应变式压力传感器及其应用电路设计

　　32　　　《计量与测试技术》2007年第34卷第12期StrainTypePressureSensorandDesignofItsApplicationCircuit李　艳　李新娥　裴东兴(,030051)　:。,。:;;1　,。,。,、、、、。2　-(),1,L,A(D),RR=ρLA(1),ρ。1　F(),,(1):dRR=dLL-dAA+dρρ(2)dLL=ε,dAA=2dDD。,,dDD=-μdLL(3)μ。,dρρ=(1+2μ)dLL+dρρ(4),dρρ=c·dVV(5),c(),dVV=dLL+dAA=(1-2μ)ε。(5)(4),ΔR=R,ΔRR=[(1+2μ)+c(1-2μ)]ε=Kε(6),k=(1+2μ)+c(1-2μ)。,。。3　。2,;、,;。2　4　,。,。,。。AB,;,ΔRε,ΔRt,3。R,　　李艳等:应变式压力传感器及其应用电路设计33　　　,RR+ΔRε+ΔRt。3　BC,R,,。2,ΔRtΔRt,。Uo=AΔRε+ΔRtR-ΔRtR=AΔRεR(7)A,。,,ΔRtR,。,,,,。,。,。,,,4。4　,UIN;R3,R4;Rg1;Rg2;Rw1,Rw2,Rw3;Rt1;Rt2;Uo。4,,3,:Rw1=Rw2=Rw3,Rw。Rg1=Rg2Rg,Rg1+Rw1=Rg2+Rw2。Rt2,R3R4=Rw1+Rg1Rw2+Rg2=1,,。5。,Rg1ΔRg1,ΔRg,,Rg2ΔRg2=-μΔRg,μ。5　,,,:,,。Rg1Rg1+ΔRg1,Rg2Rg2+ΔRg2=Rg-μΔRg,UO=UBD=Rw2+Rg2-μΔRg1Rw1+Rg1+ΔRg1+Rw2+Rg2-μΔRg1-R4R3+R4UIN(8)Rw1=Rw2=Rw,Rg1=Rg2=Rg,ΔRg1=ΔRg2,ΔRgRG=-4UOUIN(1+μ)+2UOUIN(μ-1)1+RwRg(9),ΔRg/Rg,ΔRgRg=K·ε,K。ε=1K·ΔRgRg=-4UOUINK·(1+μ)-2UOUIN(μ-1)·1+RwRg(10)(10),,。[1].[J].,2001.[2].[J].,2006.(36)　　36　　　《计量与测试技术》2007年第34卷第12期3,K1,R0,U=kε·E,K2,R0,U′=RR+R0×kε·E=RR+R0U,U′U,。4,K1,R0,U=kε·E,K2,R0,U′=U+R0R′+R0×U0,U′U,。3　,:(1),,,,,。(2),,。(3),。(4)、、,,。4　,,。[1]..:,1995.4.[2]..:,1994.4.[3]..:,2005.7.[4]..:,2007.7.[5]..:,2004.3.[6]..:,,。:。:61002110。,,(610021)。:2007-11-27(33)[3].[M].:,2004.[4],..:,2000.[5].[J].,2002.:,,。:。:030051。,,(030051)。:2007-08-24(34),,,,。,,,,。,,,(0.003mm),,,,。,,,。,,。,,。,,。:,,。:。:721002。:2007-07-30