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技术数据05.07.05/07.10.07/09.xx.08GLOBALSilverClassicSRGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9CGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9CMPEE:长度测量最大允许示值误差在测量空间的任意7个不同方位，测量一组5种尺寸量块，每种量块长度分别测量3次，所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。MPEP:最大允许探测误差25点测量精密标准球，探测点均匀分布，最大允许探测误差MPEP值为所有测量半径的最大差值。MPETHP/τ:最大允许扫描探测误差沿标准球上4条确定的路径进行扫描,最大允许扫描探测误差MPETHP/τ值为所有扫描半径的最大差值。τ是执行性能验证时所需的时间(以秒为单位)应用领域标准配置的工作型测量机，可利用触发和扫描技术控制系统支持扫描GlobalSilverClassicSR扫描技术标准：线性温度补偿技术选项：CLIMA温度补偿技术标准：18-22°C-1°C/h-2°C/24hCLIMA：16-26°C-1°C/h-5°C/24h温度补偿环境要求X:经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金Y:直接加工在工作台内的整体燕尾导轨Z:经过超精密加工及阳极化处理的挤压轻质铝合金导轨平台(工作台)测量系统METALLUR®(镀金)：抗磨损线性光栅系统分辨率：0.039µm材料：花岗石工件固定：M8x1.25螺纹镶嵌件平面度：根据DIN876/III各轴使用预载荷空气轴承气动平衡，可调节空气轴承Z轴平衡可操作温度范围：10-45°C相对湿度：90%，无冷凝线性：18-22°CCLIMA：结构性温度补偿16-26°C环境温度补偿系统气源最小供气压力：5bar耗气量：150NL/min性能评定标准技术指标GLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9CGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9C05.07.05型号174500X700Y500Z1025LX1480LY2431LZ1727LZ1679DZ1SY1835SY行程范围(mm)外形尺寸(mm)平台(mm)227被测工件最大重量(kg)619机器重量(kg)测量空间(mm)支撑(mm)1190PY633DX130DZ800PHGLOBALSilverClassicSR05.07.05性能指标、尺寸，行程范围，重量根据ISO10360-2:2001以及ISO10360-4:2000标准测头配置TESASTAR-p,TESASTAR-mpTP200LSP-X1LSP-X1c,LSP-X3MPEE2.3+3.3L/10002.1+3.3L/10001.9+3.3L/10001.9+3.3L/1000MPEE2.4+4.5L/10002.4+4.5L/10002.1+4.5L/10002.1+4.5L/1000MPEP2.32.11.91.9MPETHP/τ––3.5/683.5/68MPEP2.32.11.91.9MPETHP/τ––3.5/683.5/68温度范围18-22°C温度范围16-26°C516516516516最大三维速度(mm/s)1700170017001300300300300300最大三维加速度(mm/s2)最大扫描速度(mm/s)性能指标：最大允许误差MPE(µm),L(mm),τ(s)性能测试时的测头配置：•TESASTAR-p/TESASTAR-mp标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•TP200标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•LSP-X1LSP-X1s/LSP-X1h：探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X1c探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X3探针长度60mm，探针直径5mm性能指标在以下条件下有效：－标准环境温度：18-22°C；环境温度变化：1°C/h-2°C/24h；温度梯度：1°C/m－CLIMA环境温度：16-26°C；环境温度变化：1°C/h-5°C/24h；温度梯度：1°C/mGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9CGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9C07.10.07型号700X1000Y660Z1250LX1910LY2696LZ1816LZ1838DZ1430SY1950SY行程范围(mm)外形尺寸(mm)平台(mm)900被测工件最大重量(kg)1255机器重量(kg)测量空间(mm)支撑(mm)1650PY826DX140DZ700PHGLOBALSilverClassicSR07.10.07性能指标、尺寸，行程范围，重量根据ISO10360-2:2001以及ISO10360-4:2000标准测头配置TESASTAR-p,TESASTAR-mpTP200LSP-X1LSP-X1c,LSP-X3MPEE2.3+3.3L/10002.1+3.3L/10001.9+3.3L/10001.9+3.3L/1000MPEE2.4+4L/10002.4+4L/10002.1+4L/10002.1+4L/1000MPEP2.32.11.91.9MPETHP/τ––3.5/683.5/68MPEP2.32.11.91.9MPETHP/τ––3.5/683.5/68温度范围18-22°C温度范围16-26°C516516516516最大三维速度(mm/s)1700170017001300300300300300最大三维加速度(mm/s2)最大扫描速度(mm/s)性能指标：最大允许误差MPE(µm),L(mm),τ(s)性能测试时的测头配置：•TESASTAR-p/TESASTAR-mp标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•TP200标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•LSP-X1LSP-X1s/LSP-X1h：探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X1c探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X3探针长度60mm，探针直径5mm性能指标在以下条件下有效：－标准环境温度：18-22°C；环境温度变化：1°C/h-2°C/24h；温度梯度：1°C/m－CLIMA环境温度：16-26°C；环境温度变化：1°C/h-5°C/24h；温度梯度：1°C/mGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9CGLOBALSilverClassicSR|Q515.1-1311-9C性能测试时的测头配置：•TESASTAR-p/TESASTAR-mp标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•TP200标准测力，探针长度10mm，探针直径4mm•LSP-X1LSP-X1s/LSP-X1h：探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X1c探针长度50mm，探针直径5mm•LSP-X3探针长度60mm，探针直径5mm性能指标在以下条件下有效：－标准环境温度：18-22°C；环境温度变化：1°C/h-2°C/24h；温度梯度：1°C/m－CLIMA环境温度：16-26°C；环境温度变化：1°C/h-5°C/24h；温度梯度：1°C/mGLOBALSilverClassicSR09.12.08,09.15.08,09.20.08性能指标，行程范围，尺寸，重量09.12.0809.15.0809.20.08134013401340110110110型号120015002000216524652965946946946191022102710130015001800800800800294629462946455540680165018502250145014501450700700700100011301350900900900XYZLXLX1LYLZPYSY1SY2行程范围(mm)外形尺寸(mm)测量空间(mm)被测工件最大重量(kg)机器重量(kg)平台(mm)支撑(mm)DZ1PHDZ测头配置TESASTAR-p,TESASTAR-mpTP200LSP-X1LSP-X1c,LSP-X3MPEE2.6+3.3L/10002.3+3.3L/10002.2+3.3L/10002.2+3.3L/1000MPEE2.8+4L/10002.8+4L/10002.5+4L/10002.5+4L/1000MPEP2.62.32.22.2MPETHP/τ––3.9/683.9/68MPEP2.62.32.22.2MPETHP/τ––3.9/683.9/68温度范围18-22°C温度范围16-26°C516516516516最大三维速度(mm/s)1700170017001300最大三维加速度(mm/s2)最大扫描速度(mm/s)性能指标：最大允许误差MPE(µm),L(mm),τ(s)300300300300根据ISO10360-2:2001以及ISO10360-4:2000标准2013November2013CN66-210-634