半导体工厂超纯水简报Mark22/Jul./2014总流程原水1.自来水由原水泵将水抽至CUB(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏,制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。运行参数:原水一般水量为195m³/h,最大水量为250m³/h,水压3bar。多介质过滤器(MMF/砂滤)1.原水加10%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。2.桶内装填石英砂和无烟煤。3.配有风机,定期反洗。用途:主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数:产水量最大为250m³/h,压力1.5bar,温度20-20℃。玻璃钢水箱(FRP水箱)1.过滤水回收至玻璃钢水箱。2.过滤水箱前有两组泵(每组两台),一组用于反清洗,一组用于给ACF活性炭过滤器供水。3.桶身直径5m,桶高5m。运行参数:出口压力为7bar,温度为20-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司活性炭过滤器(ACF/碳滤)1.三支,内部填充颗粒活性炭。2.此段过滤器分为正洗与反洗,正反洗水都回收至废水池,产水为过滤水。用途:再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数:产水量为200-260m³/h,出口压力为6bar,温度20-30℃。阴阳离子交换床1.ACF出水先经过CIX(阴离子桶)加HCl,后AIX(阴离子桶)加NaOH处理,CIX和AIX可以单独运行。用途:处理水中的阴阳离子。2.冲洗水进入过滤水箱,再生水进入废水池,出水为去离子水。运行参数:产水量为207m³/h,压力为3bar,温度为20-30℃。保安过滤器(SFL)1.去离子水加30%NaOH后进入保安过滤器。2.产水为去离子水。用途:微滤过滤器保护后端RO膜,不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。运行参数:280m³/h,出口压力2.6bar,温度21-30℃。反渗透过滤膜(RO膜)1.RO是前段水处理的核心。2.达标产水进入RO水箱,不达标产水进入过滤水箱,浓水进入废水池。3.产水为反渗透水。运行参数:产水水量为248m³/h,出水压力为2bar,温度为21-30℃;浓水水量为18m³/h,出水压力为2bar,温度为24-30℃。RO水箱1.水箱采用玻璃钢材质,并使用氮气密封。2.RO水箱有三组水泵输出,一组UV供水,一组阴阳离子交换床冲洗水,一组冷凝设备供水。运行参数:产水水量为185m³/h,出口为6bar,温度21-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司紫外线杀菌设备(UV装置)1.两组,一用一备,单组使用44跟紫外灯管。2.出水为反渗透产水。用途:杀灭水中的微生物,降低有机物含量。运行参数:产水水量为185m³/h,出水压力为5.5bar,操作温度26℃。初级混床(MBX混床)1.内装阴离子树脂和阳离子树脂。用途:全面去除水中的阴阳离子,电阻率由4mΩ/cm提升至17-18mΩ/cm。2.定期对混床进行再生,使用HCl和NaOH。3.再生水进入废水池,冲洗水进入过滤水箱,产水为纯水。运行参数:产水量为185m³/h,出口压力为4bar,温度23-30℃。脱气膜(MD)1.由两台真空泵和12支膜壳组成。2.水由上向下流出,气体由下向上抽出,主要气体为CO2和N2。3.出水为纯水进入纯水箱。运行参数:产水水量为180m³/h,出口水压为1.5bar,温度为21-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司纯水水箱1.玻璃钢材质,内衬PP,氮封。2.有一组泵输出,输出水为纯水。运行参数:产水水量为230m³/h,出口水压为8.5bar,温度为22-30℃。冷交换器1.纯水进入交换器,温度降低为5℃。2.出水为纯水,进入UV装置。运行参数:产水水量为230m³/h,出口水压为7.5bar。迈博瑞生物膜技术南通有限公司UV装置1.三组紫外线杀菌装置,每组44根灯管。2.出水为纯水进入增压泵。3.运行在恒温5℃环境中。用途:再次杀灭水中细菌,降低有机物含量。运行参数:产水量为230m³/h,出水水压7.5bar。抛光混床(MBP)1.树脂为一次性,使用完后不需要再生。2.出水为超纯水,进入超滤装置。用途:进一步降低水中的阴阳离子含量,提高电导率至18mΩ/cm以上。运行参数:产水量为190m³/h,出水水压为9bar,回纯水箱10m³/h,水压3bar。超滤(UF)1.分两组,抛光混床出水分两路,一路直接进入超滤,另一路通过热交换将水温提升至65-75℃再进入超滤。2.产水送至洁净室内的机台使用,浓水排至过滤水箱。用途:去除水中的非离子状态的细小颗粒物。运行参数:出口水压6bar,温度低温水22℃,高温水70℃。谢谢迈博瑞生物膜技术南通有限公司