液晶屏a、液晶屏的组成TFT—ThinFilmTransistor薄膜电晶体LCD—LiquidCrystalDisplay液晶显示器由于TFT-LCD具有体积小,重量轻,低辐射,低耗电量,全彩化等优点,因此在各类显示器材上得到了广泛的应用。TFTLCD的切面结果图偏光板液晶玻璃基板偏光板Blackmatrix玻璃基板TFT彩色滤光片ProtectivefilmCommonelectrode配向膜存储电容Displayelectrode灯管灯管反射板导光板Prismsheet扩散板spacer框胶偏光板各结构的功能背光板模组提供光源.上下偏光板:只允许与其方向一致的偏振光通过,可以将非偏极光变成偏极光。液晶:可以改变偏极光的方向,控制光线的通过与否。彩色滤光片:提供TFTLCD红,绿,蓝(光的三原色)的来源,只允许对应的光通过。ITO透明导电层:提供透明的导电通路。PhotoSpacer:提供一固定高度给彩色滤光片和TFT玻璃基板。作为灌入液晶时的空间及作为上下两层玻璃的支撑。偏光板的特性作用:将非偏极光(一般光线)过滤成偏极光。当非偏极光通过a方向的偏光片时,光线被过滤成与a方向平行的线性偏极光。上图:线性偏极光继续前进,通过第二片偏光片时,光线通过。下图:通过第二片时,光线被完全阻挡。将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果(1)当上下偏光片相互垂直时,若未施加电压,光线可通过。当施加电压时,光线被完全阻挡。将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果(2)液晶屏b、液晶驱动板的控制原理液晶屏b、液晶驱动板的控制原理液晶屏c、液晶屏的制程液晶屏c、液晶屏的制程液晶屏c、液晶屏的制程1.彩色滤光片C/F的制作过程2.TFT阵列的制程3.液晶单元的制程4.液晶屏组装的制程C/F简介彩色滤光片基本结构是由玻璃基板(GlassSubstrate),黑色矩阵(BlackMatrix),彩色层(ColorLayer),保护层(OverCoat),ITO导电膜组成。一般穿透式TFT用彩色光片结构如下图。GLASSSUBSTRATEBlackMatrixColorLayerOverCoatITOC/F的结构C/F制程C/F像素阵列马赛克式直条式三角形式四画素马赛克式::显示AV动态画面直条式:较常显示文字画面(NoteBook)。C/F缺陷•Particles•PatternDefects•Pinholes•Tokki•MixedColor•MuraITO透明导电层的作用PhotoSpacer简介1.彩色滤光片C/F的制作过程2.TFT阵列的制程3.液晶单元的制程4.液晶屏组装的制程TFT阵列保持電容TFT元件加入電壓液晶保持電容TFT元件加入電壓液晶TFT元件加入電壓液晶液晶因TFT组件的动作类似一个开关(Switch),液晶组件的作用类似一个电容,藉Switch的ON/OFF对电容储存的电压值进行更新/保持。SWON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上,在以外时间SWOFF,可防止信号从液晶电容泄漏。在必要时可将保持电容与液晶电容并联,以改善其保持特性。TFT阵列的等效电路TFT阵列的结构单元像素及其等效电路TFT阵列的生产过程TFT阵列的制作流程GateMetalSputterDepositonGateMetalPatterningUsing1stMASKDepositionofnta-Si/a-SVSiNx3-LayerUsingPECVDMethodPatterningofa-SilslandsUsing2ndMASKPixelITOSputerDepositionPixelITOPatterningUsing3rdMASK这是5次光刻形成TFT图形,采用底栅背沟道刻蚀的工艺。以玻璃为基板。第一次光刻形成栅线原料为Cr。第二次光刻形成“硅岛”——SiNx,a-Si,n+-a-Si层,第三次光刻形成ITO导电膜,第四次光刻形成源极漏极,材料为Cr,并进行n+切断,基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保护膜。TFT阵列的制作流程DataBusLineandS/DMetalSputteringDataBusLineandS/DPatterningUsing4thMASKEtch-Backofn+a-SiUsingS/DLayerasaMASKPassivationSiNxDepositionUsingPECVDPassivationSiNxAtchUsingRIETFT阵列的缺陷单元像素的大小APERTURERATIO=APERTURE/PIXELAREA*100%1.彩色滤光片C/F的制作过程2.TFT阵列的制程3.液晶单元的制程4.液晶屏组装的制程液晶单元的制程液晶单元制程(1)清洗PICoatingÅ淡黃色800~1200ÅAPR:AsahiPhotosensitiveResinPI制程原理将PI液滴在AniloxRoll上。DoctorRoll将AniloxRoll上的PI液整平。APR板上的圆型凸出物将AniloxRool凹槽内PI挤压出来并带走。将APR板上PI均匀转印到基板上,提供液晶配向层。PIRubbing(1)配向絨布•PI膜配向:基板和Roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.•Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路.•Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機,將路面刨出紋路.PIRubbing(2)液晶单元制程(2)SealPrinting(1)SealPrinting(2)SCREENMASKDISPENSER通常使用的两种方法:SpacerSpray制程:将间隙粒子均匀地分布在基板上,以作为TFT与CF间的支撑,使整个面板拥有均匀的间隙。Spacerspray(1)WETTYPEDRYTYPESpacerspray(2)湿式洒布StdSpacerQty:11025/mm2AttachmentAlignmentHotPressureGAP:4.85umHotPressSideelevation--(finishedCell2)液晶单元制程3Scribing&Breaking1STCUTTING2NDCUTTINGCuttingMethodCuttingProcess165432E.g.第1代面板E.g.第3.5代面板对设备的影响玻璃基板的尺寸变大直接音响电极图案形成设备。(Array)e.g.成膜设备:占地面积加大与确保膜厚均匀性等问题。e.g.湿式设备:更换效率与节省水等问题。切割尺寸增大直接影响面板组装设备。(CELL)e.g.液晶注入设备:处理时间过长等问题。次代交替快,产品生命周期短,厂商设备开发成本高。LCD面板世代资料来源:工研院经资中心ITIS计划书(2002/10)液晶的注入(1)将容器抽真空将装有LC的容器上升与PANEL的注入端接触,此时LC通过毛细现象上升。过一段时间后充入洁净的空气或氮气破真空至常压。通过真空差压的原理,LC经过一段时间后充满PANEL。液晶的注入(2)InjectionTypeDipMethod浸渍法:将PANEL注入口完全浸渍到LC中。利用真空差压与毛细力上升方式。TouchMethodDispenseMethodYarnMethod表面张力法:LC以表面张力布满LC皿,上升后与注入口接触。利用真空差压与毛细力上升方式。含浸法:将PANEL注入口与含LC的海绵或弹簧等接触供给LC。利用真空差压与毛细力上升方式。滴下法:由可微量供给LC的供给装置,将LC滴在注入口。利用注入的方式。NEW1013~1014ΩcmOPEN1012ΩcmINPROCESS1010ΩcmAFTERPROCESS109ΩcmPRODUCT108ΩcmAFTER1YEAR107ΩcmLCResistanceEndSeal目的:将灌好LC的PANEL封口。L.CL.CL.CL.CLCremoveUVAdhesiveUVAdhesiveLeakingEndSealProcessL.CUVLightCuringRPRUVlightP:MONOMER:INITIALERLIQUIDcuringPUVAdhesiveCuringProcessBeveling目的:将切裂后的玻璃毛边用磨轮磨出倒角,并去除外围的短路棒(ShortingBar)RemoveliquidcrystalSealLCDetergentDissolveCleaningPolarizerAttachment偏光片貼附上下偏光片滤光角度差90度PolarizerAttachProcessAutoClave加压,将PloarizerAttach时产生的气泡挤出来。CELLTest目的:用电性能测试的方式检测做完的PANEL,看是否有缺陷。方法:将DateLine的R线并连,G线并练,B线并练。PatterndottestShortFulldottestOpenFulldottestElectricDefectFulldottestCrossShortLine1.彩色滤光片C/F的制作过程2.TFT阵列的制程3.液晶单元的制程4.液晶屏组装的制程ModuleAssemblyProcess后段模组组装制程是将CELL制程后的玻璃与其它如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。TheAssemblyofLCDDrivingCircuitsDriverAttachmentAnisotropicConductiveFilm(ACF)AppliedbeforeBondingACFAfterDriverFlexCircuitBondingPackagingTechnologyforLCDDriver目前主要用TAB(TapeAutomatedBonding)和COG(ChipOnGlass)两种方式。前者在小尺寸应用较多,后者主要应用于大尺寸。COG&TABTCP:TapeCarrierPackageTheStructureoftheTCPUsedinTABTFTInChina研發費5%折舊費21%人事費3%管銷費9%材料費62%電路板&DriverIC27%BLU10%液晶材料&Others4%彩色濾光片15%偏光板3%玻璃基板3%TFT-LCDCostAnalysis