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SMI硅微压传感器产品选型表---------------------------------------------------------2SM5102---------------------------------------------------------3SM5103---------------------------------------------------------5SM5106---------------------------------------------------------7SM5108---------------------------------------------------------9SM5112---------------------------------------------------------11SM5310/SM5350SM5410/SM5450---------------------------------------------------------13SM5420---------------------------------------------------------18SM5430/SM5470---------------------------------------------------------20SM5611/SM5612---------------------------------------------------------23SM5651/SM5652---------------------------------------------------------26SM5812/SM5852---------------------------------------------------------29SM5822/SM5872---------------------------------------------------------33单位换算表---------------------------------------------------------36第1页SMI硅微压传感器产品选型表产品特性0.15~3.0(PSI)5~100(PSI)100~7500(PSI)产品系列高精度SM5102SM5102低成本SM5106SM5106微型SM5108SM5108无封装裸片SM5103绝压SM5112SM511251XX表面贴装SM5350SM531053X0SM5450SM5410SM5420无补偿针式直插SM5470SM543054X0恒流激励SM5651SM5611恒压激励SM5652SM561256XX双列直插和SMT封装带放大SM5852SM5812封装带补偿表面贴装带放大集成化SM5872SM582258XX压力对照表psi0.150.300.600.801.503.005153060100300kpa1.02.14.15.510.320.734.5103.4206.8413.7689.52068.5注：各系列产品均有其它压力范围可选。第2页SM5102OEM硅压力传感器芯片产品描述SM5102为硅微机械压阻式传感器芯片，量程5~300psi，为理想的OEM产品。该产品可直接安装在陶瓷片或PC板基片或根据不同应用而采用特殊的封装形式。此外还可依据客户要求提供特殊量程、具有场屏蔽和高稳定性的传感器芯片。特性●可大量使用，价格低廉●有表压和绝压型●稳定的电流和电压驱动●mV级输出●5，15，30，60，100和300psi量程可选应用●高度计●胎压测量●医疗仪器●工业传感器●潜水用具●家用电器SM5102电气连接图(正压输出接电路顶端)SM5102外形尺寸图(mm)SM5102(2mm×2mm)封装专利号5,812,047和6,089,099第3页SM5102SM5102型性能指标及测试条件Vexc=5.0T=25℃参数最小值标准最大值单位激励*电压05.010.0V电流01.53.0mA输出(FS)**5psi75100125mV15psi115145175mV30psi130165195mV60psi130180220mV100psi130200250mV300psi130220275mV零压-50050mV温度系数满量程***-24-19-15.5%FS/100℃零点***-7-1+7%FS/100℃阻抗2427.533%FS/100℃线性精度****-0.3±0.050.3%FS桥臂阻抗2.73.154.0KΩ过载特征耐压3XFS瞬间压力****5XFS温度范围使用-40125℃储存-55150℃*电桥可采用正压或负压驱动；正压输出正信号**恒压5V激励下测量***0~70°C范围内测量***最佳直线拟合命名方式：SM5102-015-A产品型号SM5102压力范围005：5psi；015：15psi；030：30psi；060：60psi；100：100psi；300：300psi压力类型A：绝压；G：表压第4页SM5103微压扩散硅传感器芯片产品描述SM5103为硅微机械压阻式低压传感器芯片，量程0.3~3.0psi，为理想的OEM产品可大量使用。该产品可直接安装于陶瓷片或PC板基片上或根据不同的应用采取特殊的封装形式，此外还可依据客户要求提供特殊量程的传感器芯片。特性●微压(0-0.3~0-3psi)●微压时高性能●恒流或恒压驱动●可大量使用，价格低廉●mV级输出应用●空气流量计●水平仪●HVAC(采暖通风系统)●常用设备●气体分析仪SM5103电气连接图SM5103外形尺寸图(mm)SM5103芯片(3.4mm×3.2mm)第5页SM5103SM5103性能指标及测试条件Vexc=5.0T=25℃参数最小值标准最大值单位激励*电压05.010.0V电流01.53.0mA输出(FS)**0.3psi255075mV0.8psi255075mV1.5psi255075mV3.0psi255075mV零压-75025mV温度系数满量程***-24-19-15.5%FS/100℃零点***-7-1+7%FS/100℃阻抗2427.533%/100℃线性精度****-0.3±0.10.3%FS桥臂阻抗2.73.34.0KΩ过载特征耐压10XFS瞬间压力15XFS温度范围使用-40125℃储存-55150℃*电桥可采用正压或负压驱动；**恒压5V激励下测量***0~70℃范围内测量****最佳直线拟合，量程为0.3psi时的线性度为±0.5%(最大)命名方式：SM5103-003-G产品型号SM5103压力范围003：0.3psi；008：0.8psi；015：1.5psi；030：3.0psi压力类型G：表压（仅有）第6页SM5106微型OEM压力传感器芯片产品描述SM5106为超小型(1.56mm×1.56mm)硅微机械压阻式压力传感器芯片，通过采用特殊的机械结构使得该产品具有极高的灵敏度，同时也大大降低了生产成本。该传感器可用于胎压计、压力监测仪等。SM5106为绝压型，量程包括15spi,30spi,60spi和150spi，可直接安装在陶瓷片或PC板基片上，也可依据客户需要选用特定量程的芯片。特性●15，30，60，150psi量程可选●超低的价格●微型尺寸（1.56mm×1.56mm）●恒流或恒压驱动●mV级输出应用●汽车轮胎制造●引擎控制●血压测量●手持式测量仪●家用电器SM5106电气连接图SM5106外形尺寸图SM5106(1.56mm×1.56mm)第7页SM5106SM5106型性能指标及测试条件Vexc=5.0T=25℃参数最小值标准最大值单位激励*电压05.015V电流01.53.0mA输出**15psi75100125mV30psi85110130mV60psi85125150mV150psi100145195mV零压-35835mV温度系数满量程***-24-19-15.5%FS/100℃零点***-7-1+7%FS/100℃阻抗+24+27.5+33%/100℃线性精度****-0.45-0.15+0.45%FS桥式阻抗456KΩ过载特征耐压3XFS瞬间压力5XFS温度范围使用-40+125℃储存-55+150℃*桥路可采用正极或负极驱动；正压输出正信号**恒压5V激励下测量***0~70°C范围内测量****最佳直线拟合命名方式：SM5106-015-A产品型号SM5106压力范围015：15psi；030：30psi；060：60psi；150：150psi压力类型A：绝压(仅有)第8页SM5108超小型OEM压力传感器芯片产品描述SM5108为极小型(0.65mm×0.65mm)硅微机械压阻式压力传感器芯片，一片150mm大小的晶园上包含24,000个芯片。通过采用特殊的机械结构使得该产品具有同等尺寸芯片中最高的灵敏度，同时也极大降低了生产成本。该传感器主要用于胎压表、压力监测仪等。SM5108为绝压型，可直接安装在陶瓷片或PC板基片上，量程包括15spi，30spi，60spi和150spi，也可以根据客户需要选定特殊量程的芯片。特性●15，30，60，150psi量程可选●低价●小尺寸（0.65mm×0.65mm）●稳定的电流和电压驱动●mV级输出应用●汽车胎压检测●引擎控制●气压传感器●空气流量计●手持式测量仪●家用电器SM5108外形尺寸图SM5108(0.65×0.65mm)，总厚度0.65mm硅封装孔第9页SM5108SM5108型性能指标及测试条件Vexc=5.0T=25℃参数最小值标准最大值单位激励*电压05.015V电流01.52.5mA输出**15psi65100135mV30psi65100135mV60psi65100135mV150psi100150200mV零压-3535mV温度系数满量程***-24-19-15.5%FS/100℃零点***-7-1+7%FS/100℃阻抗+24+27.5+33%/100℃线性精度****-0.2-0.07+0.2%FS桥式阻抗456KΩ输入电容2pF温度范围使用-40+125℃储存-55+150℃过载特征耐压3XFS瞬间压力5XFS命名方式：SM5108-015-A产品型号SM5108压力范围015：15psi；030：30psi；060：60psi；150：150psi压力类型A：绝压第10页SM5112恶劣环境用绝压型硅压力传感器芯片●采用背插式，仅暴露硅片和玻璃基底以保护压阻电桥产品描述SM5112为硅微电机压阻式压力传感器芯片，该产品能在恶劣工作环境下精确测量。量程为15spi~300spi，可直接安装在陶瓷片或PC板基片上，也可根据不同用途采用特殊的封装方式。特性●可大量使用，价格低廉●绝压型●恒流或恒压驱动●mV级输出●15,30,60,150,300psi量程可选应用●高度表●轮胎压力测量●医疗设备●工业传感器●潜水用具●家用电器引脚作用1辅助2N/C3激励电压正极4信号正极5接地6信号负极7N/C引脚从左至右排列SM5112连接部分SM5112(2mm×2mm)封装专利号5,812,047和6,089,099第11页SM5112SM5112型性能指标及测试条件Vexc=5.0T=25℃参数最小值标准最大值单位激励电压05.010V电流01.53mA输出15psi75125150mV30psi85125150mV60psi85125150mV150psi100145195mV300psi100145195mV零压-5050mV温度系数满量程-24-19-15.5%FS/100℃零点-152+15%FS/100℃阻抗172631%/100℃线性精度-0.3+0.3%FS桥式阻抗456KΩ过载特征耐压3XFS瞬间压力5XFS温度范围使用-40