真空钎焊炉操作规程

单室卧式真空钎焊炉操作规程1单室卧式真空钎焊炉设备信息设备名称单室卧式真空钎焊炉型号SBF322H最大装炉量/Kg30有效加热区/mm3300×200×200最高温度/℃950总功率/KW50极限真空度/Pa6.67×10-3最高气冷压力N2/Ar2bar设备总重/Kg3000出厂编号6206出厂日期[e-mail]生产商北京易利工业炉制造公司工程师牛登村（13439191787）TEL[phone]FAX[phone]设备负责人王泽敏电话131356828802注意事项1使用设备前，首先开水，即手动打开水阀，出水口处流水能连续稳定，方可使用。然后开空气压缩机，待气压表指针在0.4~0.6pa时，才能开机。设备使用完关机后，应关空气压缩机，关水阀。2设备上所有按钮，除特别说明外，均为右旋打开，左旋关闭。“活动门”和“锁死/松开”右旋或者左旋后，应将按钮旋至中间。相应按钮打开后，设备操作面板上，相应灯会亮。3放料时，应先开“活动门”，后开炉门（以防碰坏活动门）。设备使用完后，应先关炉门，后关“活动门”，并保证炉内为负压。4打开炉门前，应首先检查炉内压强。如炉内压力小于大气压（105Pa），应先充气，即打开“放气阀”，待炉内压强达到大气压值，可开门。如炉内压力大于大气压（105Pa），应先放气（危险）。开关炉门时，应将手放在炉门把手上，避免炉门突然弹开，发生误伤。5充保护气体时，务必保证炉门处于“锁死”状态，活动门为打开状态。6只有在炉内温度小于80℃时，才能关“风机”；只有在炉内温度小于120℃时，才能开炉门。7遇到紧急情况，旋转“急停”按钮。顶部“安全阀”会自动卸压，如果此时“安全阀坏了”，则立即打开“紧急手动卸压阀”（左旋），特别是在对炉内充气时。8进行试验之前，先检查炉门密封圈是否干净，如果发现不干净，用酒精清洗密封圈。9在使用高真空做试验之前，先检查分压系统内是否处于保护气体气氛或真空状态，如果有空气则必须在操作过程中加上给分压系统抽真空步骤。10设备在工作时，注意调节各个工作部件冷却水的流量。原则是保证每个工作部件都有水流，而正在工作的部件让其流量大些，在不同的工作时间段，工作部件的工作情况不同，就进行实时调节。11在选择“自动运行”气淬时，如发现分压系统内有空气而不是保护气体或真空，先进行手动将分压系统抽真空。12将样品放入炉内前，应保证样品上不要沾有粉尘、油脂等，以免抽真空时吸入真空泵1内，影响设备运行。13所有人员需取得设备的操作资格，才能上机进行操作。14设备运行过程中，需有人值守。3操作规程3.1低真空-炉冷操作规程步骤具体内容1开机、放样打开水阀，打开空气压缩机，待气压表上指针指示在0.4~0.6Pa时，打开控制台开关（设备电柜右侧边），打开“总启”。查看设备上气压表示数，如为正压（大于大气压105Pa），应先抽气至负压（小于大气压105Pa），抽真空步骤见步骤2。如为负压，开“活动门”，炉门“松开”（开炉门时，手放在炉门把手上，避免炉门突然弹开）。开“放气阀”，待炉内压强达到大气压值时，关“放气阀”，静置2分钟。手动打开炉门，轻拉即开，避免使用蛮力。若打不开炉门，则将炉门“锁死”，关“活动门”，抽真空至负压后，重复上面步骤。炉门打开后，放入样品，注意轻拿轻放。手动关炉门，（手放在炉门把手上），将炉门“锁死”，关“活动门”。2抽真空开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵（操作面板上相应的灯会亮）。此时，设备开始抽真空。3设定曲线见附录Ι4加热当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮，方可进行加热操作。开“炉加热”。在曲线设置面板上，同时按“DISP”和“ENT”组合。此时炉门上方灯亮，曲线开始运行。5关机曲线运行结束后，关“炉加热”。关“旁路阀”和“旋片泵”。按“总停”，关控制台开关。关空气压缩机，关总水阀，若炉内温度大于120℃，严禁关水阀。6取样、关机待炉内温度冷至120℃时，才能开炉门取样品。开总水阀，开空气压缩机，待气压表上指针指示在0.4~0.6Pa时，打开控制台开关（设备电柜右侧边），打开“总启”。查看设备上气压表示数，如为正压（大于大气压105Pa），应先抽气至负压（小于大气压105Pa），抽真空步骤见步骤2。如为负压，开“活动门”，炉门“松开”（开炉门时，手放在炉门把手上，避免炉门突然弹开）。开“放气阀”，待炉内压强达到大气压值时，关“放气阀”，静置2分钟。手动打开炉门，轻拉即开，避免使用蛮力。若打不开炉门，则炉门“锁2死”，关“活动门”，抽真空至负压后，重复上面步骤。炉门打开后，取出样品，注意轻拿轻放。手动关炉门，（手放在炉门把手上），炉门“锁死”，关“活动门”。开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵（操作面板上相应的灯会亮）。此时，设备开始抽真空。当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮。关“旁路阀”和“旋片泵”。按“总停”，关控制台开关。关空气压缩机，关总水阀。3.2低真空-气冷操作规程步骤具体内容1开机、放样打开水阀，打开空气压缩机，待气压表上指针指示在0.4~0.6Pa时，打开控制台开关（设备电柜右侧边），打开“总启”。查看设备上气压表示数，如为正压（大于大气压105Pa），应先抽气至负压（小于大气压105Pa），抽真空步骤见步骤2。如为负压，开“活动门”，炉门“松开”（开炉门时，手放在炉门把手上，避免炉门突然弹开）。开“放气阀”，待炉内压强达到大气压值时，关“放气阀”，静置2分钟。手动打开炉门，轻拉即开，避免使用蛮力。若打不开炉门，则炉门“锁死”，关“活动门”，抽真空至负压后，重复上面步骤。炉门打开后，放入样品，注意轻拿轻放。手动关炉门（手放在炉门把手上），炉门“锁死”，关“活动门”。2抽真空开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵（操作面板上相应的灯会亮）。此时，设备开始抽真空。3设定曲线见附录Ι4加热当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮，方可进行加热操作。开“炉加热”。在曲线设置面板上，同时按“DISP”和“ENT”组合。此时炉门上方灯亮，曲线开始运行。5气冷降温曲线运行完后，关“旁路阀”，关“旋片泵”。开“充气阀”，待压力示数达到400Pa时，开“风机”，开“活动门”。待气压示数达到大气压值时，关“充气阀”。待炉内温度冷却到室温（50℃以下），关“风机”。6取样、关机开“放气阀”，关“放气阀”。开“旁路阀”，开“旋片泵”，抽到炉内压力比大气压略低。关“旁路阀”，关“旋片泵”。炉门“松开”，开“放气阀”，关“放气阀”。手动打开炉门（手放在炉门把手上），轻拉即开，避免使用蛮力。炉门打开后，取出样品，注意轻拿轻放。3手动关炉门（手放在炉门把手上），关炉门，即开“锁死”，关“活动门”。开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵。此时，设备开始抽真空。当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮。关“旁路阀”和“旋片泵”。按“总停”，关控制台开关。关空气压缩机，关总水阀。3.3手动高真空-气冷步骤具体内容1开机、放样打开水阀，打开空气压缩机，待气压表上指针指示在0.4~0.6Pa时，打开控制台开关（设备电柜右侧边），打开“总启”。查看设备上气压表示数，如为正压（大于大气压105Pa），应先抽气至负压（小于大气压105Pa），抽真空步骤见步骤2。如为负压，开“活动门”，炉门“松开”（开炉门时，手放在炉门把手上，避免炉门突然弹开）。开“放气阀”，待炉内压强达到大气压值时，关“放气阀”，静置2分钟。手动打开炉门，轻拉即开，避免使用蛮力。若打不开炉门，则炉门“锁死”，关“活动门”，抽真空至负压后，重复上面步骤。炉门打开后，放入样品，注意轻拿轻放。手动关炉门（手放在炉门把手上），炉门“锁死”，关“活动门”。2抽低真空开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵（操作面板上相应的灯会亮）。此时，设备开始抽真空。当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮。3抽高真空方法A：关“旁路阀”，手动开“调节阀”，开“充气阀”，关“充气阀”，开“旁路阀”，关“旁路阀”，这个步骤循环，直到抽到10Pa。手动关“调节阀”，关“充气阀”。方法B：手动开“调节阀”，开“分压阀”，抽到10Pa，开“扩散泵”（开始预热，需45分钟以上），关“旁路阀”，关“高真空阀”，抽到6.67×10-2Pa。注：方法A有个循环步骤，如上所示。推荐使用方法B。3设定曲线见附录Ι4加热打开“炉加热”。在曲线设置面板上，同时按“DISP”和“ENT”组合。此时炉门上方灯亮，曲线开始运行。加热到600℃（可设定，真空中材料的蒸发温度以上），开“分压阀”，调节“调节阀”（注意缓慢调节），到所需要的分压真空度（指示表显示），关紧“调节阀”，关“分压阀”，此时正在运行已设定的工艺曲线。45气冷降温曲线运行完后，关“高真空阀”，关“扩散”泵，（此时，主路阀、旋片泵还在工作，在此时开始计时等大概50分钟以上后，关掉“主路阀”）。开“充气阀”，待压力示数达到750mbar时，开“风机”，开“活动门”。待气压示数达到1bar时(表可设定)，自动关充气，如果充不到1bar，则手动关“充气阀”。待炉内温度冷却到室温（50℃以下），关“风机”。6取样、关机开“放气阀”，关“放气阀”。开“旁路阀”，开“旋片泵”，抽到炉内压力比大气压略低。关“旁路阀”，关“旋片泵”。炉门“松开”，开“放气阀”，关“放气阀”。手动打开炉门（手放在炉门把手上），轻拉即开，避免使用蛮力。炉门打开后，取出样品，注意轻拿轻放。手动关炉门（手放在炉门把手上），关炉门，即开“锁死”，关“活动门”。开“旁路阀”，开“旋片泵”，即打开了机械泵。此时，设备开始抽真空。当真空抽到10Pa以下，此时“J1”灯亮。关“旁路阀”和“旋片泵”。按“总停”，关控制台开关。关空气压缩机，关总水阀。说明：1对充气系统抽真空有两种方法，方法A中有个循环步骤，如上所示，请注意！！推荐使用方法B。2加热阶段：调节“调节阀”一定要缓慢，慢慢打开一点点，对炉内进行分压，达到所需的分压真空度后关死“调节阀”。3降温阶段：关“扩散泵”后立即开“充气阀”，而不是50分钟后开，括号内等50分钟是只针对关“主路阀”这个步骤。4维护1旋片泵：每个星期看一次游标，保证在一半左右，油脏了要及时更换。换油时，先将脏油放净，再加少量油用气管吃干净再放掉。每半年换一次。2扩散泵：每半个月加一次油（HFV-k扩散泵油/硅油）。3ZJ-27电离规真空探针，氧化后需更换。ZJ-52T电阻规，氧化后需更换。4如发现“放气阀”不能给炉体充气时，检查“油雾器”，如果有水，顶住底部按钮，将水放出即可。5真空炉超过2周未开，需空加热一次。6使用时注意观察出水口水流状况，如果出水口水流较小，要及时排查原因（可能是水压小了或者管道堵塞）。55附录I.控温仪表曲线设置运行曲线：（1）选择所要运行的曲线及其起始段PTN：选择所要运行的曲线（1~20）→ENT确定；STEP：选择起始段数→ENT确定。（2）DISP+ENT：开始运行（RUN灯亮）/停止运行。II.真空计设定真空计电源处于常开状态。关闭电源后必须等待3秒再打开，开电源后长按3秒进行设定。设定1：低真空加热条件（10Pa）。设定2：未使用。设定3：高真空加热条件，设定值＜6.67×10-2Pa。设定4：高真空加热条件，设定分压值（到曲线设定的分压温度后自动分压）。下限＞上限：上限→开始分压，下限→结束分压。ENT+SCRNENT+SCRNSCRNSCRNGRP开始温度与炉温一致PTN：选择曲线(1~20)编辑段数量和开始段数SCRNGRPSCRNENT+SCRNSTEP/SCRNENT+SCRNENT+SCRNSTEP/SCRNSTEPENT+SCRNSCRNGRPPTN1STEP1PTN01~20Num.ofstep：段数目StartSTEP：开始段STEPGRPPROGRAMCTRLEXEC依次设置每一段，最