XPS数据处理及分峰图解

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X射线光电子能谱数据处理及分峰步骤中国科学院化学研究所刘芬2005.10.21Region120045301248102550XPSAlK-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051一、在Origin中作图步骤:1、打开文件,可以看到一列数据,找到相应元素(如N1s)对应的Region(一个Region对应一张谱图),一个文件有多个Region。2、继续向下找到KineticEnergy,其下面一个数据为动能起始值,即谱图左侧第一个数据。用公式BE始=1486.6-KE始-换算成结合能起始值,是一个常数值,即荷电位移,每个样品有一个值在邮件正文中给出。N1sN1s-1KineticEnergyeV1072.60.051Countspulsecounting0.16000004012202.524127.082458.362559.722523.562553.482509.83、再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1,每张谱图间有可能不一样。4、继续向下,可以找到401或801这样的数,该数为通道数,即有401或801个数据点。5、再下面的数据开始两个数据是脉冲,把它们舍去,接下来的401或801个数据都是Y轴数据,将它们copy到B(Y)。6、X轴:点A(X),再点右键,然后点setcolumnvalues,出现一个对话框,在from中填1,在to中填401(通道数),在col(A)中填BE始-0.05*(i-1),或直接填1486.6-KE始--0.05*(i-1),最后点doit。7、此时即可以作出N1s谱图。8、画出来的图有可能有一些尖峰,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Data-MoveDataPoints,然后按键盘上的或箭头去除脉冲。二、分峰步骤1、将所拷贝数据转换成TXT格式:把所需拟合元素的数据引入Origin后,将columnA和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据,需在Origin中做好处理。2、打开XPSPeak,引入数据:点Data----Import(ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。3、选择本底:点Background,因软件问题,HighBE和LowBE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley类型。4、加峰:点Addpeak,出现小框,在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Deletepeak可去掉此峰。然后再点Addpeak选第二个峰,如此重复。5、拟合:选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimiseregion进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可以多次点Optimiseregion。6、参数查看:拟合完成后,分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意,可改变这些峰的参数,然后再点Optimise。7、点SaveXPS存图,下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。8、数据输出:点Data――Printwithpeakparameters可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。点Data――Exporttoclipboard,则将图和数据都复制到了剪贴板上,打开文档(如Word文档),点粘贴,就把图和数据粘贴过去了。点Data――Export(spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin中从多列数据栏打开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。将拟合好的数据重新引回到Origin:

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