过率和阻值分别由In2O3和Sn2O3之比例控制，Sn2O3:In2O3=1:96透光特性•ITO薄膜的可见光可穿透能隙宽度约为3.5-4.3eV，可见光波长范围对应的能量为1.7-3.1eV，不足以让电子在能带间躍迁而产生光的吸收，故在可见光的范围內有很高的穿透度。GlassPETITOfilmTiO2filmITO厚膜产品颜色示意图颜色：淡黄色黄色浅红色红色紫红色紫色兰紫色蓝色青色绿色黄色紫蓝色红紫色膜厚（A）：900110012501300140015001650185020002200250030003500面电阻（ohm):20171512109.5987.57654.5透光率（%）：80828687888887858078828583面电阻透光率膜厚(A)膜厚/电阻/透光率对应关系图透光率面电阻(ohm/口)90015002200300028004.591002500导电特性•ITO薄膜的导电性–属于N型半导体，导电机制有兩种，一种杂质掺杂机制，另一种则为氧空位机制。–由于Sn4+取代In3+，提供额外的电子。–氧空缺提供两个额外的电子。(O2→2Vo¨+2e-)d为膜厚，I为电流，L1、L2为膜层长度，ρ为导电膜的体电阻率。通常ρ和d为定值。当L1=L2时为正方形。无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/d，这就是方块电阻的定义，即：R□=ρ/dL2L1dI体电阻（线电阻）R=ρ×L1/(d×L2)ITO玻璃的电阻率计算ITO层面电阻/膜厚/透过率产品型号ITO膜厚透过率(T%)面电阻(Ω/口)膜层反射色酸刻时间—150180A±30A≥88%100—150/≤30秒—100220A±30A≥87%70—90/≤30秒—80250A±50A≥87%60—80/≤40秒—60300A±50A≥85%40—60/≤60秒—50350A±50A≥84%37—50/≤60秒—45400A±50A≥83%35—45/≤60秒—40450A±50A≥82%30—40/≤60秒—30700A±75A≥81%20—30/≤80秒—25750A±100A≥81%20—25白色≤100秒—20800A±100A≥81%15—20亮白色≤100秒—171000A±100A≥82%12—16黄色≤120秒—151150A±100A≥83%11—15深黄色≤120秒—101800A±100A≥87%7—10蓝色≤200秒—72000A±150A≥82%6—7青绿色≤250秒—52800A±200A≥85%4—5紫色≤300秒ITO膜厚度对透光率及电阻的影响：在d70nm时，一般膜的厚度越厚，透过率和电阻率越小。ITO质量对LCD质量的影响1.玻璃表面划伤、针孔电极开路2.产品表面存在难以洗净的污迹光刻胶涂不匀，电极开路3.面电阻过大施加于液晶层的有效电压降低4.膜厚不匀酸刻控制难度变大5.玻璃平整度不良出现彩虹ITO质量LCD质量6.没镀SiO2膜字肥、扩散、鬼影7.玻璃垂直度不良柯式印刷PI、丝印与合盒对位困难2-9切磨大原片进料NG报告供应商处理进料检验切割OKOKNG调整切割尺寸调整磨边倒角尺寸磨边倒角OKNG过程检验成品抽检OKNG报废NG入库OK工艺抽检工艺抽检抛光报废领料NG表观检验抛光OKNGNG入库OK成品抽检平整度检验OK工艺抽检镀膜卸片OK入库OKNG包装OKNG过程检验OK镀膜清洗复检插框NG报废装架装片NG清洗抽检成品抽检调整工艺OKNG工艺抽检报废领料四.工艺流程ITO玻璃区域划分ITO玻璃侧ITO刻蚀玻璃上印刷SpacerA）电阻触摸屏ITO玻璃面的处理印刷玻璃面Ag线玻璃印刷绝缘胶ins-1玻璃印刷绝缘胶ins-3B）电阻触摸屏ITOFilm面的处理ITOFilm侧ITO刻蚀印刷ITOFilm侧Ag线C）电阻触摸玻璃与Film贴合ITO图形形状原则：图形之间的相互连线避免过长，连线太长，扫描电阻大，扫描时间长；通常菱形是最常见的图形形状。菱形ITO图形的具体要求ITO图形与外围金属线的连接五.主要应用用于平面显示用于交通工具风挡用于太阳能方面用于微波屏蔽和防护镜Thanks!