《传感器原理与应用》及《传感器与测量技术》习题集与部分参考答案教材:传感器技术(第3版)贾伯年主编,及其他参考书第2章电阻式传感器2-1金属应变计与半导体应变计在工作机理上有何异同?试比较应变计各种灵敏系数概念的不同物理意义。答:(1)相同点:它们都是在外界力作用下产生机械变形,从而导致材料的电阻发生变化所;不同点:金属材料的应变效应以机械形变为主,材料的电阻率相对变化为辅;而半导体材料则正好相反,其应变效应以机械形变导致的电阻率的相对变化为主,而机械形变为辅。(2)对于金属材料,灵敏系数K0=Km=(1+2μ)+C(1-2μ)。前部分为受力后金属几何尺寸变化,一般μ≈0.3,因此(1+2μ)=1.6;后部分为电阻率随应变而变的部分。金属丝材的应变电阻效应以结构尺寸变化为主。对于半导体材料,灵敏系数K0=Ks=(1+2μ)+πE。前部分同样为尺寸变化,后部分为半导体材料的压阻效应所致,而πE(1+2μ),因此K0=Ks=πE。半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应。2-2从丝绕式应变计的横向效应考虑,应该如何正确选择和使用应变计?在测量应力梯度较大或应力集中的静态应力和动态应力时,还需考虑什么因素?2-3简述电阻应变计产生热输出(温度误差)的原因及其补偿办法。答:电阻应变计的温度效应及其热输出由两部分组成:前部分为热阻效应所造成;后部分为敏感栅与试件热膨胀失配所引起。在工作温度变化较大时,会产生温度误差。补偿办法:1、温度自补偿法(1)单丝自补偿应变计;(2)双丝自补偿应变计2、桥路补偿法(1)双丝半桥式;(2)补偿块法2-4试述应变电桥产生非线性的原因及消减非线性误差的措施。答:原因:)(211)(44433221144332211RRRRRRRRRRRRRRRRUU上式分母中含ΔRi/Ri,是造成输出量的非线性因素。无论是输出电压还是电流,实际上都与ΔRi/Ri呈非线性关系。措施:(1)差动电桥补偿法:差动电桥呈现相对臂“和”,相邻臂“差”的特征,通过应变计合理布片达到补偿目的。常用的有半桥差动电路和全桥差动电路。(2)恒流源补偿法:误差主要由于应变电阻ΔRi的变化引起工作臂电流的变化所致。采用恒流源,可减小误差。2-5如何用电阻应变计构成应变式传感器?对其各组成部分有何要求?答:一是作为敏感元件,直接用于被测试件的应变测量;另一是作为转换元件,通过弹性敏感元件构成传感器,用以对任何能转变成弹性元件应变的其他物理量作间接测量。要求:非线性误差要小(0.05%~0.1%F.S),力学性能参数受环境温度影响小,并与弹性元件匹配。2-6现有栅长3mm和5mm两种丝式应变计,其横向效应系数分别为5%和3%。欲用来测量泊松比μ=0.33的铝合金构件在单向应力状态下的应力分布(其应力分布梯度较大)。试问:应选用哪一种应变计?为什么?答:应选用栅长为5mm的应变计。由公式dRdRx)21(和xmxKCRdR)]21()21[(知应力大小是通过测量应变片电阻的变化率来实现的。电阻的变化率主要由受力后金属丝几何尺寸变化所致部分(相对较大)加上电阻率随应变而变的部分(相对较小)。一般金属μ≈0.3,因此(1+2μ)≈1.6;后部分为电阻率随应变而变的部分。以康铜为例,C≈1,C(1-2μ)≈0.4,所以此时K0=Km≈2.0。显然,金属丝材的应变电阻效应以结构尺寸变化为主。从结构尺寸看,栅长为5mm的丝式应变计比栅长为3mm的应变计在相同力的作用下,引起的电阻变化大。2-7现选用丝栅长10mm的应变计检测弹性模量211/102mNE、密度2/8.7cmg的钢构件承受谐振力作用下的应变,要求测量精度不低于0.5%。试确定构件的最大应变频率限。答:机械应变波是以相同于声波的形式和速度在材料中传播的。当它依次通过一定厚度的基底、胶层(两者都很薄,可忽略不计)和栅长l而为应变计所响应时,就会有时间的迟后。应变计的这种响应迟后对动态(高频)应变测量,尤会产生误差。由elvf6max式中v为声波在钢构件中传播的速度;又知道声波在该钢构件中的传播速度为:smkgsmkgmkgmNEv/10585.18.7/8.9102/10108.7/1024228363211可算得kHzmsmelvf112%5.061010/10585.1634max2-8一试件受力后的应变为3102;丝绕应变计的灵敏系数为2,初始阻值120Ω,温度系数为C/10506,线膨胀系数为C/10146;试件的线膨胀系数为C/10126。试求:若温度升高20℃时,应变计输出的相对误差。2-9试推导图2-16所示四等臂平衡差动电桥的输出特性:)/(0RRfU。从导出的结果说明:用电阻应变计进行非电量测量时为什么常采用差动电桥。解:全桥差动电路,R1,R3受拉,R2,R4受压,代入,得)(211)(44433221144332211RRRRRRRRRRRRRRRRUU由全等桥臂,得)(211)(44433221144332211RRRRRRRRRRRRRRRRUU=11144RRURRU可见输出电压U0与ΔRi/Ri成严格的线性关系,没有非线性误差。即U0=f(ΔR/R)。因为四臂差动工作,不仅消除了非线性误差,而且输出比单臂工作提高了4倍,故常采用此方法。2-10为什么常用等强度悬臂梁作为应变式传感器的力敏元件?现用一等强度梁:有效长l=150mm,固支处b=18mm,厚h=5mm,弹性模量25/102mmNE,贴上4片等阻值、K=2的电阻应变计,并接入四等臂差动电桥构成称得传感器。试问:(1)悬臂梁上如何布片?又如何接桥?为什么?(2)当输入电压为3V,有输出电压为2mV时的称重量为多少?答:当力F作用在弹性臂梁自由端时,悬臂梁产生变形,在梁的上、下表面对称位置上应变大小相当,极性相反,若分别粘贴应变片R1、R4和R2、R3,并接成差动电桥,则电桥输出电压Uo与力F成正比。等强度悬臂梁的应变EhbFlx206不随应变片粘贴位置变化。1)悬臂梁上布片如图2-20a所示。接桥方式如图2-20b所示。这样当梁上受力时,R1、R4受拉伸力作用,阻值增大,R2、R3受压,阻值减小,使差动输出电压成倍变化。可提高灵敏度。2)当输入电压为3V,有输出电压为2mV时的称重量为:计算如下:由公式:02020066UKFlUEhbFEhbFlKUKUUiixi代入各参数算F=33.3N1牛顿=0.102千克力;所以,F=3.4Kg。此处注意:F=m*g;即力=质量*重力加速度;1N=1Kg*9.8m/s2.力的单位是牛顿(N)和质量的单位是Kg;所以称得的重量应该是3.4Kg。2-11一圆筒型力传感器的钢质弹性筒截面为19.6cm2,弹性模量211/102mNE;4片阻值为R1=R2=R3=R4=120Ω,K=2的应变计如表2-7(a)所示布片,并接入差动全桥电路。试问:(1)当加载后测得输出电压为U0=2.6mV时,求载荷大小?(2)此时,弹性件贴片处的纵向应变和横向应变各多少?2-12何谓压阻效应?扩散硅压阻式传感器与贴片型电阻应变式传感器相比有什么优点,有什么缺点?如何克服?答:“压阻效应”是指半导体材料(锗和硅)的电阻率随作用应力的变化而变化的现象。优点是尺寸、横向效应、机械滞后都很小,灵敏系数极大,因而输出也大,可以不需放大器直接与记录仪器连接,使得测量系统简化。缺点是电阻值和灵敏系数随温度稳定性差,测量较大应变时非线性严重;灵敏系数随受拉或压而变,且分散度大,一般在(3-5)%之间,因而使得测量结果有(±3-5)%的误差。压阻式传感器广泛采用全等臂差动桥路来提高输出灵敏度,又部分地消除阻值随温度而变化的影响。2-13设计压阻式传感器时选择硅片(或硅杯)晶面及布置扩散电阻条的位置和方向有什么讲究?举例说明之。2-14有一扩散硅压阻式加速度传感器如图2-31所示,4个扩散电阻接入图2-16所示测量电桥。已知硅梁的刚度系数mNk/2500,质量块质量m=0.001kg,由空气构成阻尼,阻尼比为0.6。(1)指出该传感器的敏感元件与转换元件;(2)求幅值相对误差不超过5%的频率范围。2-15某扩散硅压力传感器采用(110)晶面N型硅膜片,4个扩散电阻条均径向(即纵向)布置如图2-30所示。试说明扩散电阻布置的原则。若电桥供桥电压为U,画出电桥原理图,推导电桥输出特性[)(0RRfU]和电压灵敏度[RRUKu/0]*2-16一应变片的电阻R=120Ω,k=2.05,用作应变片为800μm/m的传感元件。(1)求ΔR/R和ΔR;(2)若电源电压U=3V,惠斯登电桥初始平衡,求输出电压U0。答:xmxKCRdR)]21()21[(,此处xldl=800μm/m;所以31064.1xmKRdR;197.01201064.13R;全桥电路连接时,输出电压可按下式计算:RRUU0式中n=R2/R1,为桥臂比;此处取四个电阻相等,所以n=1;算得U0=4.92mV。*2-17在材料为钢的实心圆柱形试件上,沿轴线和圆周方向各贴一片电阻为120Ω的应变片R1和R2,把这两片应变片接入差动电桥(如图),若钢的泊松系数μ=0.285,应变片的灵敏度系数k=2,电桥电源电压U=2V,当试件受轴向拉伸时,测得应变片的电阻变化ΔR1=0.48Ω,求电桥的输出电压U0为多少?答:由xKRR轴向应变引起的电阻变化;可求的轴向应变系数002.0212048.0RKRx;总的应变系数00257.0002.0285.1)1(xyx;又mVkUUi57.240或:也可以根据分压定律来做。得U0=2.567mV。2-18什么是应变效应?什么是压阻效应?什么是横向效应?试说明金属应变片与半导体应变片的相同和不同之处。2-19有一吊车的拉力传感器如图所示,电阻应变片R1、R2、R3、R4等截面轴上,已知R1—R4标称阻值为120Ω,桥路电压2V,物重m引起R1、R2变化增量为1.2Ω。请画出应变片电桥电路,计算出测得的输出电压和电桥输出灵敏度,R3、R4起什么作用?2-20在传感器测量电路中,直流电桥与交流电桥有什么不同,如何考虑应用场合?用电阻应变片组成的半桥、全桥电路与单桥相比有哪些改善?2-21电桥如图所示:试推导电桥平衡条件V0(R1,R2,R3,R4)=0V。2-22电桥预调平衡电路如图,初始不平蘅值:R1=348,R2=350,R3=120,R4=120,R5=1K,R6=20K,E=24V求:调节滑片,平衡时R7,R8的值。平衡后R1/R2=R3/R4,对吗?2-23在用直流电桥测量电阻的时候,若标准电阻Rn=10.0004Ω的电桥已经平衡(则被测电阻Rx=10.0004Ω),但是由于检流计指针偏转在±0.3mm以内时,人眼就很难观测出来,因此Rn的值也可能不是10.0004Ω,而是Rn=10.0004Ω±ΔRn。若已知电桥的相对灵敏度Sr=1mm/0.01%,求对应检流计指针偏转±0.3mm时,ΔRn?解:已知mmy3.0,0004.10nR%01.0/1%100/mmRRySnnr2-24说明电阻应变片的组成和种类。电阻应变片有哪些主要特性参数?答:①金属电阻应变片由四部分组成:敏感栅、基底、盖层、粘结剂、引线。分为金属丝式和箔式。②其主要特性参数:灵敏系数、横向效应、机械滞后、零漂及蠕变、温度效应、应变极限、疲劳寿命、绝缘电阻、最大工作电流、动态响应特性。2-25一个量程为10kN的应变式测力传感器,其弹性元件为薄壁圆筒轴向受力,外径20mm,内径18mm,在其表面粘贴八各应变片,四个沿周向粘贴,应变片的电阻值均为120,灵敏度为2