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聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:1/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002A1.目的：為確保統計制程管制(SPC)系統能有效實施,預防重大品質異常之發生.2.範圍：本規範涵蓋製程自主檢驗,IPQC檢驗,化驗室等,如客戶另有要求,則依客戶要求執行之.3.權責：3.1工程人員訂定規格且製程穩定後由線上人員或IPQC負責相關管制圖資料之填寫及完成.3.2廠內化學藥液之管制由化驗室人員擔當4.參考文件：統計技術管理程序(1QQ02-005)5.定義：無6.作業流程：無7.作業內容：7.1管制圖別,實施站別,管制項目,規格值,參考管制值,檢驗工具,取樣方式及擔當：7.1.1管制站別：如附件所示。7.1.2取樣頻率:符合SPC以連續性取樣為原則(組內變異小，組間變異大)。7.2SPC作業管制及規範：7.2.1規格及管制上下限：各站規格,管制上下限如SPC管制圖、推移圖作業注意事項中所示.7.2.2各站作業規範：作業規範(取樣方式,數據取得,製圖方式)見各站SPC管制圖、推移圖作業注意事項所示.7.2.3異常處理：異常處理之反應對象,反應時效及處理方式見各站SPC管制圖、推移圖作業注意事項所示.7.2.4每月Cpk檢討重要度:若A級在1.67以下由製程主導專案改善若B級在1.33以下由製程主導專案改善7.2.5凡客戶有特殊要求時，按客戶要求執行。7.2.6管制圖之修正以每半年一次針對所有A級Cpk1.67&B級Cpk1.33之製程作修正.7.3月報整理：各站于每月1號前將X-RCHART、推移圖送回品保,以利Cpk計算及月報整理;Cpk計算公式如下:聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:2/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002AA.Ca製程準確度:用以衡量製程之實際平均值與規格中心值之一致性實際中心值-規格中心值a.Ca之計算公式=規格公差/2規格公差=T=規格上限-規格下限=USL-LSL規格中心值=(規格上限+規格下限)/2注意:單邊規格因沒有規格中心值故不能算Cab.等級判定:Ca值愈小,表示品質愈佳等級Ca值A│Ca│≦12.5%B12.5%│Ca│≦25%C25%│Ca│≦50%D50%│Ca│(若另k=1-│Ca│則k值越大越佳)B.Cp製程精密度:用以衡量製程之變異寬度與上下限範圍差異情形a.Cp之計算公式規格公差T雙邊規格==6個製程標準差6δ聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:3/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002A規格上限-實際中心值USL-μ上單邊規格==3個製程標準差3δ實際中心值-規格下限μ-LSL下單邊規格==3個製程標準差3δb.等級判定:Cp值愈大,表示品質愈佳等級Cp值A+1.67≦CpA1.33≦Cp1.67B1.00≦Cp1.33C0.67≦Cp1.00DCp0.67C.Cpk製程能力指標:綜合Ca及Cp值a.Cpk之計算公式日本式雙邊規格Cpk=(1-|Ca|)xCpUSL–實際中心實際中心-LSL美國式:CpU=CpL=3δ3δCpk=(CpU,CpL)之最小值聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:4/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002Ab.等級判定:Cpk值愈大,表示品質愈佳等級Cpk值A+1.67≦CpkA1.33≦Cpk1.67B1.00≦Cpk1.33C0.67≦Cpk1DCpk0.677.4管制圖之繪製及注意事項:7.4.1管制圖繪制時應畫上：A,管制上下限(UCL,LCL)，用虛線畫；B,實際中心線(CL)，用實線畫；C,資料點.7.4.2若有發現資料點超出管制界限時須用紅筆圈選標示,並註明處理方式;7.4.3管制圖若有任何點超出管制界限或出現特別圖樣時即判定異常,須馬上知會線上主管或SPC負責人員,若有重大異常應停機檢查;7.4.4若生產線有做生產條件變更如換液,忽然停電,停水,機器修理調整時,需於管制圖上標示;7.5管制圖正常與異常之基本判定標準:7.5.1任何一點在規格線以外均屬製程異常需進行異常處理;7.5.2若點之分布有以下之狀況則需作原因追蹤及必要之修正;A.任何一點落在管制線外,但仍在規格線內時,B.在中心點同一側連續三點之中有兩點出現在兩個標準差之外者,C.在中心點同一側連續五點之中有四個點出現在一個標準差之外者,D.有連續七點持續上昇或下降趨勢者,E.有連續八點出現在中心線之同一側者,F.連續十一點有十點落在中心線同一側者,G.連續十四點有十二點落在中心線同一側者,H.連續十七點有十四點落在中心線同一側者,I.連續二十點有十六點落在中心線同一側者,J.連續十四點呈鋸齒狀上下震盪.7.5.3有連續五點繼續上昇或下降者需注意以後的動態。聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:5/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002A7.5.4有連續六點繼續上昇或下降者必需開始調查原因。7.6管制圖之確認及異常處置:7.6.1線上人員每天依規定將資料畫記於管制圖上,當異常發生時通知線上主管及SPC負責人;7.6.2管制圖上的數據和資料點如有涂改須注明原因,測量單位、規格值、管制上下限中心限和抽樣方法如有涂改須注明責任人和修改日期.7.6.3當管制圖上出現異常點,應由品保SPC負責人用紅筆圈選,並發給該站《SPC異常解析改善表》，按SPC負責人要求時限回復至品保。8.附件:8.1附件一：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD1,化金Au層厚度8.2附件二：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD2,化金Ni層厚度8.3附件三：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD3,成型外型尺寸8.4附件四：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD4,成品清潔度8.5附件五：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD5,OSP微蝕量8.6附件六：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD6,OSP膜厚8.7附件七：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD7,內層線寬公差8.8附件八：SPC管制圖---推移圖作業注意事項,編號SPC-PD8,前處理微蝕液濃度8.9附件九：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD9,壓合後板厚公差8.10附件十：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD10,WeightGain8.11附件十一：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD11,EtchAmount8.12附件十二：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD12,孔壁粗糙度8.13附件十三：SPC管制圖---推移圖作業注意事項,編號SPC-PD13,背光8.14附件十四：SPC管制圖---作業注意事項,編號SPC-PD14,水平電鍍面銅平均R值8.15附件十五：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD15,水平電鍍盲孔孔銅厚度8.16附件十六：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD16,水平電鍍通孔(PTH)孔銅厚度8.17附件十七：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD17,DesmearEtchRate8.18附件十八：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD18,E-lessCuweightgain8.19附件十九：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD19,外層線寬公差8.20附件二十：SPC管制圖---推移圖作業注意事項,編號SPC-PD20,前處理微蝕量濃度8.21附件廿一：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD21,防焊厚度聯能科技(深圳)有限公司標準書(標準名稱)半成品SPC作業規範編號:1QQ23-009頁次:6/6撰寫者：陳泰宏第A版日期：2001.08.08修改者：賀鵬第J版日期：2003.8.251GQ53005-002A8.22附件廿二：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD22,成品板厚8.23附件廿三：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD23,油墨黏度8.24附件廿四：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD24,G/FAu層厚度8.25附件廿五：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD25,G/FNi層厚度8.26附件廿六：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD26,垂直電鍍微蝕量8.27附件廿七：半成品,成品X-RCHART、推移圖及Cpk評比表8.28附件廿八：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD27,微影外層蝕刻系數8.29附件廿九：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD28,垂直電鍍通孔(PTH)孔銅厚度8.30附件三十：SPC管制圖---X–RChart作業注意事項,編號SPC-PD29,垂直電鍍面銅厚度SPC管制圖---X–RChart作業注意事項附件一編號：SPC–PD1站別：化金管制項目:化金後金層厚度重要度：A規格上下限：1#(中磷)2~6u”2#(高磷)0.05~0.15um取頻率：1次/天數量：5PNL樣如何取樣：1.由線上專門人員於量產時隨機抽取化金後5PNL測量。方2.原則上應在每班下班前繪製完成。(若無板子則該日資料空白並註明)式數1.使用厚度儀量測取樣的5片Samples,每片量固定點之數據;據2.所取樣Samples的成品應為相同管制規格之板子;取3.取樣後各量測點須保持清潔以免干擾x-ray準確性而造成誤判;得製取得之數據在1小時內轉登錄於管制圖上,並繪X-RChart。圖名詞解釋:X=管制圖取得數據之總和除以組數(X=ΣXi/n)方R=管制圖最大數據值減去最小數據值(MAX-MIN)式反應對象：化金課長、製程工程師反應時效：1小時內處理方式：1.超出規格線以外時,由SPCTeam發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施,一週內提出矯正與常預防措施報告。繪圖單位收到報告後,須將異常原因登錄於管制圖上。反2.發出異常通知單時,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應3.超過管制線但未超過規格線不需開異常通知單,但責任單位須在24小時內查出原因並填寫《SPC異常解析改善表》,按SPC負責人要求時限回復至品保。1QQ23009-001JSPC管制圖---X–RChart作業注意事項附件二編號：SPC–PD2站別：化金管制項目:化金後鎳層厚度重要度：A規格上下限：1#(中磷)150~300u’’2#(高磷)3~6um取頻率：1次/天數量：5PNL樣如何取樣：1.由線上專門人員於量產時隨機抽取化金後5PNL測量。方2.原則上應在每班下班前繪製完成。(若無板子則該日資料空白並註明)式數1.使用厚度儀量測取樣的5片Samples,每片量固定點之數據。據2.所取樣Samples的成品應為相同管制規格之板子.取3.取樣後各量測點須保持清潔以