奥宝LDI曝光机简介

NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)LDI曝光機設備說明---奧寶Xpress-9iNanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)LDI曝光制程介紹大綱1.曝光製程定義2.HDI曝光製程流程說明3.LDI技術說明4.LDI曝光機設備介紹NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)1.曝光製程定義曝光(Exposure)利用UVor鐳射光將客戶需要之影像轉移到基板干膜上,搭配後段處理工序,以完成客戶所需之圖形形成.影像轉移前影像轉移后NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)整板電鍍灌孔整平2.HDI曝光製程流程說明前處理貼膜曝光顯影蝕刻去膜AOI黑化2.1.1N層Process2.1HDI曝光製程前後流程NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)2.1.2C.M.Process前處理貼膜曝光顯影蝕刻去膜NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)2.1.3Q/LProcessConformalMask蝕刻去膠渣雷射鑽孔AOI黑化整板電鍍貼膜曝光顯影去膜NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)2.1.4A/LProcessConformalMask蝕刻去膠渣雷射鑽孔整板電鍍貼膜曝光顯影去膜鑽孔NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)2.2HDI曝光製程品質關聯圖Input品質特性HDI曝光品質項目Output生產影響1.曝光雜質2.對位不良3.真空密著不良4.曝光能量異常5.底片異常1.線細、斷路、缺口2.層間對位不良3.破孔4.顯影不良,吸氣不良5.線粗、短路1.板面異物無塵室異物2.貼膜SPACE不當3.貼膜皺紋4.板彎板翹5.干膜附著力不足NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)3.LDI技術說明3.1LDI定義3.2LDI之優點說明3.3LDI技術類型說明3.4LDI之技術運用在板面上之實例NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)3.1LDI定義LDI是LaserDirectorImaging(鐳射直接成像)的縮寫,指的是利用新型技術直接將客戶所需之影像資料通過光的方式掃描到板面上,較之前傳統曝光機(需要將影像資料事先畫在D/F)在技術上進步;NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)直接成像技術LDI傳統曝光機利用UV光將底片上固定圖案轉移到乾膜上LDI不需底片,可節省底片成本及底片繪製時間Dryfilm3.2LDI之優點說明LaｓerPolygonMirrorPanelFeeddirectionScandirectionWaveLength：355nmNanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)快速打樣生產時間縮短PORDOENanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)3.3LDI技術類型說明LaｓerPolygonMirrorPanelFeeddirectionScandirectionWaveLength：355nm•PolygonMirrorSystemDMDPanelFeeddirectionLaｓerorLamp405nm•DMD(DigitalMicroMirror)SystemFujiINPREXHitachiviaDEseries•DMD405nm•OrbotechParagon•PolygonMirror355nm350-420nmNanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)3.4.1對位能力佳3.4LDI之技術運用在板面上之實例NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)30umL/Swith40umthickness20umL/Swith25umthickness3.4.2LDI之解析能力NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.奧寶LDI曝光機設備介紹除塵機放板機LDI主體LDI主體除塵機翻板機收板機LDI曝光機連線部位介紹NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)奧寶LDI曝光機本體動作說明初定位區對位系統曝光系統周邊系統電腦系統入口CMWS出口OKParagonLaｓerPanel对位点-用于将线路板和CAM数据对齐；也用作全局涨缩（测量）对位点–用于将CAM数据的尺寸涨缩至线路板尺寸也用作板面识别对位点CAM数据NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.LDI曝光機設備介紹4.1前置定位介紹4.2對位系統介紹4.3曝光系統說明4.4電腦控制系統說明4.5周邊設備說明NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.1前置定位區簡介4.1.1定位區作用通過Y向拍板,X向感應器感應定位將基板定位,以利於將板子放在LDI床臺上時,CCD能通過電腦設定位置找到生產板的對位孔,從而完成對位曝光作業4.1.2動作過程入料檢知Y-Pin拍板定位X軸感應器感應位移移載手臂吸板移至LDI床台基板達Y-PinX軸自身感應器從外向內感應基板邊緣，感應到時滑塊停止移動。（伺服馬達控制滑塊移動）NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.2對位系統說明4.2.1對位過程定義4.2.2對位原理說明4.2.3對位區結構介紹A.臺面工作結構及原理介紹B.CCD介紹及設定資料NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.2.2對位原理A.對位過程基板對位孔基板移入對位台吸著基板CCD讀對位孔(Align)臺面Y向移動，CCDX向移動靶點與CCD中心重合4.2.1對位過程定義CCD對基板上之靶點定位,並通過Y向線性馬達運動后產生的各靶點間間距，并通過與原始資料比對計算，補償出現在基板在X，Y項間距的過程NO.1靶孔NO.2靶孔奧寶CCD可以X向移動，但臺面只能Y向移動與日立CCD不動臺面X,Y向移動方式不同NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)B漲縮對位實現模式Y-工作台曝光区域扫描方向要曝光的图像查找对位点测量对位点位置曝光计算对位X4,Y4X5,Y5NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)Y-工作台曝光区域扫描方向要曝光的图像查找对位点测量对位点位置曝光计算对位测量对位点位置X4,Y4X5,Y5测量对位点位置X2,Y2X3,Y3NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)扫描方向查找对位点测量对位点位置曝光涨缩模式(来自设置文件）对位点坐标（在CAM光栅图像上）实际线路板上测量的对位点坐标(X2,Y2,X3,Y3,X4,Y4,X5,Y5)测量对位点位置Y-工作台曝光区域要曝光的图像计算对位旋转（phi修正）Y-工作台曝光区域要曝光的图像NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)扫描方向查找对位点测量对位点位置曝光涨缩模式(来自设置文件）对位点坐标（在CAM光栅图像上）实际线路板上测量的对位点坐标(X2,Y2,X3,Y3,X4,Y4,X5,Y5)测量对位点位置Y-工作台曝光区域要曝光的图像计算对位Y-工作台曝光区域要曝光的图像X、Y位移（非物理位移，而是软件位移）要曝光的图像NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)扫描方向查找对位点测量对位点位置曝光涨缩模式(来自设置文件）对位点坐标（在CAM光栅图像上）实际线路板上测量的对位点坐标(X2,Y2,X3,Y3,X4,Y4,X5,Y5)测量对位点位置计算对位Y-工作台曝光区域要曝光的图像涨缩要曝光的图像涨缩中心NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)扫描方向查找对位点测量对位点位置曝光涨缩模式(来自设置文件）对位点坐标（在CAM光栅图像上）实际线路板上测量的对位点坐标(X2,Y2,X3,Y3,X4,Y4,X5,Y5)测量对位点位置计算对位Y-工作台曝光区域要曝光的图像要曝光的图像曝光曝光要曝光的图像开始曝光位置(结束曝光位置根据图像宽度计算)NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)Y-工作台曝光区域线路板要曝光的图像X-测量标尺Paragon原点(0,0)C對位漲縮計算及管控范围YCAMXCAMX基板Y基板基板實際PE值，範圍100微米基板實際JE值，範圍50微米对位点坐标（相对于光栅图像原点，它在CAM坐标系统中，但考虑到图像方向）（对位点坐标可以在对位点对位文件Margin（基板）–线路板和图像之间的X和Y距离。此参数确保在物理PCB线路板的内部对图象数据进行曝光。原点坐标-线路板的边沿和曝光区域之间的X和Y距离（原点坐标定义线路板处于工作台上何处）（原点坐标值通过配置编辑器，在format.ini文件中定义。）对位位置通过增加矢量来计算:{Xtarget,Ytarget}+{Xmargin,Ymargin}+{Xtooling,Ytooling}+{Xcalib}NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)4.2.3對位區結構對位區:基板與CAM圖形對位的平台,主要分為床臺舆CCD主要機構如下:Y向臺面移動，因雙臺面Y軸有兩個磁懸浮線性馬達CCD双臺面ABNanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)床臺Y向伺服馬達驅動控制Y向伺服馬達（線性滑塊）光學尺，每個刻度可精確到0.1um通過控制電腦給伺服馬達訊號，1個訊號馬達會在光學尺上度10個格，即1um,從A點到B系統給馬達多少個訊號馬達即可行進多少距離，反之若馬達行走多少距離即會pass多少個訊號給控制电脑，用於計算A到B點距離,Y向可操作距離為1500mmY軸兩端設有極限開關A.臺面工作結構及原理介紹NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)基座臺面升降馬達B，行程500mm臺面升降馬達A，行程500mm臺面B臺面A臺面A線性滑塊及馬達臺面B線性滑塊及馬達NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)床臺θ向伺服馬達驅動控制θ向伺服馬達通過控制電腦給伺服馬達訊號，1個訊號馬達則旋轉1周，對應臺面向左or向右旋轉0.01度，θ向可操作角度為15度A.臺面工作結構及原理介紹NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)A.臺面工作結構及原理介紹床臺板面吸著控制兩個臺面通過1臺鼓風機的吸氣口進行板面真空密著，兩個臺面分別有兩個氣壓缸分別控制調節。氣壓缸NanyaPCB(KS)CorporationLDI曝光設備說明(奧寶Xpress-9i)床臺板面吸著控制真空吸板腾空真空台对位定位器移向左侧对位定位器旋纽对位定位器固定真空吸板的插销选择适合您要曝光的线路板尺寸的真空吸板，真空吸板外形尺寸同檯面大小一樣，但實際有孔吸附區域則同曝光