光学设计实例(完整版)--zhengliban

ZEMAX光学设计完整版2通过设计实例，加深对已学几何光学、像差理论及光学设计基本知识、一般手段的理解，并能初步运用。介绍光学设计软件ZEMAX的基本使用方法，设计实例通过ZEMAX来演示。目标3光学设计软件ZEMAX简介优化实例1-单透镜2-双胶合透镜3-非球面单透镜4-激光扩束镜5-显微镜物镜6-双高斯照相物镜公差计算（由于时间关系，后面几个常规的设计实例不一定能讲完）主要内容4美国ZEMAXDevelopmentCorporation研发ZEMAX是一套综合性的光学设计软件，集成了光学系统所有的概念、设计、优化、分析、公差分析和文件管理功能。ZEMAX所有的这些功能都有一个直观的接口，它们具有功能强大、灵活、快速、容易使用等优点。ZEMAX可以模拟序列性（Sequential）和非序列性（non-sequential）系统，分别针对成像系统和非成像系统。可设计光学镜头、照明系统，模拟激光束传输、杂光分析，自由曲面光学设计……ZEMAX有两种不同的版本：ZEMAX-SE：标准版，用于成像光学系统（序列光学系统）的设计；ZEMAX-EE：工程版，在ZEMAX-SE基础上，增加了物理光学、非序列光线追迹、偏振光线追迹等先进功能（只在EE版本中才具有）。ZEMAX简介5光学设计过程计算机的出现，极大地促进了光学设计进程，但设计者的知识与经验是获得优良光学系统的基本条件；大多数光学设计程序（优化功能）的本质如下：每个变量发生少量改变或增减；计算每个变量对结果的影响（像差变化量表）；计算结果是一系列导数，əp/əv1,əp/əv2,əp/əv3,……,p:优化函数结果，v:变量；为了使残余结果的平方和最小(最小二乘法)，对每个变量联立方程求解；重复上述过程直至实现最优化。6光学设计人员的任务1.获得并考虑技术要求（需求分析）2.选择具有代表性的切入点前期设计、专利、建立联系、原始推导3.建立变量和约束变量包括：曲率半径-r、厚度-d、空气隙-d、玻璃特性-n、约束可能是相关结构，如长度、半径等，或者是光线角度、F数等具体的参量4.使用程序对结果进行优化5.评价设计结果6.重复步骤3和4直至满足设计要求如果结果不满足条件，通过添加或分离元件、变化玻璃种类等来修改设计，然后返回步骤4另一种方法是返回步骤2——选择的初始结构可能不合理，达不到预期要求7.进行公差分析，估计结果误差——透镜加工、机械结构与装校要求7数据输入的一般过程输入孔径（有几种方式，如F#（物方或像方），NA（物方或像方），Aperture，…）•在屏上找到ButtonGen，按出Dialogbox，按Aperture，挑选Aperturetype，并输入数值。•可以从System内选General，按出Dialogbox。•可从File内选择Preference(或Environment）出Dialogbox，将常用项目的Button选放在屏上，如Gen，便于直接选用。将上述过程表示为：输入视场：用ZEMAX进行光学系统设计输入光学系统结构数据SystemGenApertureSystemField视场：半视场角、物高、近轴像高、实际像高8输入波长SystemWav输入半径、厚度、玻璃EditorLensdata或从屏上已有的Lensdataeditor改数据。如屏上数据框内作doubleclick得有关dialogbox，可对现状作出修改，例如：•修改Surfacetype,Aperturetype，改此面为光阑，即“Makesurfacestop”;•修改Radius，由Fixed改为Variable(优化过程中作为变量)，或由Solve给出；•修改最后一面到像面的Thickness由Fix改为MarginalRayHeight,Pupilzone0.7为0。GenGlasscatalogs所选玻璃表是在内选定，可同时挑多个表；也可打入玻璃牌号，程序自动找玻璃库•对于Surfacetype和GlassCatalogs，在User’sGuide内都有一章叙述。用ZEMAX进行光学系统设计可用Select选定常用谱线；可直接输入波长值（单位：微米）设定谱线weight设定主波长（Primary）9当已输入足够的结构数据后，程序就可以计算出像差并分析成像质量，这主要是Analysis菜单中的各种功能。＊系统结构和光路图（Layout）：可以判断透镜厚度是否适当，或者光路内是否存在显著错误、光路与预期相符，等。FanOpticalPathRayaberration或即按ButtonLayL3dEle几何像差与波像差：AnalysisLayoutor3DLayoutElementdrawing2DLayout（零件图）或RMS各个视场的波像差均方值AnalysisRMSRMSvsField或即按ButtonRayOpd光学性能分析(Analysis)Analysis10畸变和像散、像面弯曲或FcdAnalysisMiscellaneousFieldCurv/DistSeidel像差系数或SeiAnalysisCalculationsSeidelcoefficients或PsfPSFAnalysisPSFFFTPointSpreadFunction或MtfMTFAnalysisMTFModulationTransferFunction光学性能分析(Analysis)11点列图AnalysisSpotDiagramsStandard或Spt或Enc能量集中度AnalysisEncircledEnergyDiffraction光学性能分析(Analysis)12此程序所选用积分程序不好，因为要求取样网格点（Sampling）较多，计算时间很长，使大像差系统的衍射积分不易算好。所以这里没有计算能量集中度及HuygensPointSpreadfunction,为能容易完成这类计算，波像差（OPD，不是RMS）宜小于一个波长，否则必须加大Sampling点数，增长时间。计算Seidel像差的作用和目的是了解像差是在什么地方产生出来的，这对于将来校正或优化常会有帮助。由于Zemax程序不能直接计算和优化望远镜系统（如伽利略望远镜，不宜将物镜目镜分开设计），程序中在Surface内建立一个ParaxialSurface，即一个理想光学系统，把平行光束聚焦于一点，可以规定为一个任意的焦距值，从而计算望远系统的像差。Enc光学性能分析(Analysis)13按Button，按出dialogbox，预定优化次数，即可进行优化，但之前须规定MeritFunction（优化目标函数）及变量。关于变量，将结构数据框作doubleclick，得有关dialogbox，就可以将此结构数据作为变量（variable）或改为Fixed不变。关于MeritFunction，最简单的做法是用程序内的DefaultMeritFunction，通过下列方法，即可调用适当的DefaultMeritFunction：OptEditorsMeritfunctionToolsDefaultMeritFunction按出dialogbox，后按LoadResetOk即可，实际上此dialogbox中还有许多选项可改，这也是改变优化过程的方法之一。光学系统结构优化（Optimization）14可以按实际情况作其他选择，改变优化过程。还可以自行构造自己认为更好的MeritFunction或修改当前的MeritFunction,这就要在框内输入适当的“Operand”，在Optimization这一章内规定了一批Operand，所用符号如：•First-order：焦距EFFL，像高PIMH，…•Aberrations：初级球差SPHA，垂轴像差TRAC，…另外还有各种边界条件Operand。也可以将MTF值或Encircledenergy作为MeritFunction，原则上这与实际使用目标有更直接联系，应更好。但是实际上由于必须用更多时间去算，作为优化的开始是不可取的。Oper#光学系统结构优化15初始结构变量优化目标函数程序（算法）结果整个优化过程可以表示为以下框图，即优化结果是由初始结构、变量及优化目标函数所决定，（已确定了算法程序）三者不变时，结果通常是唯一的。对此结果不满意时，就须作人工干预，人工改变结构初始值、变量，或改变优化函数。下面，通过一些具体的例子来看优化的做法和问题光学系统结构优化16光学设计软件ZEMAX简介优化实例1-单透镜2-双胶合透镜3-非球面单透镜4-激光扩束镜5-显微镜物镜6-双高斯照相物镜公差计算主要内容17目的1）如果初始结构选不好，则再简单的系统也难得到好的结果；2）利用默认优化函数再作少量添加或修改就可以得到较好的结果；3）一开始不要提很多要求或限定条件，可逐步提出与逼近。优化实例18优化实例（1）单透镜1采用Defaultmeritfunction，加一行EFFL=100，Weight=1。并不是用任意的初始结构都能得到实用的解，例如取r1=－60，r2=∞，玻璃为BK7，此时所得“局部极小解”，焦距、像差都与预期差很大（MF=116.52）初始结构取r1=r2=∞就已可得到好的解：r1=61.2，r2=－357.5（d=5)，这是处于球差极小位置，彗差近于零的解，光阑最佳位置在透镜前数毫米。①较大NA、小视场的聚焦透镜f’=100、D/f’=1:4、2=±3，平行光入射，取EntrancePupilDiameter=25，Fielddata:Y-field=0°、3，=0.55m（只校单色像差，因为单透镜不能消色差）19优化实例（1）单透镜1通过离焦，即调整最后一个间隔（Backfocallength），进一步改善像质：1）将最后一个Thickness设为变量，进行优化，得到最佳像面位置；2）也可在Tools菜单中选Quickfocus，得到最佳像面位置。①较大NA、小视场的聚焦透镜f’=100、D/f’=1:4、2=±3，平行光入射，取EntrancePupilDiameter=25，Fielddata:Y-field=0°、3，=0.55m（只校单色像差，因为单透镜不能小色差）未离焦离焦后20优化实例（1）②小NA、大视场的照相透镜•f’=100,D/f’=1:10，2=±30°，平行光入射•取EntrancePupilDiameter=10，Fielddata:Y-field=0°、30°，用同一Meritfunction，可以得校正彗差和子午弯曲的两种解（光阑位置作为变量），当入瞳直径由10减到5时，所得解与Kinslake书中的Landscapelens解一致，即：单透镜21005.215.17.35107kdrB856.87.1675.113kdrB21两种结构的比较：这二个解的透镜弯曲方向相反（都朝向光阑），前者略优，但要程序将后者自动变为前者，则几乎是不可能的，必须人工强烈修改（倾向）才行。这三组解都可以从像差理论算出来，但优化的结果则略好于初级像差理论的解，这里都没有把透镜厚度作为变量。优化程序可以使焦距与预定相符，在大像差系统中，为使像差变小，程序倾向于使焦距变长，不能完全保证预定焦距。为保证焦距相符，还可以采用“Solves”定半径从而使焦距与预期一致，在Radius的dialogbox中取Solvetype为Elementpower即透镜焦距倒数1/f（可在保持单透镜焦距的条件下弯曲透镜），也可以用MarginalRayangle使本组的组合焦距保持不变，“Solve”这个工具，时常有利于设计方便，如Edgethickness有利于优化过程中保持透镜厚度合理。优化实例（1）22优化实例（2）3•总不等于零，不能校正场曲；•在玻璃组合合适时，可校正色差。取f’=100,D/f’=1:5,