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真空系统介绍什么是真空？①真空絶対真空大気圧表圧力絶対圧力0kPa0KPa101.3KPa－101.3kPa100kPa(0.1MPa)201.3KPa－50kPa（例）圧縮空気真空吸附和气缸的作动原理基本上是一样的。即为利用压力差来进行作动的。什么是真空？②0.5ＭＰａ0.４ＭＰａ0ＭＰａ0.1ＭＰａ0ＭＰａ真空（-0.1ＭＰａ）-0.1MPa0MPa≪例：圧力差0.1MPa≫用途例芯片焊接芯片安装极小零部件的吸附搬送用途例汽车生产线包装线对于吸附操作必要的产品：①真空发生器系统对于吸附操作必要的产品：②真空泵系统真空、破坏组件特点真空真空→→破坏时间破坏时间：：13msec13msec无过度喷吹无过度喷吹（（工件的吹飞工件的吹飞）），工件很顺利脱落，工件很顺利脱落不需要调整真空不需要调整真空・・破坏的时机破坏的时机不需要破坏空气的不需要破坏空气的节流回路节流回路ONOFF大気圧-80kPa＜条件＞从单元到工件的距离：500mm配管内径：Φ2.513msec60msec以上无工件的吹飞无工件的吹飞过度喷吹一般回路单信号控制电气波形压力波形真空发生器是由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管、负压腔和接受管等组成。真空发生器的原理拉瓦尔喷管接受管负压腔動画圧力型喷管（S）流量型喷管（L）重视最高真空圧力用途：・高荷重工件的搬送・工件有一定泄漏量的场合比起流量型来说可以获得更高的真空压力重视吸入流量用途：・大口径真空吸盘等应答時间延迟的短縮・对于泄漏量多的工件真空发生器喷管的种类①真空发生器喷嘴的种类②多段喷嘴（ＺＭ:２段／ＺＬ:３段）通过不同特性真空发生器的串联组合，实现了即能满足对高真空压的要求，又能满足对大流量的要求。圧力形喷嘴流量形喷嘴真空发生器：排气特性和流量特性真空发生器：到达时间与真空度真空发生器：最大吸入流量Qmax的选定从吸着响应时间，推出真空发生器的尺寸或真空泵系统切换阀的尺寸。A、无泄漏Q真空发生器：最大吸入流量Qmax的选定B、有泄漏QLQmax=Q+3QL※泄漏量的计算Ⅰ）、计算法Ⅱ）、试验法真空发生器真空发生器：ZH真空发生器：ZU真空发生器：ZM真空发生器：ZMA真空发生器：ZL真空发生器：ZA真空过滤器压力开关吸着確認开关/ZSP1如果喷嘴直径在φ１以下的话、喷嘴本身就会成为阻抗，这样真空压力开关就有可能自动地变成ON。这种场合请使用吸附确认开关/ZSP1。喷嘴直径大喷嘴直径小相对于吸入流量来说流入的大气量较多，难达到需要的真空压力。相对于吸入流量来说流入的大气量较少，即使是没有工件的话也能达到需要的真空压力。吸着喷嘴吸着确认开关的芯片工件调压阀真空吸盘形状-标准型形状-扩展品真空吸盘形状-扩展品真空吸盘形状-扩展品真空吸盘直径的选定真空吸盘：求吸盘的理论吸吊力：材质用途NBR(黑色)纸壳、铁板、胶合板、其他一般工件硅橡胶(白色)半导体、模具成型品取出、薄工件、食品关联聚氨酯橡胶(茶色)纸壳、铁板、胶合板氟橡胶(带绿色标记的黑色)药品性的工件导电性NBR(带白色一点标记的黑色)半导体的一般工件（防止静电）导电性硅橡胶(带白色两点标记的黑色)半导体（防止静电）材质特性真空吸盘非接触吸盘この記載内容は、予告無に変更する場合がありますのであらかじめご了承下さい非接触吸盘的原理旋回流ワークＡｉｒ層由遠心力产生的真空部分■注意事项工件■因是非接触的，被抓件的边缘要有挡轨ＥＸ：①挡轨可固定于抓爪的安装孔处②挡轨可和装置治具一起固定■因式旋风构造，成对的使用会防止旋转⇒左・右回旋的同时使用可防止回旋可以实现不接触的搬送工件和工件接触ワーク因为为非接触因为为非接触⇒⇒不愿意被接触的不愿意被接触的ＦＰＤＦＰＤ玻璃玻璃基基板、太陽電池板、太陽電池、、基板等的基板等的搬搬送送ワーク空气層非接触吸盘的特長①吸盘ＳＭＣ非接触吸盘和工件接触空气層吸盘ＳＭＣ非接触吸盘变形封闭在吸盘内的真空压力必要以上的应力発生用几乎和工件同重量吊力来维持平衡实现最小限的吊力来搬送。非接触吸盘的特長②实现对易变形工件的极小量变形的搬送不产生对工件必要以上的应力不产生对工件必要以上的应力⇒⇒忌避变形的忌避变形的極薄極薄基板等的基板等的搬搬送送ＳＭＣ非接触吸盘吸盘非接触吸盘的特長③对有孔工件的搬送对于多孔的工件达不到需要的真空压力、不能吊起工件和工件相同的重力的吊力取得平衡，以最小的力来搬送。对工件不产生必要以上的应力对工件不产生必要以上的应力⇒⇒ＰＣＢＰＣＢ、、衣服衣服等的等的搬搬送送非接触抓爪和竞争对手比较Φ６０（XT661-6A）竞争对手抓起力12Ｎ供给压力0.19MPa0.29MPa消耗空气65L/min95L/min消费空气量的比较ConfidentialConfidential非接触チャックXT661-4A(サイズφ４０)ワークとの間隙と吊上げ力02468101214161800.10.20.30.40.50.60.70.80.91吸着面とワークとの隙間H【mm】吊上げ力F【N】0.1MPa44L/min0.2MPa68L/min0.3MPa90L/min0.4MPa112L/minサイズφ４０（XT661-４A）ワークとの間隙と吊上げ力尺寸Φ40（XT661-4A)和被抓件的间隙与抓起力的关系抓起力N吸附面和抓件的间隙H[mm]Confidentialサイズφ６０（XT661-6A）吊上げ力/エア消費量特性尺寸Φ60（XT661-6A)的抓起力/空气消费量特性供给压力Mpa空气消费量Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ）抓起力N05101520253000.050.10.150.20.250.30.350.40.450.5020406080100120抓起力空气消费量外形尺寸和产品型号产品型号Φ２０Φ４０Φ６０Φ８０Φ１００右旋左旋XT661-2A-RXT661-4A-RXT661-6A-RXT661-8A-RXT661-10A-RXT661-2A-LXT661-4A-LXT661-6A-LXT661-8A-LXT661-10A-LConfidential※φ80・100在验证之中，属参考数据非接触抓爪（尺寸：Φ20，Φ40，Φ60，Φ80，Φ100