晶圆厂机台二次配系统简介

Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台二次配电系统简介(制作人:朱红军)目录一.晶圆厂机台图片欣赏二.晶圆厂机台一般分区规划三.晶圆厂机台一般编号命名规则四.晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置五.晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性六.晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图七.晶圆厂机台二次配电一般规则八.晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划九.晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项十.晶圆厂对应机台送电操作流程十一.晶圆厂送电相关注意事项十二.晶圆厂机台电力系统日常维护保养十三.问题与讨论Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一．晶圆厂机台图片欣赏1.etch-蚀刻区(简称E);Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一．晶圆厂机台图片欣赏2.clean&cmp–水槽区(简称C&C);备注:C&C是cleanandcmp,一般会叫该部门为水槽其实,C&C不只是水槽,它包括:backside\wet\cmp.wet只是一部分,但是也是主要部分Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一．晶圆厂机台图片欣赏3.diffusion-扩散区或者称炉管区(简称D);Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一．晶圆厂机台图片欣赏4.thinfilm-薄膜区(简称T);Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一．晶圆厂机台图片欣赏5.其他实验、量测机台及自动存储仓库STK.Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介二．晶圆厂机台一般分区规划1.说明:制程段机台共分6个区,分别为EC&CPDC&CTB区A区E-蚀刻区C&C-水槽区P-黄光区D-扩散区C&C-水槽区T-薄膜区Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介三．晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOLID)1234567EA02-211.目的:用来辨识机台所处的区域及位置2.规则:七位字母和数字编码(内容说明如下)1-表示机台所属部门(P:photo-黄光区,E:etch-蚀刻区,T:thinfilm-薄膜区,D:diffusion-扩散区,C:C&C-洗净区)2-表示FAB区域(AorB)3~4-表示工作Bay(01~16)5-表示连接符(-)6~7-表示序列号(01~99)Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介1234567EA02-213.范例如下:三．晶圆厂机台编号命名规则(TOOLID)Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介FABAEQID中的SerialNo以每条BAY机台排列的逆时针方向增加(From01-99)3.范例如下:三．晶圆厂机台编号命名规则(TOOLID)Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介FABBEQID中的SerialNo以每条BAY机台排列的顺时针方向增加(From01-99)3.范例如下:三．晶圆厂机台编号命名规则(TOOLID)Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介1.机台内置开关(无电盘);四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置备注:除了E-蚀刻区和T-薄膜区部分机台自带电盘外,全区机台基本上为内置开关,位置大多分布于FAB层(3F)配电接点配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置2.机台自带电盘(ACBOX);备注:自带电盘的机台,大致分布在E-蚀刻区和T-薄膜区,位置基本分布在SUB-FAB层(1F和2F).配电接点配电接点配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置3.附属抽气马达(PUMP);备注:机台附属之PUMP,大致分布在E-蚀刻区、D-扩散区和T-薄膜区,位置基本分布在SUB-FAB层(1F和2F,且1F居多).配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置4.附属气体处理器(SCRUBBER);备注:机台附属之SCRUBBER,大致分布在E-蚀刻区、D-扩散区和T-薄膜区,位置基本分布在SUB-FAB层(1F和2F).配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置5.附属二氧化碳自动灭火器(CO2盘柜);备注:机台附属之CO2盘柜,大致分布在C-水槽区,位置布置于FAB层(3F).配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置6.附属加热控制器等.备注:机台附属之加热控制器,大致分布在C-水槽区,位置布置于FAB层(3F)和SUB-FAB(2F).配电接点配电接点Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性1.母线槽及插接箱(插接箱有自锁和安装方便之功能,其盖板在插接箱已经送电后将无法打开);插接箱母线槽插接箱内部Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性2.插接式电盘(内设母线槽便于安装插接式开关);插接式电盘盘内布置Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性3.插接式断路器(方便安装和拆卸);插接式断路器Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性4.电缆及桥架.电缆桥架Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介六．晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图插接箱(PLUGIN)电盘(I-LINEPanel)机台电源接点设备Equipment红色尖头内部为机台二次配电工作范围现场开关箱或内置开关母线(BUSWAY)1.机台二次配电工作范围Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介六．晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图母线槽(BUSWAY)母线槽系统(BUSWAY)经插接式电盘(ILINEPANEL)将电源于不停电状态下分别接至各个设备母线槽系统(BUSWAY)经插接箱(PLUG-UNIT)将电源于不停电状态下引接至各个设备母线槽(BUSWAY)授电端:额定电流2000A变电室备注:一般规定负载需求电流在100A以下(包括100A)的机台配电,来源于电盘;负载需求电流在100A以上(不包括100A)的机台配电,直接来源于插接箱.2.机台二次配电常用架构图Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介七．晶圆厂机台二次配电一般规则1.晶圆厂机台二次配电系统分类(1).一般市电(NORMAL)配电系统需求机台如下：Ａ.一般机台所用的主电源(如E-蚀刻区主电;C-水槽区主电;P-黄光区主电;D-扩散区或炉管区主电)Ｂ.实验机台所用的电源(如E-蚀刻区;C-水槽区;P-黄光区;D-扩散区或炉管区;T-薄膜区)(2).不间断电源(UPS)配电系统需求机台如下：Ａ.一般机台所用的控制电源(如E-蚀刻区控制电;C-水槽区控制电及CO2控制柜电;P-黄光区控制电;D-扩散区或炉管区控制电;T-薄膜区控制电)Ｂ.特殊机台所用的主电及控制电源(如T-薄膜区主电及控制电)备注:一般对于生产机台来说,E电(应急电)只当N电(一般市电)使用.Confidential,unpublishedprope