搜索
1操作说明书GA04106-0702油扩散泵DIP3000DIP8000DIP12000DIP20000DIP30000DIP50000产品号22210/20/25/30/35/402目录重要安全信息1简述1．1设计1．2标准设备1．3技术规格1．4订货须知1．5泵油2运输和贮存3安装3．1确认用途3．2连接高真空3．3连接前级真空3．4连接冷却水3．5电气接线3.5.1加热元件连接3.5.2监控组件连接（选用件）3．6泵油4使用4．1适用介质4．2启动4．3运行4．4关断5维护5．1莱宝维修5．2检查泵油液面5．3泵油昀高限制5．4更换泵油5．5泵的清洁5.5.1泵的拆解5.5.2清洁5.5.3油位视镜5.5.4泵的组装5.5.5清洁冷却盘管5．6更换加热组件6故障解决7易损件和原始备用件8废物处理EC制造商声明接线图索引郑重声明：此操作说明书之中文翻译本，仅供您在阅读原英文操作说明书时参考使用。凡此中文翻译与原英文操作说明书有出入的地方，应严格以原英文操作说明书为准。欢迎您的批评指教。3重要安全信息为避免人身伤害，必须严格遵守的工艺和操作规程。为防止设备损坏，必须严格遵守的工艺和操作规程。按照操作说明书的指导正确使用，莱宝DIP油扩散泵才能安全有效地运行。用户必须仔细阅读和知晓本文的安全警告。此DIP只能在操作说明书中所述条件下运行。只有受训人员才能操作和维护。特殊要求请咨询代理商。如有进一步关于安全、运行或维护问题请联系昀近的莱宝办事处。忽视以下预警将可能导致严重人身伤害！遭遇伤害风险！勿将身体某一部分接触真空，破空后再触操设备。爆炸风险！标准型号产品不适于在爆炸危险区运行。遭遇伤害风险！整个安装过程中要确保主电源未合闸。电气接线必须由合格电工（例如通过EN50110-1认证）操作。加热元件绝缘物若吸收过量水分会产生大故障电流。遭遇伤害风险！扩散泵不适合抽空氧含量高于大气的气体。每当抽空高氢含量气体时，应联系制造商。遭遇伤害风险！DIP在如下标志区（﹥80℃）运行会很热，小心烫伤。防止触碰炙热部件，注意设备上危险警告，穿防护服。系统关断后，必须留有一段冷却时间。只有泵破空和冷却状态下才能打开排油口或进气口。若打开处于热态的DIP泵，有被泵油蒸汽烫伤的危险。泵发热表面附近，禁止使用易燃物。警告当心警告警告4装运法兰（盲法兰）和夹箍螺栓仅用于装运；泵装入系统时不得使用。试车期间及新装加热元件后可能出现烟气，因此应在通风良好的房间内对新泵或修后的泵开机。在任何情况下都应避免直接接触试车时产生的烟气。扩散泵在运行时，如果截断高真空和前级真空管道，同时切断冷却水供应，则这是一种危险状态，必须绝对避免这种情况（例如，通过线路连锁加以防止）。如果泵处理过危险气体，或由于过热造成泵油分解产生有毒产物，必须采取有效防范措施。拆卸时，按防护要求，要戴手套，口罩和穿防护服，在合适的烟雾通风罩下工作。忽视以下预警将可能导致对泵的损坏！安装时偏离水平方向较为严重时，加热元件有可能干烧并导致损坏泵。反复开关加热元件会使它过早损坏。忘记或错误连接自动调温器都会导致泵的过热，或损坏加热元件。泵应连接为这样一种状态：即当监视元件（自动调温器、过热保护开关、冷却水流量监视器）因保护而断开时，虽然运行参数由不正常已恢复为正常状态，但泵并不会因此而自行启动。更换不同型号泵油前（例如由DIFFELEN改为硅油），必须仔细清洗泵内所有表面。只有泵油温度降至100℃以下时才能破空。破空应从高真空端进入冷的泵中。清洗泵时清洗蒸汽的压强应为：当清洗加热嵌入器的加热引导盘时，昀高2bar（以免损伤铜翅片）。清洗泵体其余部分时，昀高10bar。不要拆解喷嘴组件。不要使用氯基除钙剂，它会导致冷却盘管出现腐蚀性裂缝。只能安装干燥的加热元件。为了避免触电危险，在距加热元件连接端20mm长度上的圆柱部分不喷涂。当心51简述DIP系列扩散泵是高真空泵。必须与前级真空泵一起运行。DIP系列泵是水冷却泵，利用油扩散原理，在高真空工艺中用来处理真空室。此外，在10-3至10-2mbar压力范围内泵仍具有很高抽速。1．1设计DIP系列扩散泵由下述各部件组成：—装有高真空和前级真空连接法兰的水冷泵壳—喷嘴组件—装有加热元件的蒸发室—水冷帽挡板—前级真空挡板喷嘴组件DIP扩散泵装有轻合金金属制造的四级喷嘴系统和内加热系统，内加热系统是由加热元件和焊有散热翅片的加热套组成的。不锈钢加热套以水平位置、真空密封地焊接在泵体内。DIP扩散泵壳体材料是标准牌号钢；高真空连接法兰和前级连接法兰是不锈钢的（合金1.4301），冷却盘管是铜制的，冷帽挡板为镀镍的铜。散热翅片铜制散热翅片只是部分浸在蒸发室的泵油中。散热翅片浸入泵油部分的尺寸既可以保证泵油蒸发强烈，又不造成浪涌。位于泵油液面上方散热翅片为蒸汽提供了额外能量。自动调温器为了保护加热元件，在泵油液面之上的散热翅片部分装有一个自动调温器，一旦超过自动调温器设定温度，泵加热器将断电。加热元件只要需要，加热元件易于更换。更换时，不必拆泵。冷帽挡板为防止泵油流入真空容器，DIP系列扩散泵在泵进口区安装了水冷帽挡板。位于前级真空侧的水冷前级挡板可有效防止泵油进入前级真空泵。6图1.DIP20000型扩散泵截面图；其余型号类似1.2标准设备从工厂发运的所有DIP扩散泵都未装泵油。作为泵标准设备包含有：z高真空法兰的带对中星中心环，O形圈，和外环。z前级真空法兰的带前级挡板镶入件中心定位环，O-圈，和外环。高真空法兰和前级真空法兰用装运法兰和夹链密封。泵内部已清洗干净；发运前已抽空。装运法兰（盲法兰）和夹箍螺栓仅用于装运；泵装入系统时不得使用。警告前真空连接法兰带前真空法兰的定中心环喷嘴组件冷却管路高真空连接法兰配有O型圈和定中心环的密封圈冷帽挡板泵体接电盒加热单元金属保护带71.3技术规格1.4订货须知DIP3000DIP8000DIP12000DIP20000DIP30000DIP50000高真空/名义250ISO-K/400ISO-K/500ISO-K/630ISO-F/800ISO-F/1000ISO-F/前级真空直径63ISO-K63ISO-K100ISO-K100ISO-K160ISO-K160ISO-K对空气抽速)1低于1x10-4mbarl/s3000800012000200003000050000工作范围mbar10-2-10-710-2-10-710-2-10-710-2-10-710-2-10-710-2-10-7极限总压)2mbar5x10-75x10-75x10-75x10-75x10-75x10-7昀大容许前级压力mbar6x10-16x10-16x10-16x10-16x10-16x10-1充入油量min/maxl1.0/1.42.0/3.53.0/5.56.0/9.010/1515/25供电电压标准,50/60HzV230-1Ph230/400-3Ph400-3Ph230/400-3230/400-3230/400-3△/YYPh△/YPh△/YPh△/Y特殊,50/60HzV460-3Ph△460-3Ph△460-3Ph△460-3Ph△加热功率KW2.44.87.2121824加热元件个数269121824预热时间min252525253030冷却水流量min）供给泵)3l/h1602905006009001500供冷帽挡板l/h2040508080150冷却水回路数目（包括冷帽挡板）222233冷却水接头泵G3/8”1/2”1/2”1/2”1/2”1/2”冷帽挡板G1/4”3/8”3/8”3/8”3/8”3/8”重量，约Kg2970102172296560推荐前级泵)4工作压力104−DK100+DK100+DK200+SV200+SV300+SV630+mbarW151W251W501W501W1001W2001工作压力104−TRIVACTRIVACD25BTRIVACDDK100+DK200+DK200+mbarD25B+W25125B+W251W251W251W5011）按照DIN28427，使用DIFFLENnormal作为泵油测定的。2）按照DIN28427，使用DIFFLENnormal作为泵油测定的。使用DC705泵油和FPM（氟橡胶）衬垫时，装有水冷挡板的DIP扩散泵经烘烤，压力可低于1.10-8mbar。3）冷却水流量是参照△T=10K。出口温度不超过30℃。4）在抽空系统中，单级和双级旋片泵（TRIVAC;SV）或者旋转活塞泵（E/DK）连同罗兹泵（RUVAC）是一系列前级泵。8图2.抽速曲线9图3.DIP3000（左）、DIP8000~30000（中）、DIP50000（右）尺寸图101.4订货数据1.5泵油技术数据石油基油/DIFFELEN硅基油LightStandardUltraDC704DC70520℃蒸汽压力mbar1x10-81.5x10-92.7x10-112.6x10-84x10-10相对分子量g.mol-1500570600484546闪点℃〉240〉255〉270221243(DINISO2592)25℃粘滞系数mm2.s-11151652003917520℃密度g.cm-30.8620.8620.8641.07)11.09)1)125℃下技术数据石油基油/DIFFELEN硅基油LightStandardUltraDC704DC705DIP3000DIP8000DIP12000DIP20000DIP30000DIP50000油扩散泵PartNo.22210PartNo.22220PartNo.22225PartNo.22230PartNo.22235PartNo.22240星状蒸汽挡板PartNo.22750PartNo.22760PartNo.22765PartNo.22770PartNo.22775PartNo.22780水流量监视器LR10PartNo.12282PartNo12282----LR20--PartNo12283PartNo.12283PartNo12283PartNo.12283“Anti-Seize”PartNo.PartNo.PartNo.PartNo.PartNo.PartNo.060251240602512406025124060251240602512406025124恒温安全开关PartNo.12284PartNo.12284PartNo.12284PartNo.12284PartNo.12284PartNo.12284触点温度计PartNo.21881PartNo.21881PartNo.21881PartNo.21881PartNo.21881PartNo.21881热电元件Pt100PartNo.PartNo.PartNo.PartNo.PartNo.PartNo传感器200029582000295820002958200029582000295820002958泵油见下112运输和贮存DIP泵用木箱包装，装在托板上竖直搬运。按下述方法拆箱，见图4。1）从口袋（4/4）取出装箱单。2）把包装箱放在水平的平面上。3）拆掉木箱下面4个螺栓（4/6），再拆掉固紧带（4/2）。4）松开木箱顶部4个螺栓并将支架旋到上方，上紧螺栓。将起重装置连到支架，向上吊起移除木箱。小心缓慢吊起木箱，在泵上方通过时，不要撞倒泵。5）拆掉塑料包装物。6）在地板的托板上便取下DIP泵。7）拿掉含有干燥剂的布袋。DIP泵只有固定在托板上或通过吊耳悬挂在起重装置上搬运。拆箱后，检查装箱完整性和可能装运损坏（见第1.2节，“标准设备“）。用托板搬运，要防止泵倾倒。泵在发运前已经抽真空（防止腐蚀）。只有立即安装之前，才容许泵破空气。拔掉前级装运法兰（5/5）软管接嘴的堵头，便可破空。贮存泵贮存时要做维护，保持干燥避免置于寒冷环境。冷却盘管需要吹扫并保持干燥。泵贮存时保持直立状态。警告警告12图4.DIP装运箱图示图5.元部件的连